• 제목/요약/키워드: spectroscopic ellipsometry

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가변입사각 분광타원법을 이용한 유기 발광 박막의 광학 상수 및 두께 결정 (Determination of optical constants and thickness of organic electroluminescence films using variable angle spectroscopic ellipsometry)

  • 류장위;김상열;김동현;정혜인
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2001년도 제12회 정기총회 및 01년도 동계학술발표회
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    • pp.264-265
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    • 2001
  • 영상표시방법은 관례적인 CRT 방법에 더하여 LCD, TFT-LCD, FED, PDP 등 다양한 방법들이 개발되었거나 개발되고 있다. 유기발광소자(OLED)를 이용한 영상표시법도 최근 그 실용성이 크게 향상된 방법으로 이 OLED를 이용하는 발광소자는 LCD, TFT-LCD 등의 방법과 마찬가지로 다층박막구조를 가지므로 각 박막층의 특성과 계면 급준성 등을 정확하게 평가하는 것은 긴요하다 하겠다. (중략)

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열처리 조건에 따른 이온주입된 실리콘의 재결정화 (Thermal Annealing Condition Dependence of Ion-implanted Silicon Recrystallization)

  • 이창희;이순일
    • 한국진공학회지
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    • 제4권4호
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    • pp.386-393
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    • 1995
  • 이온주입된 실리콘 시료들의 열처리 조건에 따른 재결정화를 분광 타원해석법(Spectroscopic Ellipsometry, SE)을 사용하여 연구하였다. 열처리 후에도 잔류하는 결함들의 양과 분포를 구하기 위한 시료의 층구조 분석에 있어서 손상층의 유효굴절율은 Bruggeman 유효매질이론을 이용하여 구하였으며 기준 비정질실리콘 데이터로서는 완화된 비정질실리콘의 광학상수와 이온주입에 의해서 만들어진 비정질 실리콘의 광학상수를 함께 사용하였다. 조사된 대부분의 열처리 조건하에서 고체상 적층성장(solid-phase epitaxial growth)과정에 따라 비정질층이 재결정화되는 것이 관측되었다.

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Reaction process in electrochromism of tungsten oxide thin films

  • An, Il-Sin;Lee, Chang-Hyo;Lim, Won-Taeg
    • Journal of Korean Vacuum Science & Technology
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    • 제2권2호
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    • pp.85-91
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    • 1998
  • The electrochromic behaviors of de-magnetron sputtered tungsten oxide thin films were investigated during coloration and bleach cycles using in situ real-time spectroscopic ellipsometry. Effective medium approximation and least-squares regression analyses were employed to investigate the electrochromic process. The optical properties of the tungsten oxide film were analyzed using the oscillator model and the evolution of the process using a reaction-limited model. In these analyses, we found that two different reaction rates were associated with the process. We ascribe this behavior to the microstructure of this films.

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분광타원법을 이용한 ZnSe 자연 산화막의 유전율 함수에 관한 연구 (Study on dielectric function of natural ZnSe oxide by spectroscopic ellipsomety)

  • 김태중;성가영;최재규;김영동
    • 한국진공학회지
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    • 제10권2호
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    • pp.252-256
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    • 2001
  • 분광타원법을 이용하여 상온에서 ZnSe의 유전율 함수를 측정하였다. 순수한 ZnSe의 유전율 함수를 얻기 위해서 적절한 화학적인 식각법을 행함으로써 시료표면의 산화막을 제거하였고, 그 결과 이전에 보고된 것보다 더 좋은 결과를 얻을 수 있었으며, 또한 이전의 산화막 제거 방법에 문제가 있었음을 알 수 있었다. 산화막을 제거하기 전의 유사 유전율 함수와 그것을 수행한 후의 유전율 함수에 대해 브루그먼 유효매질 어림이론을 사용하여 비정질 Se, $GaAsO_3$, void 등의 물질을 조합함으로써 ZnSe 자연 산화막의 유전율 함수를 결정하였다.

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