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Real-Time Spacer Etch-End Point Detection (SE-EPD) for Self-aligned Double Patterning (SADP) Process

  • Han, Ah-Reum;Lee, Ho-Jae;Lee, Jun-Yong;Hong, Sang-Jeen
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.436-437
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    • 2012
  • Double patterning technology (DPT) has been suggested as a promising candidates of the next generation lithography technology in FLASH and DRAM manufacturing in sub-40nm technology node. DPT enables to overcome the physical limitation of optical lithography, and it is expected to be continued as long as e-beam lithography takes place in manufacturing. Several different processes for DPT are currently available in practice, and they are litho-litho-etch (LLE), litho-etch-litho-etch (LELE), litho-freeze-litho-etch (LFLE), and self-aligned double patterning (SADP) [1]. The self-aligned approach is regarded as more suitable for mass production, but it requires precise control of sidewall space etch profile for the exact definition of hard mask layer. In this paper, we propose etch end point detection (EPD) in spacer etching to precisely control sidewall profile in SADP. Conventional etch EPD notify the end point after or on-set of a layer being etched is removed, but the EPD in spacer etch should land-off exactly after surface removal while the spacer is still remained. Precise control of real-time in-situ EPD may help to control the size of spacer to realize desired pattern geometry. To demonstrate the capability of spacer-etch EPD, we fabricated metal line structure on silicon dioxide layer and spacer deposition layer with silicon nitride. While blanket etch of the spacer layer takes place in inductively coupled plasma-reactive ion etching (ICP-RIE), in-situ monitoring of plasma chemistry is performed using optical emission spectroscopy (OES), and the acquired data is stored in a local computer. Through offline analysis of the acquired OES data with respect to etch gas and by-product chemistry, a representative EPD time traces signal is derived. We found that the SE-EPD is useful for precise control of spacer etching in DPT, and we are continuously developing real-time SE-EPD methodology employing cumulative sum (CUSUM) control chart [2].

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부산 관광콘텐츠를 활용한 여행 앱북 <레인보우 부산> 개발 (The Development of A Tour Application Book Using Contents Concerned with Busan Tour)

  • 장은진;윤태수
    • 스마트미디어저널
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    • 제4권4호
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    • pp.93-100
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    • 2015
  • 현재 국내 출판계의 전자책과 앱북 시장은 장르문학인 소설과 웹툰 분야의 매출이 전체의 80%에 이르는 특정분야 매출 편중 현상이 두드러지게 나타나는 상황이다. E-book에서 진화한 앱북은 오프라인에서 주로 판매되는 종이책과는 달리 가독성과 구매의 편리함이 강점이지만 일반화되기에는 대중적 전파력에 있어 시일이 걸린다는 점이 단점으로 작용하기도 한다. 그러한 상황 속에서도 국내 전자책 시장의 매출은 가파르게 성장하고 있으며 현재는 장르문학에 국한되지 않고 출판콘텐츠 분야에서 다양한 실험적 도전이 시행되고 있는 단계라고 할 수 있다. 본 연구는 부산관광콘텐츠를 기반으로 한 최초의 지역콘텐츠 소재 앱북의 기획과 개발과정을 통해 향후 웹 모바일 플랫폼으로서 관광 앱북을 개발하고 기존의 단순한 정보만을 제공하는 앱북의 단점들을 보완하여 유료다운로드를 통한 구매로 이어지는 지속적 사용이 가능한 여행 앱북의 활용 전략을 제안하고자 한다.

