• 제목/요약/키워드: thermal treatment.

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Sol-gel법에 의해 제조된 강유전체 $Bi_{3.15}La_{0.85}Ti_3O_{12}$ 박막의 결정 배향성 조절 (Crystallographic orientation modulation of ferroelectric $Bi_{3.15}La_{0.85}Ti_3O_{12}$ thin films prepared by sol-gel method)

  • 이남열;윤성민;이원재;신웅철;류상욱;유인규;조성목;김귀동;유병곤
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.2
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    • pp.851-856
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    • 2003
  • We have investigated the material and electrical properties of $Bi_{4-x}La_xTi_3O_{12}$ (BLT) ferroelectric thin film for ferroelectric nonvolatile memory applications of capacitor type and single transistor type. The 120nm thick BLT films were deposited on $Pt/Ti/SiO_2/Si$ and $SiO_2/Nitride/SiO_2$ (ONO) substrates by the sol-gel spin coating method and were annealed at $700^{\circ}C$. It was observed that the crystallographic orientation of BLT thin films were strongly affected by the excess Bi content and the intermediate rapid thermal annealing (RTA) treatment conditions regardeless of two type substrates. However, the surface microstructure and roughness of BLT films showed dependence of two different type substrates with orientation of (111) plane and amorphous phase. As increase excess Bi content, the crystallographic orientation of the BLT films varied drastically in BLT films and exhibited well-crystallized phase. Also, the conversion of crystallographic orientation at intermediate RTA temperature of above $450^{\circ}C$ started to be observed in BLT thin films with above excess 6.5% Bi content and the rms roughness of films is decreased. We found that the electrical properties of BLT films such as the P-V hysteresis loop and leakage current were effectively modulated by the crystallographic orientations change of thin films.

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Hot Wall Epitaxy(HWE)법에 의한 CdGa2Se4 단결정 박막 성장과 열처리 효과 (The Effect of Thermal Annealing and Growth of CdGa2Se4 Single Crystal Thin Film by Hot Wall Epitaxy)

  • 홍명석;홍광준
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제20권10호
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    • pp.829-838
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    • 2007
  • The stochiometric mix of evaporating materials for the $CdGa_2Se_4$ single crystal thin films was prepared from horizontal furnace. To obtain the single crystal thin films, $CdGa_2Se_4$ mixed crystal was deposited on thoroughly etched semi-insulating GaAs(100) substrate by the Hot Wall Epitaxy (HWE) system. The source and substrate temperature were $630^{\circ}C$ and $420^{\circ}C$, respectively. The crystalline structure of single crystal thin films was investigated by the photoluminescence and double crystal X-ray diffraction (DCXD).The carrier density and mobility of $CdGa_2Se_4$ single crystal thin films measured from Hall effect by van der Pauw method are $8.27{\times}10^{17}\;cm^{-3},\;345\;cm^2/V{\cdot}s$ at 293 K. respectively. The temperature dependence of the energy band gap of the $CdGa_2Se_4$ obtained from the absorption spectra was well described by the Varshni's relation, $Eg(T)\;=\;2.6400\;eV\;-\;(7.721{\times}10^{-4}\;eV/K)T^2/(T+399\;K)$. After the as-grown single crystal $CdGa_2Se_4$ thin films were annealed in Cd-, Se-, and Ga -atmospheres, the origin of point defects of single crystal $CdGa_2Se_4$ thin films has been investigated by PL at 10 K. The native defects of $V_{Cd}$, $V_{Se}$, $Cd_{int}$, and $Se_{int}$ obtained by PL measurements were classified as donors or accepters. We concluded that the heat-treatment in the Cd-atmosphere converted single crystal $CdGa_2Se_4$ thin films to an optical p-type. Also, we confirmed that Ga in $CdGa_2Se_4/GaAs$ did not form the native defects because Ga in single crystal $CdGa_2Se_4$ thin films existed in the form of stable bonds.

