• 제목/요약/키워드: substrate thickness

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포로히-블루머(Forouhi-Bloomer) 분산식을 이용한 유기발광물질 Alq3의 광학 상수 결정 (Determination of optical constants for organic light emitting material of Alq3 using Forouhi-Bloomer dispersion relations)

  • 정부영;우석훈;이석목;황보창권
    • 한국광학회지
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    • 제14권1호
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    • pp.1-7
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    • 2003
  • 유기발광물질 Alq$_3$ 복소굴절률을 양자역학적 흡수이론인 바탕인 포로히-블루머(Forouhi-Bloomer) 분산식[Phys. Rev. B 34. 7018(1986)]을 이용하여 1.5~6 ev의 영역에서 계산하였다. 분광광도계를 이용하여 측정한 Alq$_3$ 박막의 흡수 스펙트럼에서 흡수 피크의 위치와 폭으로부터 포로히-블루머 분산식의 변수 $A_{i}$ , B$_{i}$, $C_{i}$ 의 초기 근사값을 결정하였다. 기판으로 사용한 비정질실리카(fused silica)의 굴절률은 분광광도계로부터 측정된 투과율과 반사율 스펙트럼으로부터 셀마이어(Sellmeier)분산식을 적용하여 계산하였다. 기판의 굴절률과 분광광토계에서 측정한 Alq$_3$박막의 투과율과 반사율 스펙트럼에 포로히-블루머 분산식을 이용한 비선형 최소자승법 곡선맞춤을 하여 Alq$_3$의 복소굴절률을 계산할 수 있었다.

Extended SBM 공정을 이용하여 단일 실리콘 기판상에 제작된 새로운 z 축 가속도계 (A Novel z-axis Accelerometer Fabricated on a Single Silicon Substrate Using the Extended SBM Process)

  • 고형호;김종팔;박상준;곽동훈;송태용;조동일;허건수;박장현
    • 센서학회지
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    • 제13권2호
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    • pp.101-109
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    • 2004
  • This paper presents a novel z-axis accelerometer with perfectly aligned vertical combs fabricated using the extended sacrificial bulk micromachining (extended SBM) process. The z-axis accelerometer is fabricated using only one (111) SOI wafer and two photo masks without wafer bonding or CMP processes as used by other research efforts that involve vertical combs. In our process, there is no misalignment in lateral gap between the upper and lower comb electrodes, because all critical dimensions including lateral gaps are defined using only one mask. The fabricated accelerometer has the structure thickness of $30{\mu}m$, the vertical offset of $12{\mu}m$, and lateral gap between electrodes of $4{\mu}m$. Torsional springs and asymmetric proof mass produce a vertical displacement when an external z-axis acceleration is applied, and capacitance change due to the vertical displacement of the comb is detected by charge-to-voltage converter. The signal-to-noise ratio of the modulated and demodulated output signal is 80 dB and 76.5 dB, respectively. The noise equivalent input acceleration resolution of the modulated and demodulated output signal is calculated to be $500{\mu}g$ and $748{\mu}g$. The scale factor and linearity of the accelerometer are measured to be 1.1 mV/g and 1.18% FSO, respectively.

은(Ag)계 활성금속을 사용한 질화 알미늄(AlN)과 Cu의 브레이징 (Brazing of Aluminium Nitride(AlN) to Copper with Ag-based Active Filler Metals)

  • 허대;김대훈;천병선
    • Journal of Welding and Joining
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    • 제13권3호
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    • pp.134-146
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    • 1995
  • Aluminium nitride(AlN) is currently under investigation as potential candidate for replacing alumium oxide(Al$_{2}$ $O_{3}$) as a substrate material for for electronic circuit packaging. Brazing of aluminium nitride(AlN) to Cu with Ag base active alloy containing Ti has been investigated in vacuum. Binary Ag$_{98}$ $Ti_{2}$(AT) and ternary At-1wt.%Al(ATA), AT-1wt.%Ni(ATN), AT-1wt.% Mn(ATM) alloys showed good wettability to AlN and led to the development of strong bond between brate alloy and AlN ceramic. The reaction between AlN and the melted brazing alloys resulted in the formation of continuous TiN layers at the AlN side iterface. This reaction layer was found to increase by increase by increasing brazing time and temperature for all filler metals. The bond strength, measured by 4-point bend test, was increased with bonding temperature and showed maximum value and then decreased with temperature. It might be concluded that optimum thickness of the reaction layer was existed for maximum bond strength. The joint brazed at 900.deg.C for 1800sec using binary AT alloy fractured at the maximum load of 35kgf which is the highest value measured in this work. The failure of this joint was initiated at the interface between AlN and TiN layer and then proceeded alternately through the interior of the reaction layer and AlN ceramic itself.