An Overview of Kenyan Aquaculture: Current Status, Challenges, and Opportunities for Future Development

  • Munguti, Jonathan Mbonge;Kim, Jeong-Dae;Ogello, Erick Ochieng
    • Fisheries and Aquatic Sciences
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    • 제17권1호
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    • pp.1-11
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    • 2014
  • The Kenyan aquaculture sector is broadly categorized into freshwater aquaculture and mariculture. Whereas freshwater aquaculture has recorded significant progress over the last decade, the mariculture sector has yet to be fully exploited. The Kenyan aquaculture industry has seen slow growth for decades until recently, when the government-funded Economic Stimulus Program increased fish farming nationwide. Thus far, the program has facilitated the alleviation of poverty, spurred regional development, and led to increased commercial thinking among Kenyan fish farmers. Indeed, national aquaculture production grew from 1,000 MT/y in 2000 (equivalent to 1% of national fish production) to 12,000 MT/y, representing 7% of the national harvest, in 2010. The production is projected to hit 20,000 MT/y, representing 10% of total production and valued at USD 22.5 million over the next 5 years. The dominant aquaculture systems in Kenya include earthen and lined ponds, dams, and tanks distributed across the country. The most commonly farmed fish species are Nile tilapia Oreochromis niloticus, which accounts for about 75% of production, followed by African catfish Clarias gariepinus, which contributes about 21% of aquaculture production. Other species include common carp Cyprinus carpio, rainbow trout Oncorhynchus mykiss, koi carp Cyprinus carpio carpio, and goldfish Carassius auratus. Recently, Kenyan researchers have begun culturing native fish species such as Labeo victorianus and Labeo cylindricus at the National Aquaculture Research Development and Training Centre in Sagana. Apart from limited knowledge of modern aquaculture technology, the Kenyan aquaculture sector still suffers from an inadequate supply of certified quality seed fish and feed, incomprehensive aquaculture policy, and low funding for research. Glaring opportunities in the Kenyan aquaculture industry include the production of live fish food, e.g., Artemia, daphnia and rotifers, marine fish and shellfish larviculture; seaweed farming; cage culture; integrated fish farming; culture of indigenous fish species; and investment in the fish feed industry.

초등학생을 위한 SW 교육과정 표준 모델 개발 (A Development of the Software Education Curriculum Model for Elementary Students)

  • 정영식;김갑수;정인기;김현배;김철;유정수;김종우;홍명희
    • 정보교육학회논문지
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    • 제19권4호
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    • pp.467-480
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    • 2015
  • 2015 개정 교육과정에 따르면, 초등학교 SW교육은 실과 교과에서 17시간이라는 제한된 시간을 할애하고 있어, SW교육의 목적을 달성하는 데 한계가 있다. 따라서 본 연구에서는 초등학교 SW 교육과정에 대한 표준 모델을 제시하였다. 이를 위해 국내외 SW 교육과정을 분석한 후 SW 내용 체계를 소프트웨어, 컴퓨터 시스템, 융합활동 등 3개 영역으로 구분하고, 하위 영역을 10개 영역으로 구분하였다. 또한, SW 교육 내용을 학년의 구분없이 학습할 수 있도록 무지개 색을 이용하여 7단계로 구분하였다. 향후 제안된 교육과정 모델을 토대로 교재와 교구를 개발하여 보급한다면 학교 현장의 SW교육 발전에 기여할 것이다.

메모리 효율적인 TMTO 암호 해독 방법 (Memory-Efficient Time-Memory Trade-Off Cryptanalysis)

  • 김영식;임대운
    • 한국통신학회논문지
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    • 제34권1C호
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    • pp.28-36
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    • 2009
  • Hellman에 의해서 처음 제시된 TMTO (time memory trade-o런 암호 해독 방법은 블록 암호, 스트림 암호, 그리고 해쉬 함수와 같은 일반적인 암호 시스템에 광범위하게 적용된다. 이 논문에서는 TMTO 암호 해독 방법에서 선계산 단계에서 테이블을 저장하기 위해 필요한 저장 공간을 감소시킬 수 있는 방법을 제안한다. 시작점을 의사난수 수열군 통해서 생성하고 시작점의 실제 값 대신 난수 수열 군에서 몇 번째로 취한 값인지에 대한 색인을 저장하는 방식으로 시작점을 저장하기 위해 필요한 메모리 용량을 줄일 수 있다. 이 논문에서는 이 방법을 사용하면 키의 길이가 126 비트일 경우에 시작점을 저장하기 위해 필요한 메모리의 양을 10% 이하로 줄이는 것도 가능하다는 것을 보일 것이다. 이에 대한 비용으로 온라인 단계에서의 탐색 시간이 조금 더 늘어나지만 메모리가 시간에 비해서 더 비싼 자원이기 때문에 필요한 메모리 용량이 감소하게 되면 공격의 실현가능성이 더욱 커지게 된다.

