• 한국진공학회지
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• 제6권1호
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• pp.85-90
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• 1997

32cm직경의 $AlCu_x$(x=0.5%)음극 타겟과 회전 자석을 이용한 상용 마그네트론 스퍼 터링 장치에서 부가적인 플라즈마 여기 방법으로 스퍼터링된 입자들을 이온화시킨후, 수십 볼트의 직류 기판 바이어스로 이온의 방향성과 에너지를 조절하여 작은 트렌치나 via를 채 울 수 있는 공정을 개발하였다. 여기에서, 반경방향의 이온 플럭스비의 균일도 문제를 개선 하기 위하여, 입자들의 가시광선 영역의 방출선을 이용한 플라즈마 진단과, 패터닝된 웨이 퍼에 대한 직접 채우기로 플라즈마 내의 입자 분포와의 상관 관계를 찾고, RF 코일 설계의 개선을 도모하였다. 가시광 방출 분광에서 $Ar^{\circ},\;Ar^+;Al^+,\;Al^{\circ}$ 입자들의 방출선 세기는 1$\mu\textrm{m}$이 하의 크기를 갖는 트렌치와 via의 바닥과 top 두께비와 밀접한 관련이 있었다. RF코일의 직 경을 29cm에서 32cm로 증가 시키고, RF 입력부에 의한 비대칭을 개선하여 이온 플럭스비 의 척도가 되는 via 채우기의 바닥과 top의 두께비에서 7.5%에서 1.5%로의 균일도 향상을 얻었다.

• Journal of the Korean Wood Science and Technology
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• 제27권2호
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• pp.1-6
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• 1999

1995년 충북대 선사문화연구소에 의해 평택시 안중면 현화리 토탄층에서 발굴된 수침고목재(약 2500년전) 63점을 연구대상으로 하였다. 수침고목재는 PEG 2000으로 포매한 후 로타리마이크로톰으로 박편을 제작하여 분석하였다. 대부분의 시료가 오랜 기간동안의 부후로 인하여 조직을 관찰할 수 없었기 때문에 비교적 상태가 양호한 27점만 수종을 식별할 수 있었다. 식별된 수종은 오리나무속(55.6%), 물푸레나무속(33.3%), 참나무속의 상수리나무아속(11.1%)으로 모두 활엽수종이었으며 침엽수종은 발견되지 않았다. 이들 수종의 구성으로 보아 연구지역이 마지막 빙하기이후 서해안 해수면 상승에 의해 형성된 습지나 효수 주변이었던 것으로 해석된다.

• 농촌계획
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• 제24권2호
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• pp.47-58
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• 2018

Protected horticultural complexes would increase crop productivity but would adversely affect the groundwater recharge function in the area because the impervious area would increase. Further, they would limit the movement of living beings, affecting biodiversity. Therefore, this study evaluated the groundwater ecosystem services provided by protected horticultural complexes in terms of consistent utilization of water. The estimated amounts of groundwater loss obtained through quantitative assessment of groundwater infiltration showed that a higher impervious area results in higher losses. We, therefore, predict a much higher loss if similar changes in land use are realized on a nationwide scale. A plan to promote groundwater recharge in impervious areas is actively being discussed for urban areas; however, this plan is not yet applicable to farming areas. We consider it is essential to develop groundwater infiltration facilities for horticultural complexes, infiltration trenches, permeable pavements, surface water storage facilities, water purification facilities, etc. Further research and development of groundwater infiltration facilities is important for consistent utilization of water and the improvement of ecosystem services.

• 한국재료학회지
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• 제22권11호
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• pp.587-590
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• 2012

Recently, the demand for the miniaturization of package substrates has been increasing. Technical innovation has occurred to move package substrate manufacturing steps into CMP applications. Electroplated copper filled trenches on the substrate need to be planarized for multi-level wires of less than $10{\mu}m$. This paper introduces a chemical mechanical planarization (CMP) process as a new package substrate manufacturing step. The purpose of this study is to investigate the effect of surfactant on the dishing and erosion of Cu patterns with the lines and spaces of around $10/10{\mu}m$ used for advanced package substrates. The use of a conventional Cu slurry without surfactant led to problems, including severe erosion of $0.58{\mu}m$ in Cu patterns smaller than $4/6{\mu}m$ and deep dishing of $4.2{\mu}m$ in Cu patterns larger than $14/16{\mu}m$. However, experimental results showed that the friction force during Cu CMP changed to lower value, and that dishing and erosion became smaller simultaneously as the surfactant concentration became higher. Finally, it was possible to realize more globally planarized Cu patterns with erosion ranges of $0.22{\mu}m$ to $0.35{\mu}m$ and dishing ranges of $0.37{\mu}m$ to $0.69{\mu}m$ by using 3 wt% concentration of surfactant.

