Effect of Temperature on the Deposition Rate and Bending Strength Characteristics of Chemical Vapor Deposited Silicon Carbide Using Methyltrichlorosilane (메틸트리클로로실란을 이용한 화학증착 탄화규소의 증착율 및 굽힘강도 특성에 미치는 온도의 영향)
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- Composites Research
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- v.31 no.2
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- pp.43-50
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- 2018