전통장류로부터 혈전용해 활성이 우수한 효모균주의 분리 (Isolation of Fibrinolytic Yeasts from Korean Traditional Fermented Soybean)

  • 이재형;허남기;최병곤;박은희;권세영;김명동;홍운표;여수환;백성열
    • 한국미생물·생명공학회지
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    • 제42권2호
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    • pp.184-189
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    • 2014
  • 본 연구에서는 강원전통장류로부터 혈전용해 활성이 우수한 효모를 분리하였다. 된장에서 분리한 AFY-1 균주는 혈전용해 활성 측정결과 양성대조구인 plasmin 보다 약 1.75배 높은 활성을 나타내었다. 분리한 효모는 18S rRNA 염기서열 및 탄소원 이용 특성 분석을 통하여 Saccharomycetales sp.로 동정되었으며, AFY-1 균주의 생육 최적온도는 $32^{\circ}C$였다. 본 연구에서 분리된 혈전용해능이 우수한 효모균주는 안전성 검증 등 추가연구를 통해 발효식품 제조용 스타터로서 활용이 가능할 것으로 기대된다.

IoT 디바이스를 이용한 건강 평가 플랫폼 (A Health Assessment Platform with IoT Devices)

  • 라현정;김문권;김수동
    • 정보과학회 컴퓨팅의 실제 논문지
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    • 제22권5호
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    • pp.225-234
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    • 2016
  • 다양한 의료 IoT 디바이스들이 등장함에 따라 개인의 의료 데이터를 수집하고, 수집된 개인 의료 데이터로부터 개인 건강 상태를 분석할 수 있게 되었다. 그러나, 건강 평가 항목에 따라 하드웨어 및 소프트웨어 설계가 결정되어 개발 난이도가 높다. 본 논문에서는 의료 데이터를 수집하고 수집한 의료 데이터를 분석하여 건강 평가를 하는 다양한 시스템들을 개발하는데, 범용적으로 활용될 수 있는 플랫폼 설계를 제안한다. 이를 위해, 먼저 범용 건강 평가 모델인 건강 인덱스 계산 메트릭을 정의한다. 그리고, 제시된 범용 건강 인덱스를 기반으로 다양한 측면에서 건강을 평가할 때 필요한 하드웨어 플랫폼 및 소프트웨어 플랫폼 설계 모델을 제안한다. 또한, 제안된 플랫폼을 이용하여 레인보우 변기 시스템을 개발한 사례를 통하여, 플랫폼의 실용적 적용성을 평가한다.

Molecular cloning and expression of black rockfish Sebastes schlegelii p47-phox (neutrophil cytosolic factor 1)

  • Kim, Ki-Hyuk;Baeck, Gun-Wook;Kim, Mu-Chan;Park, Chan-Il
    • 한국어병학회지
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    • 제22권2호
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    • pp.137-146
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    • 2009
  • The black rockfish Sebastes schlegelii neutrophil cytosolic factor components p47 phox (phagocyte oxidase) cDNA was cloned. The sequence of the cDNA showed that rockfish p47 phox cDNA consisted of 1,952 bp contained open reading frame encoding predicted polypeptide of 420 amino acids. Additionally analysis of the p47 phox amino acid sequence showed two potential SH3 domains. The functional domains are highly conserved in many animals, though the sequence of the components of the black rockfish showed low homology with that of mammals. The deduced amino acid sequence of the black rockfish p47 phox was similar to those of the carp (60.4%), zebrafish (59,2%), rainbow trout (68.5%), xenopus (55.2%), mouse (54.2%), rabbit (54.5%), rat (53.7%), and chicken (50.9%). The expression of the rockfish p47 phox molecule was induced in peripheral blood leukocytes (PBLs) from 1 to 12 h following LPS stimulation, with a peak at 6 h after the stimulation, and which increased at 1, 3, and 12 h after treated with Poly I:C compared with the control. The rockfish p47 phox gene was expressed in various tissues of healthy fish. The level of p47 phox expression was high in the PBLs, kidney and spleen.