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배향화된 금속기관에서 산화물막의 제조와 분석 (Fabrication and characterization of metal oxide films on textured metal substrates)

  • 최은철;홍인기;이창호;성태현;노광수
    • 한국초전도학회:학술대회논문집
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    • 한국초전도학회 2000년도 High Temperature Superconductivity Vol.X
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    • pp.111-120
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    • 2000
  • Recently, metal oxide films such as MgO or ZrO$_2$ have been studied as buffer layers to fabricate the superconductor with preferred orientation and as diffusion barriers to prevent the reaction between superconductor and metal substrate. In this research, we focused fabrication and characterization of MgO and ZrO$_2$ films on textured metal substrates. We fabricated MgO and ZrO$_2$ films on the Ni metal sheets by sol-gel dipping method. The microstrcures of the films were investigated by SEM and AES analyses. The films were coated with different cycles and dryed at 400$^{\circ}$C and 500$^{\circ}$C . The final films were heat-treated at 700$^{\circ}$C, 800$^{\circ}$C, and 1000$^{\circ}$C, in air atmosphere. We investigated the alignment of MgO and ZrO$_2$ films on Ni metal sheets by XRD and pole figure. The grain growth of metal oxide films was improved by the increase of the drying temperature and annealing temperature. The grain growth was increased with the annealing temperature. The alignment of metal oxide films depended on the thickness.

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Structural Characteristics on InAs Quantum Dots multi-stacked on GaAs(100) Substrates

  • Roh, Cheong-Hyun;Park, Young-Ju;Kim, Eun-Kyu;Shim, Kwang-Bo
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제7권1호
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    • pp.25-28
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    • 2000
  • 분자선에피택시법에 의하여 GaAs(100)기판 위에 InAs 자발형성양자점을 성장하였다. InAs 양자점은 1, 3, 6, 10, 15 및 20층 등으로 다양하게 적층되어졌고, GaAs 층과 InAs 양자점 층은 각각 20 MLs와 2 MLs의 두께를 갖도록 하였다. 이 양자점의 나노구조적 특성은 PL과 STEM을 사용하여 분석하였다. 가장 높은 PL 강도는 6층의 적층구조를 갖는 시편에서 나타났고 PL 피크의 에너지가 적층회수가 증가함에 따라 분리됨을 알 수 있었다. STEM분석결과, 6충의 적층구조에서는 결함이 거의 없이 수직으로 형성된 구조를 보여준 반면에 10층 이상의 적층구조를 가질 때 그 성장 방향에 따라 volcano형상을 갖는 결함이 수직하게 성장되어졌다.

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Chip소자를 이용한 SSPA 설계 및 제작에 관한 연구 (The Design and Implementation of SSPA(Solid State Power Amplifier) using chip device)

  • 김용환;민준기;김현진;유형수;이형규;홍의석
    • 한국ITS학회 논문지
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    • 제2권2호
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    • pp.65-72
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    • 2003
  • 본 연구를 통하여 MMC(Microwave Micro Cell)를 위한 무선 중계 시스템과 ITS용 무선장비등에 사용 될 수있는 6단의 하이브리드 전력증폭기를 설계 및 제작하였다. 전력 증폭기 각단의 능동소자는 bare chip 형태의 Hetero-junction Power FET를 이용하였으며, $\varepsilon_{r}$=9.9, 15-mil 두께의 알루미나기판을 사용하여 제작하였다. 측정 결과 시스템의 순방향 주파수인 17.6GHz - 17.gGEU에서 33.2~36.5dB의 소신호 이득과 33.0$\~$34.0dBm까지의 출력전력을 얻었고, 역방향 주파수인 19.0GHt$\~$19.2GHz에서 36.0$\~$37.0dB의 소신호 이득을 출력전력은 33.0$\~$34.5dBm을 얻었다.

