• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 1993년도 제4회 학술발표회 논문개요집
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• pp.109-109
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• 1993

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제31권7호
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• pp.1869-1874
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• 2010

By reducing PVP with $H_2NOH$.HCl and NaOH 2:2:1 mass ratios in aqueous ethanol, poly-N-vinyl pyrrolidone oxime [PVPO] was prepared with 92% yield. Applying the sol-gel concept, orthosilicic acid [OSA] was made by hydrolyzing TEOS with ethanol in 1:0.5 molar ratios using 1 N KOH aqueous solution as a catalyst. The OSA + PVPO + $_L$-Valine ($\alpha$-amino acid) were mixed with pure ethanolic medium in 1:2:2 mass ratios and refluxed at $78^{\circ}C$ and 6 pH for 6.5 h. A white residue of poly-N-vinyl pyrrolidone oximo-L-valyl-siliconate [POVS] appeared after 5 h. The heating of reaction mixture was stopped and the contents were brought to NTP. The residue formation of POVS was intensified with lowering a temperature and completely solidified within 5 h, was filtered using a vacuum pump with Whatmann filter paper no. 42. The residue of POVS was washed several times with 20% aqueous cold ethanolic solution and dried in vacuum chamber at $25^{\circ}C$ for 24 h. The MP was noted above $350^{\circ}C$. Structural and internal morphology were analyzed with IR and $^1H$-NMR, and SEM respectively. A drug loading and transporting ability of the POVS in water and at pH = 5 and 8 was determined chromatographically.

• 대한화학회지
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• 제11권1호
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• pp.17-21
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• 1967

For utilization of Bunker-C residual oil produced at KOCO., the auther tested the properties of vacuum fraction and blown asphalt, and as the result of it, (1) Vacuum fraction had so broad range of viscosity and high flash point that could be produced all kind of lublicating oil, but had to be dewaxed for high pour point, (2) Urea dewaxing was suitable to lighter fraction but not to heavier fraction, so, for heavier fraction, solvent dewaxing was needed. (3) Blown asphalt produced from vacuum residue had uniform relation between softening point and penetration in spite of broad change of blowing condition and adding of catalyst.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 1996년도 제10회 학술발표회 논문개요집
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• pp.158-158
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• 1996

• Applied Science and Convergence Technology
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• 제27권2호
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• pp.35-37
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• 2018

The redox reaction on graphene nanoribbon (GNR) field effect transistors(FET) has been studied. In detail, upon employing an electrolyte gating, we verified electron transport performance modulation of GNR FET by monitoring conductance variation under oxidation and reduction processes. The conductance enhancement of GNR via removal of PMMA residue on graphene surface during redox cycles was also observed.

• 공업화학
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• 제33권5호
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• pp.496-501
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• 2022

본 연구에서는 석유 정제 부산물인 석유계 잔사유를 이용하여 리튬이차전지용 음극재를 제조하였다. 석유계 잔사유 중 열분해 연료유(pyrolysis fuel oil, PFO), 유동접촉분해 데칸트 오일(fluidized catalyst cracking-decant oil, FCC-DO), 감압잔사유(vacuum residue, VR)를 탄소 전구체로 사용하였다. MALDI-TOF, 원소분석(EA)을 통하여 석유계 잔사유의 물리화학적 특징을 확인하였고, 잔사유로부터 제조된 음극재는 XRD, Raman 등의 분석을 통해 그 구조적 특징을 평가하였다. VR은 PFO 및 FCC-DO에 비하여 광범위한 분자량 분포와 많은 양의 불순물을 함유하는 것을 확인할 수 있었고, PFO와 FCC-DO는 거의 유사한 물리화학적 특징을 나타내었다. XRD 분석결과로부터 탄화된 PFO와 FCC-DO는 유사한 d₀₀₂값을 나타내었다. 그러나 Lc 및 La값에서는 FCC-DO가 PFO보다 더 발달된 층상구조를 갖는 것으로 확인되었다. 또한, 전기화학적 특성 평가에서는 FCC-DO가 가장 우수한 사이클 특성을 나타내었다. 이러한 석유계 잔사유의 물리화학적, 전기화학적 결과로 미루어 보아 FCC-DO가 PFO와 VR보다 더 우수한 리튬이차전지용 탄소 전구체인 것으로 사료된다.

