• Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
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• 제27권10호
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• pp.106-112
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• 1990

The progress of oxidation of a porous silicon layer(PSL) was studied by examining the temperature dependence of the oxidation and the infrared absorption spectra. Thick OPSL(oxidized porous silicon layer). which has the same properties as thermal $SiO_{2}$ of bulk silicon, is formed in a short time by two steps wet oxidation of PSL at $700^{\circ}C$, 1 hr and $1100^{\circ}C$, 1 hr. Etching rate, breakdown strength of the OPSL are strongly dependent on the oxidation temperature, oxidation atmosphere. And its breakdown field was ${1\MV/cm^-2}$ MV/cm The oxide film stress was determined through curvature measurement using a dial gauge. During oxidation at temperature above $1000^{\circ}C$ in dry $O_{2}$, stress on the order of ${10^9}\dyne/{cm^2}{-10^10}\dyne/{cm^2}$ are generated in the OPSL.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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• pp.145-145
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• 1999

La-Ca-Mn-O (LCMO) 박막에서 초거대 자기 저항 효과와 발견된 이후 자기 센서와 고밀도 자기 저장 매체로서 응용하기 위한 연구가 진행되고 있다. 그러나 현재 대부분의 증착은 타겟과 박막간의 조성의 일치를 위하여 PLD 방법을 이용하고 있으며 RF magnetron sputtering 법으로 증착한 예는 많이 보고되고 있지 않으며 특히 적층 성장시킨 예는 아직 보고되지 있지 않다. 또한 LCMO와의 낮은 격자 상수 불일치를 보이는 SrTiO3와 LaAlO3 기판에 LCMO 박막을 성장시킬 경우 LaAlO3의 경우 XRD rocking curve의 curve의 FWHM 값이 SrTiO3 상에 증착시킨 것의 10배 이상의 값을 보인다는 것은 주목할 만한 사실이다. RF magnetron sputtering 법을 이용하여 LaAlO3 기판상에 145nm MCMO 박막을 적층성장시켰다. XRD $ heta$-2$\theta$ scan을 통해 박막이 c-축 배향한 것을 확인할 수 있었으며 RBS 분석결과 4.98%의 minimumyield를 보였으며 이로부터 박막이 적층성장한 것을 확인할 수 있었다. LCMO (200) peak의 XRD $\theta$-rocking 결과 FWHM의 값은 0.311$^{\circ}$를 보였으나 2개의 피크가 존재하는 것을 볼 수 있었다. 따라서 기판의 (200) 피크를 XRD $\theta$-2$\theta$ scan에서 0.3$^{\circ}$ 간격으로 두 개의 피크를 관찰할 수 있었는데 이는 기판과 박막간의 stress로 인한 tetragonal distortion에 의한 것으로 알려져 있었다. 따라서 기판상에 박막이 어떤 식으로 적층 성장되었는지를 RBS를 이용하여 <001>과 <011> 방향으로 2MeV He++를 주입하여 0.1$^{\circ}$ 간격으로 틸팅을 해본 결과 <001> 방향에서는 1.12$^{\circ}$의 차이를 보였다. 이는 기판과의 compressive stress로 인해 c축 방향으로 늘어났으며 stress relaxed layer는 XRD 결과와는 달리 관찰할 수 없었다. 이러한 현상의 기판 자체의 twin 구조로 인한 것으로 생각된다. RBS 분석후 고분해능 XRD를 이용해 LCMO (200) peak의 $\theta$-rocking 결과 이제R지 laAlO3 상 증착한 LCMO의 값으로는 제일 작은 0.147$^{\circ}$를 나타내었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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• pp.189-189
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• 2010

