위성 열평형 시험에 사용하는 열진공 챔버의 벽은 흑체 거동을 하는 우주공간과는 달리 위성의 복사 에너지를 완벽하게 흡수하지 못하고 일부를 반사한다. 챔버의 크기가 작을수록 이러한 챔버 벽 효과는 커지는 것으로 알려져 있다. 이것은 시험비용을 줄이기 위해 대형 챔버를 사용하기 힘든 소형위성의 개발에 걸림돌이 된다. 본 연구에서는 챔버 벽 효과를 예측하고 이를 보정하기 위한 정량적인 분석을 진행하였다. 그 결과로 챔버 벽 효과에 의한 온도 오차를 계산하여 시험 데이터를 보정할 수 있게 하였다. 또, 최적 면적비를 정의하여 소형위성의 열평형 시험용 열진공 챔버의 크기를 정하는데 기준을 마련하였다. 덧붙여 챔버 벽을 투명한 재질로 코팅하여 챔버 벽 효과를 줄일 수 있는 방안에 대해 이론적인 분석을 수행하였다.
Carbon nanofilaments were deposited on silicon oxide substrate by thermal chemical vapor deposition method. We used $Fe(CO)_5$ as the catalyst for the carbon nanofilaments formation. Around $800^{\circ}C$ substrate temperature, the formation density of carbon nanofilaments could be enhanced by the vacuum sublimation technique of $Fe(CO)_5$, compared with the conventional spin coating technique. Finally, we could achieve the low temperature, as low as $350^{\circ}C$, formation of carbon nanofilaments using the sublimated Fe-complex nanograins with thermal chemical vapor deposition. Detailed morphologies and characteristics of the carbon nanofilaments were investigated. Based on these results, the role of the vacuum sublimation technique for the low temperature deposition of carbon nanofilaments was discussed.
The objective of the present work is to develop a precise instrument for measuring the thermal property of insulating material over a temperature range from 30 K to near room temperature by utilizing a cryocooler. The instrument consists of two thermal links, a test sample, heat sink, heat source and vacuum vessel. The cold head of the cryocooler as a heat sink is thermally anchored to the thermal link and used to bring the apparatus to a desired temperature in a vacuum chamber. An electric heater as a heat source is placed in the middle of test sample for generating uniform heat flux. The entire apparatus is covered by thermal shields and wrapped in multi-layer insulation to minimize thermal radiation in a vacuum chamber. For a supplied heat flux the temperature distribution in the insulating material is measured in steady and transient state. The thermal conductivity of insulating material is measured from temperature difference for a given heat flux. In addition, the specific heat of insulating material is obtained by solving one-dimensional heat diffusion equation.
The base pressure of vacuum vessel of the KSTAR (Korea Superconducting Tokamak Advanced Research) Tokamak is to be a ultra high vacuum, $10^{-6}{\sim}10^{-7}Pa$, to produce clean plasma with low impurity containments. For this purpose, the KSTAR vacuum vessel and plasma facing components need to be baked up to at least $250^{\circ}C,\;350^{\circ}C$ respectively, within 24 hours by hot nitrogen gas from a separate baking/cooling line system to remove impurities from the plasma-material interaction surfaces before plasma operation. Here by applying the implicit numerical method to the heat balance equations of the system, overall temperature distributions of the KSTAR vacuum vessel and plasma facing components are obtained during the whole baking process. The model for 2-dimensional baking analysis are segmented into 9 imaginary sectors corresponding to each plasma facing component and has up-down symmetry. Under the resulting combined loads including dead weight, baking gas pressure, vacuum pressure and thermal loads, thermal stresses in the vacuum vessel during bakeout are calculated by using the ANSYS code. It is found that the vacuum vessel and its supports are structurally rigid based on the thermal stress analyses.
JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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제10권4호
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pp.260-264
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2010
In this paper, Ni silicide is formed on boron cluster ($B_{18}H_{22}$) implanted source/drains for shallow junctions of nano-scale CMOSFETs and its thermal stability is improved, using vacuum annealing. Although Ni silicide on $B_{18}H_{22}$ implanted Si substrate exhibited greater sheet resistance than on the $BF_2$ implanted one, its thermal stability was greatly improved using vacuum annealing. Moreover, the boron depth profile, using vacuum post-silicidation annealing, showed a shallower junction than that using $N_2$ annealing.