RPA 주제별 국내 동향연구 -유통업무 적용사례를 중심으로- (A Study on the Trends of RPA Subjects in Korea -Focusing on cases of application of distribution business-)

  • 이호;박현숙
    • 산업진흥연구
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    • 제6권2호
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    • pp.21-35
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    • 2021
  • 연구결과 도입측면의 연구는 RPA 도입의 방향, 성과기대, 비용, 규제, 리스크에 초점을 맞추어 진행되어 왔다. 향후 도입측면의 연구는 조직적 측면 연구 외에도 기술적, 환경적 측면의 연구 활성화가 필요함을 알 수 있었다. 적용사례 측면의 연구는 실제 기업, 적용업무, 적용직업을 대상으로 이루어져왔음을 알 수 있었다. 향후 적용사례 측면의 연구는 실제 기업, 적용업무, 적용직업을 대상으로 RPA 기술적용 후 성과에 대한 연구가 필요해 보인다. 시장분석 측면의 연구는 시장의 형성단계, 그리고 미래시장 예측으로 이루어져왔음을 알 수 있었다. 향후 연구는 AI, 4차 산업혁명과 연계되어 미래의 시장이 어떻게 전개될지에 대한 연구는 가능하리라 본다. 수용의도 측면의 연구는 타 주제에 비하여 연구가 상대적으로 미진한 연구 분야라고 할 수 있다. 앞으로 수용의도 측면의 연구가 더욱 활성화된다면 신기술수용 이론의 발전에도 기여하고 RPA도입, RPA적용, RPA시장 활성화에도 시사점을 제시하였다.

Single and Multi-Strain Probiotics Supplementation in Commercially Prominent Finfish Aquaculture: Review of the Current Knowledge

  • Sumon, Md Afsar Ahmed;Sumon, Tofael Ahmed;Hussain, Md. Ashraf;Lee, Su-Jeong;Jang, Won Je;Sharifuzzaman, S.M.;Brown, Christopher L.;Lee, Eun-Woo;Hasan, Md. Tawheed
    • Journal of Microbiology and Biotechnology
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    • 제32권6호
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    • pp.681-698
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    • 2022
  • The Nile tilapia Oreochromis niloticus, Atlantic salmon Salmo salar, rainbow trout Oncorhynchus mykiss, olive flounder Paralichthys olivaceus, common carp Cyprinus carpio, grass carp Ctenopharyngodon idella and rohu carp Labeo rohita are farmed commercially worldwide. Production of these important finfishes is rapidly expanding, and intensive culture practices can lead to stress in fish, often reducing resistance to infectious diseases. Antibiotics and other drugs are routinely used for the treatment of diseases and sometimes applied preventatively to combat microbial pathogens. This strategy is responsible for the emergence and spread of antimicrobial resistance, mass killing of environmental/beneficial bacteria, and residual effects in humans. As an alternative, the administration of probiotics has gained acceptance for disease control in aquaculture. Probiotics have been found to improve growth, feed utilization, immunological status, disease resistance, and to promote transcriptomic profiles and internal microbial balance of host organisms. The present review discusses the effects of single and multi-strain probiotics on growth, immunity, heamato-biochemical parameters, and disease resistance of the above-mentioned finfishes. The application and outcome of probiotics in the field or open pond system, gaps in existing knowledge, and issues worthy of further research are also highlighted.