최근 연구와 생산에 가속이 붙기 시작한 AMOLED는 모두 LTPS TFT를 사용하고 있다. LTPS TFT는 높은 전자 이동도를 가지고 있기 때문에 현재 각광 받는 AMOLED에 잘 맞는다. 하지만 LTPS TFT는 균일성이 낮고 고비용이라는 문제점이 있으며, 현재 대면적 기술이 부족한 상태이다. 극복방안으로 AMOLED를 타겟으로 하는 Oxide TFT와 a-Si TFT의 기술이 발전되고 있다. Oxide TFT는 AMOLED backplane으로 사용될 수 있는 강력한 후보 중의 하나이다. Oxide TFT는 단결정 산화물과 다결정 복합 산화물 두 가지 범주를 가지고 있다. 본 연구에서는 다결정 Oxide TFT의 하나인 ZTO TFT를 연구함으로서 Engineer의 근본적 이슈인 저비용에 초점을 맞추어 소자특성을 확인해보도록 한다. n-type wafer 에 PE-CVD 장비를 이용하여 SiNx를 120 nm 증착하고, channel layer인 ZTO 용액을 spin-coating을 이용하여 형성하였다. 균일하게 형성된 ZTO의 결정을 위하여 $500^{\circ}C$에서 1시간 동안 공기 중에서 annealing을 하였다. 과정을 거친 ZTO는 약 30 nm 두께로 형성되었다. Thermal evaporator를 이용하여 Source, Drain의 전극을 형성 하고, wafer 뒷면에는 Silver paste를 이용하여 Gate를 형성하였다. 제작된 소자를 dark room temperature 에서 측정 하였다. 측정된 소자는 우수한 전기적 특성과 0.96 cm2/Vs 인 이동도를 얻어냈다. 이러한 소자의 안정성에 따른 전기적 특성을 관측하기 위하여 상온에서 $100^{\circ}C$ 까지의 온도 스트레스를 주었다. Stress에 따른 소자는 상온에서 시작하여 온도가 올라갈수록 이동도가 낮아지고, 문턱전압 증가와 SS이 커짐을 알 수 있었다. 캐리어의 운동 매커니즘에서 온도가 올라가면 격자진동의 영향을 크게 받음으로서 캐리어의 이동도가 낮아져 전기적 특성이 낮아지는 점이 본 연구에도 적용됨을 알 수 있었다. 본 연구를 통하여 화학적 안정성을 지닌 소자라는 점과 더불어 여타 TFT공정에 비하여 현저히 낮은 공정비용을 통하여 AMOLED가 요구하는 수준의 특성에 가까운 소자를 제작할 수 있다는 것을 확인하였으며 앞으로의 추가적인 연구에 따라서 더욱 완성된 공정기술을 기대할 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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• pp.170-170
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• 2012

최근 주목받고 있는 amorphous InGaZnO (a-IGZO) thin film transistors (TFTs)는 수소가 첨가된 비정질 실리콘 TFT (a-Si;H)에 비해 비정질 상태에서도 높은 이동도와 뛰어난 전기적, 광학적 특성에 의해 큰 주목을 받고 있다. 또한 넓은 밴드갭에 의해 가시광 영역에서 투명한 특성을 보이고, 플라스틱 기판 위에서 구부러지는 성질에 의해 플랫 패널 디스플레이나 능동 유기 발광 소자 (AM-OLED), 투명 디스플레이에 응용되고 있다. 하지만, 실제 디스플레이가 동작하는 동안 스위칭 TFT는 백라이트 또는 외부에서 들어오는 빛에 지속적으로 노출되게 되고, 이 빛에 의해서 TFT 소자의 신뢰성에 악영향을 끼친다. 또한, 디스플레이가 장시간 동안 동작 하면 내부 온도가 상승하게 되고 이에 따른 온도에 의한 신뢰성 문제도 동시에 고려되어야 한다. 특히, 실제 AM-LCD에서 스위칭 TFT는 양의 게이트 전압보다 음의 게이트 전압에 의해서 약 500 배 가량 더 긴 시간의 스트레스를 받기 때문에 음의 게이트 전압에 대한 신뢰성 평가는 대단히 중요한 이슈이다. 스트레스에 의한 문턱 전압의 변화는 게이트 절연막과 반도체 채널 사이의 계면 또는 게이트 절연막의 벌크 트랩에 의한 것으로 게이트 절연막의 선택에 따라서 신뢰성을 효과적으로 개선시킬 수 있다. 본 연구에서는 적층된 $Si_3N_4/SiO_2$ (NO 구조) 이중층 구조를 게이트 절연막으로 사용하고, 완충층의 역할을 하는 $SiO_2$막의 두께에 따른 소자의 전기적 특성 및 신뢰성을 평가하였다. a-IGZO TFT 소자의 전기적 특성과 신뢰성 평가를 위하여 간단한 구조의 pseudo-MOS field effect transistor (${\Psi}$-MOSFET) 방법을 이용하였다. 제작된 소자의 최적화된 $SiO_2$ 완충층의 두께는 20 nm이고 $12.3cm^2/V{\cdot}s$의 유효 전계 이동도, 148 mV/dec의 subthreshold swing, $4.52{\times}10^{11}cm^{-2}$의 계면 트랩, negative bias illumination stress에서 1.23 V의 문턱 전압 변화율, negative bias temperature illumination stress에서 2.06 V의 문턱 전압 변화율을 보여 뛰어난 전기적, 신뢰성 특성을 확인하였다.

