Effects of the Rapid Thermal Annealing on the Electrical and Structural Properties of Polysilicon Films (급속 열처리 공정에 의한 다결정 실리콘 박막의 전기적, 구조적 특성 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
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- v.25 no.9
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- pp.1060-1067
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- 1988