• Journal of Korean Vacuum Science & Technology
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• 제2권2호
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• pp.122-132
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• 1998

Characteristics of inductively coupled Cl2/O2 and Cl2/N2 plasmas and their effects on the formation of submicron deep trench etching of single crystal silicon have been investigated using Langmuir probe, quadrupole mass spectrometer (QMS), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), and scanning electron microscopy (SEM), Also, when silicon is etched with oxygen added chlorine plasmas, etch products recombined with oxygen such as SiClxOy emerged and Si-O bondings were found on the etched silicon surface. However, when nitrogen is added to chlorine, no etch products recombined with nitrogen nor Si-N bondings were found on the etched silicon surface. When deep silicon trenches were teached, the characteristics of Cl2/O2 and Cl2/N2 plasmas changed the thickness of the sidewall residue (passivation layer) and the etch profile. Vertical deep submicron trench profiles having the aspect ratio higher than 5 could be obtained by controlling the thickness of the residue formed on the trench sidewall using Cl2(O2/N2) plasmas.

• 한국진공학회지
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• 제17권2호
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• pp.113-116
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• 2008

반도체 소자 집적도의 비약적인 발전으로 인하여 반도체 공정은 더욱 다층화 되어가고 있다. 이러한 다층화 공정에서는 필수적으로 여러 단계의 패턴을 형성하기 위하여 Photoresist(PR)를 이용한 식각 공정을 사용하게 된다. 이러한 식각 공정에서 다단계 식각 공정으로 인한 공정시간 증가와 식각 후 남은 잔여 PR residue는 초고집적화된 현 반도체 산업에서는 소자에 치명적인 문제를 발생시킨다. 따라서 본 연구에서는 기존 PR strip 용액을 플라즈마에 의하여 액체 상태로 활성화하여 기존의 건식세정법과 습식세정법을 동시에 사용하여 PR을 효과적으로 제거하기 위한 방법을 연구하였다. 플라즈마에 의하여 약액을 활성화하기 위하여 먼저 플라즈마 약액활성화를 위한 장치를 simulation하여 실험 장치에서 균일한 gas흐름을 확인하였다. 이후 플라즈마의 세기를 0V에서 100V까지 증가시켜 약액을 활성화한 후 PR을 strip하여 각 플라즈마 세기에서의 식각률을 조사하였으며 80V에서 가장 빠른 식각률을 나타났다. 또한 0V와 80V의 Dilution에 대한 영향을 확인하였으며 약액을 Dilution 후에도 식각률은 더욱 향상됨을 확인할 수 있었다. 이러한 세정 시간의 단축은 여러 단계의 식각 공정 시간을 단축하여 반도체 공정에서 소자 생산을 위한 시간을 단축하게 된다. 또한 각 세정공정마다 증가한 세정 공정으로 인하여 세정액의 사용이 많아져 세정액 폐수로 인한 환경문제가 심각해지고 있다. 세정 약액 활성화 방법을 사용함으로써 세정액의 절감효과가 나타난다.

• 청정기술
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• 제17권1호
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• pp.56-61
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• 2011

감압잔사유를 고압 회분식 반응기에 넣고, 상용 Ni-Mo/$Al_2O_3$ 촉매를 이용하여 $450^{\circ}C$, $500^{\circ}C$에서 수첨분해하였다. 그리고 반응 생성물을 단증류 혹은 GC-SIMDIS 방법으로 각각 분석하였다. 먼저 수첨분해반응에서는 두 온도 조건 모두 촉매 반응뿐만 아니라 열분해 반응도 같이 일어나고 있음을 확인하였고, 온도가 증가할수록 전환율이 증가하고, 생성물 중 가솔린 및 납사 비율이 높아졌다. 생성물 분석 결과, $500^{\circ}C$ 반응에서는 단증류와 GC-SIMDIS 분석 결과의 차이가 없었지만, $450^{\circ}C$ 반응에서는 단증류에서는 디젤이, GC-SIMDIS에서는 vacuum gas oil이 주 생성물로 드러났다. 이는 $450^{\circ}C$ 반응에서의 단증류 분석은 단증류에 의한 열분해 반응으로 인해 생성물의 선택도가 정확하지 않음을 알려준다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.236-236
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• 2012

In this study, we present the salt repellent behavior of superhydrophobic filtration membrane. Bio-fouling or mineral-fouling is the main factor of decreasing the performance of filtration membrane. The superhydrophobic modification of filtration membrane using PECVD (Plasma enhanced chemical vapor deposition) is introduced. The oxygen plasma was introduced for developing nano hairy structures and subsequent HMDSO (Hexamethyldisiloxane) coating was used for enhancing low surface energy. Saline water evaporation test was carried out to evaluate the difference of contamination of salt on superhydrophobic and moderately hydrophobic filtration membrane. EDS and EPMA were used for visualizing the residue of salt crystal.