저온 공정 온도에서 $Al_2O_3$ 게이트 절연물질을 사용한 InGaZnO thin film transistors

  • 우창호;안철현;김영이;조형균
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.11-11
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    • 2010
  • Thin-film-transistors (TFTs) that can be deposited at low temperature have recently attracted lots of applications such as sensors, solar cell and displays, because of the great flexible electronics and transparent. Transparent and flexible transistors are being required that high mobility and large-area uniformity at low temperature [1]. But, unfortunately most of TFT structures are used to be $SiO_2$ as gate dielectric layer. The $SiO_2$ has disadvantaged that it is required to high driving voltage to achieve the same operating efficiency compared with other high-k materials and its thickness is thicker than high-k materials [2]. To solve this problem, we find lots of high-k materials as $HfO_2$, $ZrO_2$, $SiN_x$, $TiO_2$, $Al_2O_3$. Among the High-k materials, $Al_2O_3$ is one of the outstanding materials due to its properties are high dielectric constant ( ~9 ), relatively low leakage current, wide bandgap ( 8.7 eV ) and good device stability. For the realization of flexible displays, all processes should be performed at very low temperatures, but low temperature $Al_2O_3$ grown by sputtering showed deteriorated electrical performance. Further decrease in growth temperature induces a high density of charge traps in the gate oxide/channel. This study investigated the effect of growth temperatures of ALD grown $Al_2O_3$ layers on the TFT device performance. The ALD deposition showed high conformal and defect-free dielectric layers at low temperature compared with other deposition equipments [2]. After ITO was wet-chemically etched with HCl : $HNO_3$ = 3:1, $Al_2O_3$ layer was deposited by ALD at various growth temperatures or lift-off process. Amorphous InGaZnO channel layers were deposited by rf magnetron sputtering at a working pressure of 3 mTorr and $O_2$/Ar (1/29 sccm). The electrodes were formed with electron-beam evaporated Ti (30 nm) and Au (70 nm) bilayer. The TFT devices were heat-treated in a furnace at $300^{\circ}C$ and nitrogen atmosphere for 1 hour by rapid thermal treatment. The electrical properties of the oxide TFTs were measured using semiconductor parameter analyzer (4145B), and LCR meter.

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남부지방에서 복숭아명나방 Dichocrosis punctiferalis의 월동생태 (Overwintering Ecology of the Peach Pyralid Moth, Dichocrosis punctiferalis in Southern Regions of Korea)

  • 강창헌;이상명;정영진;최광식;박정규
    • 한국응용곤충학회지
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    • 제43권3호
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    • pp.201-209
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    • 2004
  • 실험실과 밤 재배지에서 2001/2002년 겨울과 2003년 봄에 복숭아명나방 Dichocrosis punctiferalis Guenee (Lepidoptera: Pyralidae)의 월동생태를 연구하였다. 같은 밤 재배지에서 2003년 겨울에 채집 우화시킨 24마리의 암컷과 14마리의 수컷은 모두 과수형이었다. 야외에서 월동유충 개체군의 휴면종료는 1월 하순부터 시작하여 4월 20일 이전에 완성되었다. 휴면종료된 유충의 용화는 5월 상순부터 시작하여 6월 3일까지 $100\%$ 용화하였다. 휴면 종료 후 암컷 유충이 용화되기까지의 기간은 20, 25, $30^{\circ}C$에서 각각 12.5일, 8.9일, 7.5일이었다. 용기간은 세 온도에서 각각 14.7일, 11.8일 ,9.0일이었다. 휴면 후 월동세대 성충의 우화시기는 5월 20일부터 6월 28일까지이었으며, $50\%$ 우화시기는 6월 8일-9일이었다. 그러나 산청, 하동, 진주 세 지역의 성페로몬 트램에 포획된 수컷의 수를 종합하면 $50\%$ 포획시기는 6월 17일이었다.

