진공자외선 분광타원법을 이용한 이산화티타늄 박막의 복소유전율 및 두께 결정

Determination of Complex Dielectric Functions and Thicknesses of Titanium Dioxide Thin Films by Using Vacuum Ultraviolet Spectroscopic Ellipsometry

  • 김현종 (한국표준과학연구원 광기술표준부) ;
  • 제갈원 (한국표준과학연구원 광기술표준부) ;
  • 조용재 (한국표준과학연구원 광기술표준부) ;
  • 조현모 (한국표준과학연구원 광기술표준부) ;
  • 이윤우 (한국표준과학연구원 광기술표준부) ;
  • 김상열 (아주대학교 분자과학기술학과)
  • 발행 : 2004.02.12