• Korean Journal of Environmental Biology
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• 제17권2호
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• pp.209-215
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• 1999

Changes of malate dehydrogenase isozyme in oyster exposed to different temperature, pH and salinity were investigated by polyacrylamide gel electrophoresis. MDH isozyme in control group was separated into two bands on the positive side. In case of temperature and pH stress, MDH isozyme was separated into only one band after 12 hours exposure but two bands after 24, 48 hours exposure on the positive side. In case of salinity stress, after 12 hours exposure, MDH isozyme bands were separated into two bands in 5 ppt, 30 ppt and three bands in 10 ppt, 40 ppt concentration on the positive side. After 24 hours and 48 hours exposure case in salinity stress, MDH isozyme bands was separated into two bands on the positive side in all concentration. Activities of isozyme bands show their characteristics according to the condition of experiment. In conclusion, changes of MDH isozyme was a biochemical defense mechanism in oyster and result from effect of environmental stress to oyster.

• Journal of Life Science
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• 제11권5호
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• pp.464-469
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• 2001

A gene, dnaK2, encoding a distinct member of the HSP70 family of molecular chaperones is isolated from the halotolerant cyanobactrium Aphanothece halophytica. The dnak2 gene encodes a molecular wight of 68 kDa polypeptide with predicted 616 amino acid residues. The DnaK2 protein has a structural characteristic of bacterial DnaK homologues and shows high similarity to other HSP70/Dank proteins. The danK2 transcripts are hardly detectable at 28$^{\circ}C$ and strongly induced upon heat stress. It is also found that dnaK2 transcript is increased by high-salinity stress even in the absence of heat stress. These results suggest that the DnaK2 protein plays an important role in protecting A. halophytica against damage caused by salt stress at well as heat stress.

• 한국지구물리탐사학회:학술대회논문집
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• 한국지구물리탐사학회 2008년도 공동학술대회
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• pp.149-154
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• 2008

We analyzed the Coulomb stress transfer near a small-scale reverse fault. For the modeling we used the geometry of a Quaternary fault in Gyeongju area, Eupcheon fault. For an assumed reverse faulting slip of 10cm, the resulting values of the Coulomb stress change are relatively higher (>2 bar) near the edges (both downward and lateral) of the fault, and diminish slightly upward and downward. The equivalents are negative in the zone immediately below and above the fault, exhibiting a "T" shape of low stress zone in the vertical profile of the fault. This study demonstrates the possible ranges and directions the aftershock energy would propagates after a reverse faulting.

