EWMA 관리도 최적화를 통한 반도체 제조 공정의 설비 미세변동 감지력 향상에 관련 연구 (A case study regarding improving fine variation detecting rate of the machine through optimizing EWMA control charts in semiconductor manufacturing process)
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- 한국정밀공학회:학술대회논문집
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- 한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.643-644
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- 2013