Bacillus licheniformis KJ-9를 이용한 항균발효퇴비의 생산 (Production of Antifungal Compost by Using Bacillus licheniformis KJ-9)

  • 서동철;고정애;이상원
    • 생명과학회지
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    • 제20권9호
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    • pp.1339-1344
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    • 2010
  • 환경친화적인 항균발효퇴비를 생산할 목적으로 식물병원성 균주에 대하여 항균활성이 우수한 B. licheniformis KJ-9를 톱밥우분에 접종하여 고품질의 항균발효퇴비(B. licheniformis KJ 9 fermented compost, BLC)의 개발을 행하였다. B. licheniformis KJ-9가 생산한 물질의 온도 안정성은 $100^{\circ}C$, 10분간 열처리하여도 약 60% 이상의 항균활성을 유지하였으며, pH 안정성은 산성보다는 pH 7.0 이상의 중성 및 알칼리성 영역에서 높은 항균활성을 유지하였다. 퇴비를 제조하는 과정에서 BLC의 경우는 우분 냄새가 확실히 줄어들었으며 또한 퇴비의 발효시간도 3일 정도 단축되었다. 고추의 pot실험 결과 BLC를 첨가한 시험구 이외의 다른 시험구에서는 고추 잎이 마르고 약간의 황색반점이 발생하였다. 그리고 BLC를 이용한 시험구는 밭 흙만을 사용한 시험구 및 밭 흙에 기존의 판매퇴비(commercial available compost, CC)를 혼합한 시험구보다 잎의 수가 많고(1.5~2배), 줄기 및 뿌리의 성장이 빠르며, 줄기가 굵은(1.5~3배) 것으로 나타났다. 마늘 및 들깨를 재배한 현장적용 실험결과 두 시험구 모두 자연발생적인 병충해의 피해는 없었지만 BLC를 사용한 밭에서 마늘 및 들깨의 생육이 현저하게 빠른 것을 관찰할 수 있었다.

Preparation of diffusion dialysis membrane for acid recovery via a phase-inversion method

  • Khan, Muhammad Imran;Wu, Liang;Hossain, Md. Masem;Pan, Jiefeng;Ran, Jin;Mondal, Abhishek N.;Xu, Tongwen
    • Membrane and Water Treatment
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    • 제6권5호
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    • pp.365-378
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    • 2015
  • Herein, the preparation of anion exchange membrane (AEM) from brominated poly(2,6-dimethyl 1,6-phenylene oxide) BPPO and dimethylaniline (DMA) by phase-inversion process is reported. Anion exchange membranes (AEMs) are prepared by varying the DMA contents. Prepared AEMs show high thermal stability, water uptake (WR) around 202% to 226%, dimensional change ratios of 1.5% to 2.6% and ion exchange capacities (IECs) of 0.34 mmol/g to 0.82 mmol/g with contact angle of $59.18^{\circ}$ to $65.15^{\circ}$. These membranes are porous in nature as confirmed by SEM observation. The porous property of membranes are important as it could reduce the resistance of transportation of ions across the membranes. They have been used in diffusion dialysis (DD) process for recovery of hydrochloric acid (HCl) from the mixture of HCl and ferrous chloride ($FeCl_2$). Presence of $-N+(CH_3)_2C_6H_5Br^-$ as a functional group in membrane matrix facilitates its applications in DD process. The dialysis coefficients of hydrochloric acid ($U_H$) of the membranes are in range of 0.0016 m/h to 0.14 m/h and the separation factors (S) are in range of 2.09 to 7.32 in the $HCl/FeCl_2$ system at room temperature. The porous membrane structure and presence of amine functional group are responsible for the mechanism of diffusion dialysis (DD).

더덕 및 참취포장에서의 물리적인 방법을 이용한 잡초방제 I. 더덕 및 참취포장에서의 주요잡초 분포양상 및 잡초종자발아에 미치는 황산 및 열처리효과 (Weed Control in Herb Field by Means of Physical Treatments I.Weed Occurrence in Herb Field and Effect of $H_2SO_4$ and Heating on the Germination of Weed Seeds.)

