함수 근사 모멘트 기법을 활용한 치수 분포에 따른 MEMS 구조물의 통계적 특성치 변화에 관한 연구 (Change of stochastic properties of MEMS structure in terms of dimensional variations using function approximation moment method)
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- 한국정밀공학회:학술대회논문집
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- 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.602-606
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- 2005