Graphene is known to possess excellent thermal properties, including high thermal conductivity, that make it a prime candidate material for heat management in ultra large scale integrated circuits. For device applications, the key parameters are the thermal expansion coefficient and the thermal conductivity. There has been no reliable experimental determination on the thermal expansion coefficient of graphene whereas the estimates of the thermal conductivity vary widely. In this work, we estimate the thermal expansion coefficient of graphene on silicon dioxide by measuring the temperature dependence of the Raman spectrum. The shift of the Raman peaks due to heating or cooling results from both the intrinsic temperature dependence of the Raman spectrum of graphene and the strain on the graphene film due to the thermal expansion mismatch with silicon dioxide. By carefully comparing the experimental data against theoretical calculations, it is possible to determine the thermal expansion coefficient. The thermal conductivity is measured by estimating the thermal profile of a graphene film suspended over a circular hole of the substrate.
KAIST 인공위성연구센터에서는 우리별 1, 2, 3호의 개발에 이어 과학위성 1호를 개발하고 있다. 2003년에 발사 예정인 과학위성 1호는 현재 인증모델 단계의 개발 및 시험이 완료되었다. 본 인증모델 열진공 시험에서는 위성의 각 서브시스템이 예상되는 궤도 상의 온도보다 가혹한 조건에서 시험되었고, 열해석 모델의 검증 및 수정을 위한 열진공평형 시험도 수행되었다. 본 논문에서는 과학위성 1호의 인증모델 열진공 시험 과정 및 결과와 더불어 그 과정에서 알아낸 문제점 및 개선방안 등을 살펴보고, 또한 향후 유사한 소형위성 열진공 시험에 유용하게 쓰일 수 있는 고려 사항들을 검토한다.
열주기법은 다공성 소재의 열확산도를 측정하는데 유용한 방법이다. 본 논문의 주 목적은 진공환경에서 다공성 소재의 열확산도 측정 시스템을 개발하고 검증하는데 있다. 이 방법을 검증하기 위하여 알루미나 시편과 폴리스티렌 폼의 열확산도를 측정하였다. 이 시편들의 열확산도는 참고값과 일치하였다. 탄소/에폭시 소재와 다공성 단열소재의 열확산도를 대기상온과 대기진공 환경에서 측정하였다. 탄소/에폭시 소재와 다공성 단열소재의 진공환경에서 열확산도는 대기환경에 비하여 각각 66.4%와 64.9% 감소하였다. 이 차이는 소재내의 기공에 있는 공기의 영향으로 추정된다.
We have fabricated a helmet type magnetoencephalogrphy(MEG) with a $1^{st}$ order gradiometer in vacuum to improve the signal-to-noise ratio(SNR) and the boil-off rate of liquid helium(LHe). The axial type first-order gradiometer was fabricated with a double relaxation oscillation SQUID(DROS) sensor which was directly connected with a pickup coil. The neck space of LHe dewar was made to be smaller than that of a conventional dewar, but the LHe boil-off ratio appeared to increase. To reduce the temperature of low Tc SQUID sensor and pickup coil to 9 K, a metal shield made of, such as copper, brass or aluminum, have been usually used for thermal transmission. But the metal shield exhibited high thermal noise and eddy current fluctuation. We quantified the thermal noise and the eddy current fluctuation of metal. In this experiment, we used the bobbin which was made of an alumina to wind Nb superconductive wire for pickup coil and the average noise of coil-in-vacuum type MEG system was $3.5fT/Hz^{1/2}$. Finally, we measured the auditory evoked signal to prove the reliability of coil-in-vacuum type MEG system.
Self-assembled monolayers(SAMs) of alkanethiol have been formed on the Cu(111) surfaces in vacuum. The thermal behavior of octanethiol-based SAMs on the Cu(111) surface have been examined in ultrahigh vacuum. Using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), it is found that the monolayers are stable up to about 500K in vacuum. Decomposition is signaled by a decrease in the intensity of C ls peak, accompanied by an increase of the intensity of the Cu 2p peak. However, the intensity of the S 2p peak doesn't change much as a function of annealing temperature. Thermal the decomposition mass spectra show that n-alkene is the predominant species desorbing from the surface in the 500-600K temperature range. The totality of these data leads to the conclusion that the monolayers decompose through the S-C bond cleavage by hydrogen elimination reaction, resulting in the desorption of hydrocarbon moiety as n-alkene. Following this initial decomposition step, Cu2S layers are observed on the surface. For comparison, attempts were also made to examine the thermal behavior of octanethiol-based SAMs on the Cu(111) surface in air. It has been shown that the SAMs on the Cu(111) surfaces begin to desorb with the oxidation of the thiolate to sulfonate at 400K. Upon annealing to 450K, the monolayer has almost completely desorbed as indicated by the virtual disappearance of the S 2p peak.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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