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고출력, 고이득 Ka-band 하이브리드 전력증폭기 모듈 개발에 관한 연구 (A Study on the development of high gain and high power Ka-band hybrid power amplifier module)

  • 이상효;김홍득;정진호;권영우
    • 대한전자공학회논문지TC
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    • 제38권11호
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    • pp.49-54
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    • 2001
  • GaAs pHEMT와 도파관-마이크로스트립 변환구조를 이용하여 고출력, 고이득 특성을 갖는 Ka-band 하이브리드 전력증폭기 모듈을 개발하였다. 본 전력증폭기는 10 mil 두께의 duroid 기판을 이용한 마이크로스트립 라인과 도파관 마이크로스트립 변환구조로 이루어져 있다. 제작된 도파관-마이크로스트립 변환구조는 32 40 GHz 대역까지 약 1 dB의 삽입손실(back to back)을 보인다. 전력증폭기 모듈의 측정 결과, 36.1 - 37.1 GHz에서 1W 이상의 출력 전력, 23dB 이상의 전력 이득을 보이며 36.5GHz에서 31dBm의 출력전력, 24dB의 전력 이득, 15%의 PAE을 나타내었다.

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3D MEMS 소자에 적합한 열적 응력을 고려한 수직 접속 구조의 설계 (A design of silicon based vertical interconnect for 3D MEMS devices under the consideration of thermal stress)

  • 정진우;김현철;전국진
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제45권2호
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    • pp.112-117
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    • 2008
  • 3D MEMS 소자 또는 적층형 패키지에 응용하기 위해서 실리콘 관통 비아를 이용한 새로운 수직 접속 방법을 제안하고 그 실효성을 증명하기 위해 제작하였다. 제안된 실리콘 관통 비아는 기존의 관통 비아에서 도전 물질로 사용되던 구리대신 실리콘을 적용하였다. 그 결과 열팽창 계수 차이에 의한 열응력 줄일 수 있어 높은 온도에서 이루어지는 MEMS 공정과 병행 가능하게 되었다. $30{\mu}m$ 두께의 실리콘 기판 2층이 적층되었으며 $40{\mu}m$$50{\mu}m$의 간격을 가지는 관통 비아 배열을 제작하였다. 관통 비아의 전기적 특성을 측정하고 분석하였다. 측정된 저항 값은 $169.9\Omega$이었다.

대역 저지 슬롯이 추가된 역삼각형 모노폴 UWB 안테나의 설계 (A Design of Inverted-Triangle UWB Monopole Antenna with Band Rejection Slot)

  • 최형석;최경;황희용
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제22권5호
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    • pp.516-521
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    • 2011
  • 본 논문에서는 5 GHz WLAN 대역 저지를 위한 슬롯과 접지면에 굴곡이 있는 역삼각형 모노폴 UWB 안테나를 제안하였다. 제안된 안테나는 CPW 형태로 급전하였으며, 패치면과 접지면 사이에 3개의 각을 이용하여 모노폴 안테나의 대역폭을 확장시켜 3.1~10.6 GHz에서 약 -10 dB 이하의 반사 손실을 만족시켰다. 제작된 안테나는 비유전율 6.15, 두께 0.64 mm인 Taconic사의 RF-60A 기판을 사용하였으며, 안테나 패치의 크기는 36 mm${\times}$19.5 mm이다. 측정 결과, WLAN 대역을 제외한 UWB 시스템 전 대역에서 약 -10 dB 이하의 반사 손실과 전방향성에 근접한 복사 패턴의 특성을 나타내었다. 제안된 안테나는 접지면의 굴곡각을 이용하여 주파수 대역에 따라 임피던스를 조절하기 용이하다는 이점이 있으며, 비교적 간단한 형태의 슬롯을 삽입하여 대역 저지 특성을 나타낼 수 있다.

Soft Surface를 이용한 신호 중계 장치용 이중 대역 마이크로스트립 안테나 (A Dual Baud Microstrip Antenna with Soft Surface for Gapfiller Applications)

  • 김병철;류준규;추호성;장대익;박익모
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제20권11호
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    • pp.1145-1160
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    • 2009
  • 본 논문에서는 soft surface를 이용하여 IEEE 802.11a/b 대역에서 10 dBi 이상의 이득과 유사한 모양의 복사 패턴과 이득을 가지며, 동작하는 신호 중계 장치용 안테나를 제안한다. 제안한 안테나의 크기는 $50{\times}56.5{\times}5.5\;mm^3$이고, soft surface를 포함한 접지면의 크기는 $175.0{\times}154.4\;mm^2$이다. 안테나는 동축 케이블을 이용하여 급전하였으며, 두께가 0.508 mm이고 비유전율이 3.38인 RO4003 기판 위에 설계하였다. 전산 모의 실험 결과, VSWR<2 기준으로 2.388~2.493 GHz와 5.561~6.051 GHB의 대역폭을 가지며, 각 대역의 중심 주파수에서의 이득은 10.63 dBi와 10.33 dBi이다.