  • 강화석
    • 한국자원식물학회지
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    • 제10권2호
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    • pp.169-174
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    • 1997
  • 1. 더덕 및 참취 포장에 출현빈도로 나타나는 주요 우점 잡초는 더덕포장에서는 바랭이, 여뀌, 씀바귀, 명아주 등이었으며, 참취포장에서는 바랭이, 망초, 깨풀, 쇠비름, 여뀌, 민들레 등이었다. 그리고, 생체중으로 본 주요 우점잡초는 더덕포장에서는 쇠비름, 여뀌, 명아주, 피, 닭의장풀, 바랭이등이었고, 취나물포자엥서는 쇠비름, 여뀌, 피, 털진득찰, 망초등이었다. 2. 더덕포장에서는 쌍자엽 잡초의 생체중이 1133g/$m^2$로 전체 잡초 생체중의 84.9%를 차지하였고 화본과 잡초가 13g/$m^2$로 12.5%, 사초과 잡초가 28g/$m2$로 2.6%를 차지하여 주로 쌍자엽 잡초가 발생하는 결과를 보였다. 3. 대부분 농황산 처리를 하였을 때 잡초 종자의 발아율이 증가하는 경향을 보였으나 농황산 처리 시간과 잡초발아율과는 잡초종에 따라 차이를 보였다. 4. 쇠비름 건조종자에는 $80^{\circ}C$ 3분 처리시 무처리에 비해 50%의 발아억제 효과를 나타냈으며, $150^{\circ}$이상의 고온에서는 30초 전후의 처리시간으로 100% 발아억제효과를 보였다. 습윤종자가 건조종자에 비해 발아력 상실에 요하는 온도 및 처리시간이 낮거나, 단축되는 경향을 보이며 $100^{\circ}C$의 30초 처리시, 쇠비름이 78%의 발아율을 보인 반면, 바랭이는 발아가 전혀 되지 않아 고온에 대한 종자 활력의 감퇴가 쇠비름 종자 보다 바랭이 종자가 더 심하였다.

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3D 프린터 빌드시트용 무용제 UV 경화형 아크릴 점착제의 제조 (Solvent-free UV-curable Acrylic Adhesives for 3D printer build sheet)

  • 이배화;박동협;김병직
    • 접착 및 계면
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    • 제21권3호
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    • pp.93-100
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    • 2020
  • 적층제조법 기반의 3D 프린팅 기술은 사용자가 원하는 상품을 출력하여 제공하지만 고온의 사용 환경 및 용융된 필라멘트 수지의 냉각 과정에서 변동적 수축현상이 발생하여 상품의 출력편차를 야기한다. 본 연구에서는 출력물의 들뜸과 뒤틀림을 방지하고 정밀한 형상의 고품질 출력물을 제작하기 위하여 3D 프린터 빌드시트용 아크릴 점착제를 연구하였다. 고온에서 점착특성이 유지되고 점착제로부터 출력물의 안착과 원활한 탈거를 위해 부착성과 강인성이 우수하고 높은 유리전이온도를 갖는 4-acryloylmorpholine (ACMO)를 첨가하여 무용제 타입의 점착제 조성물을 설계하였다. 단량체의 후첨가방식을 사용하여 두 단계를 통해 아크릴 조성물을 합성하였고, 합성된 조성물로 코팅한 점착제 필름을 다각도에서 분석하였다. 그 결과 제조된 점착제는 높은 유리전이온도를 보이고 열처리 전/후에 따른 박리강도 차이가 보이지 않았으며, 유변학적 물성 분석을 통해 점착제의 우수한 접착력 뿐만 아니라 변형 없이 탈착이 가능한 물성을 갖음을 확인하였다. 본 연구에서 제조된 점착제를 3D 프린터의 빌드시트로 활용하였을 때 안착성 및 작업성이 양호하고 출력편차가 적은 출력물을 얻었다. 기존 판매중인 빌드시트와 비교하였을 때 본 연구에서 제조한 점착제 위에서는 출력물이 원활하게 탈거가 가능하기 때문에 FDM 방식 3D프린터의 사용자들에게 작업 편의성을 제공할 수 있을 것으로 기대된다.