• Journal of Life Science
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• 제27권1호
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• pp.15-22
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• 2017

Streptococcus mutans (S. mutans), which plays a major role in the etiology of human dental caries, is able to tolerate exposure to acid shock in addition to its acidogenicity. We investigated the effects of pH stress on membrane fluidity, activities and expression levels of F-ATPase, and proton permeability in S. mutans. Using 1,6-diphenyl-1,3,5-hexatriene, we observed membrane ordering at pH 4.8 and pH 8.8. The ordering effects were larger at pH 4.8 in cytoplasmic membranes isolated from S. mutans (CMSM). Increasing pH resulted in a decrease in the activities and expression levels of F-ATPase. The proton permeability was decreased at both acidic and alkaline pHs, and the lowest permeability was observed at pH 4.8. The lower permeability at pH 8.8 than pH 6.8 is likely to be caused by the decreased proton influx due to the decreased CMSM fluidity. In addition, it seems to be evident that extremely low permeability at pH 4.8 was caused by the decreased proton influx due to the decreased CMSM fluidity as well as the increased proton efflux due to the increased activity and expression level of F-ATPase. It is likely that CMSM fluidity and F-ATPase activity are two major key factors that determine proton permeability in S. mutans. We suggest that CMSM fluidity plays an important role in the determination of proton permeability, which sheds light on the possibility of using nonspecific membrane fluidizers, e.g., ethanol, for anti-caries purposes.

• Journal of Chest Surgery
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• 제35권5호
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• pp.343-349
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• 2002

background: In an attempt to investigate the role of oxidants in the activation of phospholipase $A_2$(PLA$_2$) and endogenous oxidative stress in the lung. acute inflammatory lung injury was induced by the instillation of hydrogen peroxide into the trachea of Sprague-Dawley rats. Material and Method: To prove the hypothesis thats released oxidants from neutrophils activate the PLA$_2$ retrogradely, activities of PLA$_2$ and lysoplatelet activating factor acetyltransferase(lysoPAF AT) were assayed i hours after instillation of hydrogen peroxide. In addition, to confirm the impairing effects of the activation of PLA$_2$ associated with endogenous oxidative stress, lung weight/body weight ratio(L$\times$10$^{-3}$ B), protein contents(mg/two lungs) in bronchoalveolar lavage(BAL) were measured. As neutrophilic respiratory burst has been known to play a pivotal role in the genesis of endogenous oxidative stress associated with acute inflammatory lung injury, BAL neutrophils counts and level of lung myelperoxidase(MPO) were measured after hydorgen peroxide insult. Morphological and histochemical studies were also performed to identify the effect of the endogenous oxidative stress. Result: Five hours after hydrogen peroxide instillation, lungs showed marked infiltration of neutrophils and increased weight. Protein contents in BAL increased significantly compared to those of normal rats. PLA$_2$ activity was enhanced in the hydrogen peroxide instilled group. Interestingly, the accelerated production of platelet activating factor(PAF) was confirmed by the increased activity of lysoPAF AT in the $H_2O$$_2$ employed lung. Morphologically, light microscopic findings of lungs after instillation of hydrogen peroxide showed atelectasis and infiltration of inflammatory cells, which was thought to be caused by lipid mediators produced by PLA$_2$ activation. In cerium chloride cytochemical electron microscopy, dense deposits of cerrous perhydroxide were identified. In contrast, no deposit of cerrous perhydroxide was found in the normal lung.

• Journal of Sasang Constitutional Medicine
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• 제15권2호
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• pp.84-88
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• 2003

The sudden deafness and tinnitus caused by stress is a very common otorhinolaryngologic disease. But, we do not know the exact cause and the healing method of that. We have a case report of the patient who has the sudden deafness and tinnitus caused by stress. He has also insomnia, neck pain, general weakness and so forth. In this study the patient classified by Sasang constitutional medicine had a notable medical effects. And in the result, any symptoms are not remained. So we report the healing process and result of this patient in this study.