• 한국진공학회지
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• 제19권2호
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• pp.91-95
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• 2010

상온에서 고품질의 $TiO_2$ 박막을 제조하기 위하여 titanium isopropoxide [Ti(OCH$(CH_3)_2)_4$, TIP]와 $H_2O$을 이용한 자외선 활성화 원자층 증착(UV-enhanced atomic layer deposition: UV-ALD) 기술을 개발하였다. UV-ALD 기술은 상온에서 자체제어 표면 반응(self-limitting surface reaction)을 통해 균일하고 고품위 등방 특성을 갖는 순수한 $TiO_2$ 박막 증착이 가능하였다. ALD 반응 시 조사되는 자외선은 Si 기질 위에 우수한 접착력을 가지는 고품질의 $TiO_2$ 박막을 얻는데 효과적이었다. UV-ALD 기술은 높은 단차비(aspect ratio)를 가지는 trench 기질 위에 균일한 $TiO_2$ 박막을 증착하는 데에 적용되었다.

• 한국지반환경공학회 논문집
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• 제6권2호
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• pp.31-38
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• 2005

유동성 재료는 자기수평능력을 갖고 있으며, 액체와 같은 물질로 최대단위중량의 95~100 %의 자기 다짐율을 발휘할수 있다. 유동성 재료는 노동력이 적게 들고, 시공속도를 높일수 있으며, 접근이 어려운 장소에도 적용이 가능하면서도 재굴착이 용이한 장점이 있다. 따라서 각종 트렌치, 굴착작업, 지중구조물, 오수 및 유틸리티 관과 지중의 공동충전 등에 이용된다. 본 연구의 목적은 고함수비의 점성토와 폐스티로폼 입자, 안정재 등으로 구성된 유동성 재료의 공학적 특성을 평가하는 것이다. 이를 위하여 일축압축실험, 유동성 시험 및 모형충전성 실험을 실시하였으며 폐기물을 활용한 혼합토는 안정재의 양을 $1.0(kN/m^3){\sim}1.2(kN/m^3)$이상을 사용하면 유동성재료로서 사용가능한 것으로 나타났다.

• 한국환경복원기술학회지
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• 제1권1호
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• pp.63-69
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• 1998

The slope revegetation methods in Korea are generally the hydroseeding mixed with perennial herbs, soil, fibers, and fertilizer in consideration of scenic landscape rather than ecological and engineering effect. But perennial herbs can't protect the slope from deep surface erosion and they are not tall enough to create the original naturalness at the boundary parts of existing woodlands. This study is about the slope revegetation method using nutritional propagation capacity of plants and the experimental construction was carried out on the cut-slope of Yongin Hoam C.C. We dug several trenches to a depth of 80cm and at intervals of 150cm from each other. After placing various kinds of live branches(Salix species) into the trench, we backfilled with the excavated soils and finally sprayed water mixed with soil-stabilizer, fertilizer. As six months passed, we made a vegetation research and check the slope surface erosion. Vegetation research was performed in examining the frequency of each block using transect method. 31 kinds of plant species appeared in total area($113.6m^2$) and the dominant species are Setaria viridis, Artemisia rubripes, Persicaria pubescens, Plantago asiatica, Cyperus amuricus, Commelina communis. Among the examined blocks, '아', the top part of the slope, showed the ratio of 1.4 as the highest Alpha-diversity. With regard to life form, therophytes were shown dominant distribution of 58% of total species and neophytes relatively low distribution of 16%. It can be estimated that there is no ecological stabilization of this slope, because of ruderal species' occupation of 74% in total area. Regarding the slope stabilization, the serious surface erosion didn't take place in spite of heavy rainfall this year, but a little surface erosion took place at the block where no other species coming from outside of the site were found.

