Change of stochastic properties of MEMS structure in terms of dimensional variations using function approximation moment method (함수 근사 모멘트 기법을 활용한 치수 분포에 따른 MEMS 구조물의 통계적 특성치 변화에 관한 연구)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2005.06a
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- pp.602-606
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- 2005