네오듐 고용 이산화우라늄의 고온 산화거동 (High Temperature Oxidation Behavior of Nd-doped $UO_2$)

  • 이재원;강상준;김영환;조광훈;박근일;이정원
    • 공업화학
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    • 제24권3호
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    • pp.227-230
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    • 2013
  • $(U_{1-x}Nd_x)O_2$ 소결체를 $500^{\circ}C$에서 산화하여 얻은 $(U_{1-x}Ndx)_3O_8$ 분말의 상변화를 $900{\sim}1500^{\circ}C$의 공기 중에서 고온 산화 열처리를 하여 조사하였다. $1100^{\circ}C$ 이상의 온도로 산화 열처리할 경우에 Nd 농도가 높은 $(U_{1-y}Nd_y)O_{2+z}$ 상과 $U_3O_8$ 상이 생성됨을 확인하였으며, 산화 열처리 온도가 높아질수록 $(U_{1-y}Nd_y)O_{2+z}$ 상에서의 Nd 농도는 감소하였다. 산화 열처리 온도의 증가에 따라서 $U_3O_{8-w}$ 입자로부터 $(U_{1-y}Nd_y)O_{2+z}$ 입자로의 U 양이온 및 Nd 양이온이 두 입자의 계면을 통해 농도 구배에 따른 확산에 의해서 $(U_{1-y}Nd_y)O_{2+z}$ 상 내에 U의 농도는 증가하고 Nd의 농도는 감소하게 된다. 이러한 현상은 산화 열처리 온도증가에 따라서 $U_3O_8$ 상에 대한 $(U_{1-y}Nd_y)O_{2+z}$ 상의 X-선 회절피크의 적분강도비 증가와 $(U_{1-y}Nd_y)O_{2+z}$ 상의 입자가 커지는 것과 연관하여 해석할 수 있었다.

광발광 측정법에 의한 $AgGaS_2$ 단결정 박막의 점결함 연구 (Study on Point Defect for $AgGaS_2$ Single Crystal Thin film Obtained by Photoluminescience Measurement Method)

  • 홍광준;김경석
    • 비파괴검사학회지
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    • 제25권2호
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    • pp.117-126
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    • 2005
  • [ $AgGaS_2$ ] 단결정 박막을 수평 전기로에서 합성한 $AgGaS_2$ 다결정을 증발원으로하여, hot wall epitaxy(HWE) 방법으로 증발원과 기판 (반절연성 -GaAs (100))의 온도를 각각 $590^{\circ}C,\;440^{\circ}C$로 고정하여 성장하였다. 이때 단결정 박막의 결정성은 광발광 스펙트럼과 이중결정 X-선 요동곡선 (DCRC)으로 부터 구하였다. $AgGaS_2$의 광흡수 스펙트럼으로부터 구한 온도에 의존하는 에너지 밴드갭 $E_g(T)$는 Varshni. 공식에 fitting한 결과 $E_g(T)=2.7284 eV-(8.695{\times}10^{-4}eV/K)T^2/T(T+332K)$를 잘 만족하였다. 성장된 $AgGaS_2$, 단결정 박막을 Ag, Ga, S분위기에서 각각 열처리하여 10K에서 photoluminescience(PL) spectrum을 측정하여 점 결함의 기원을 알아보았다. PL 측정으로부터 얻어진 $V_{Ag},\;V_s,\;Ag_{int}$, 그리고 $S_{int}$는 주개와 받개로 분류되어졌다. $AgGaS_2$ 단결정 박막을 Ag분위기에서 열처리하면 n형으로 변환됨을 알 수 있었다. 또한, Ca 분위기에서 열처리하면 열처리 이전의 PL스펙트럼을 보이고 있어서, $AgGaS_2$ 단결정 박막에서 Ga은 안정된 결합의 형태로 있기 때문에 자연 결함의 형성에는 관련이 없음을 알았다.