Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 2005.02a
- /
- Pages.76-77
- /
- 2005
Decomposition Process and Structure Variation of PtO$_X$ Film Investigated by Spectroscopic Ellipsometry
분광 타원법을 이용한 PtO$_X$ 박막의 온도변화에 따른 분해과정과 구조변화에 대한 연구
Abstract
Keywords