• 한국수자원학회논문집
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• 제38권6호
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• pp.449-460
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• 2005

본 연구에서는 전형적인 도시하천으로 왜곡된 물순환을 보이는 도림천 유역에 대해서 WEP(Water and Energy transfer Processes) 모형을 이용하여 물순환 모의를 수행하였다. 과거(l975년)와 현재(2000년)의 토지이용도를 이용한 모의를 통해 도시화에 의한 불투수율 증가가 유출특성에 미치는 영향을 분석하였으며, 모의결과 도시의 개발로 인해 과거보다 첨두 도달시간은 감소하고, 첨두 및 총유출량이 증가한 것으로 나타났으며, 침투량과 기저유출량이 감소한 것을 확인할 수 있었다. 또한 왜곡된 물순환을 회복하기 위한 대안으로 침투트랜치와 투수성 포장재의 설치 효과에 대한 모의를 수행하였으며, 모의결과 두 가지 대안을 함께 적용했을 경우에 도시개발 이전의 유출특성에 근접하는 것을 확인할 수 있었다.

• Geomechanics and Engineering
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• 제18권4호
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• pp.407-415
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• 2019

A controlled low strength material (CLSM) is a highly flowable cementitious material used for trench backfilling. However, when applying vertical loads to backfilled trenches, shear failure or differential settlement may occur at the interface between the CLSM and natural soil. Hence, this study aims to evaluate the characteristics of the interface friction between the CLSM and soils based on curing time, gradation, and normal stress. The CLSM is composed of fly ash, calcium sulfoaluminate cement, sand, silt, water, and an accelerator. To investigate the engineering properties of the CLSM, flow and unconfined compressive strength tests are carried out. Poorly graded and well-graded sands are selected as the in-situ soil adjacent to the CLSM. The direct shear tests of the CLSM and soils are carried out under three normal stresses for four different curing times. The test results show that the shear strengths obtained within 1 day are higher than those obtained after 1 day. As the curing time increases, the maximum dilation of the poorly graded sand-CLSM specimens under lower normal stresses also generally increases. The maximum contraction increases with increasing normal stress, but it decreases with increasing curing time. The shear strengths of the well-graded sand-CLSM interface are greater than those of the poorly graded sand-CLSM interface. Moreover, the friction angle for the CLSM-soil interface decreases with increasing curing time, and the friction angles of the well-graded sand-CLSM interface are greater than those of the poorly graded sand-CLSM interface. The results suggest that the CLSM may be effectively used for trench backfilling owing to a better understanding of the interface shear strength and behavior between the CLSM and soils.

• 예술인문사회 융합 멀티미디어 논문지
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• 제8권1호
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• pp.887-894
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• 2018

최근 그래핀을 이용한 나노전자소자에 대한 많은 연구들이 다양한 분야에서 활발하게 이루어지고 있다. 본 연구에서는 분자동력학 시뮬레이션 방법을 사용하여 그래핀 나노리본 트렌치 구조를 이용한 풀러렌 분자 셔틀 소자로의 활용 가능성에 대하여 연구하였다. 그래핀 나노리본 트렌치 구조는 그 나노미터 규모의 분자 저장이 가능한 공간을 만들 수 있어, 이 공간을 활용하여 나노전기전자소자를 제작할 수 있는 가능성을 열어준다. 그래핀 나노리본 트렌치로 흡수된 풀러렌 분자는 외부 작용력의 방향에 따라서 그 위치를 그래핀 나노리본 트렌치 내부에서 조정할 수 있게 되기 때문에, 이를 이용하여 그래핀 나노리본 트랜체 내부에서 플러렌의 위치 조정으로 디지털 정보를 저장할 수 있다. 풀러렌 분자가 그래핀 나노리본 트렌치 내부에서 고랑을 따라서 이동과정에서 다양한 운동에너지 역학이 작용되는 것을 살펴보았다. 본 연구에서는 그래핀 나노리본 트렌치에 흡수된 풀러렌 분자는 나노전지전자소자의 오실레이터, 정보저장소자, 센서 등 다양한 첨단 분야에서 활용가능하다는 것을 연구하였다.