• 제목/요약/키워드: probe image

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비초점 정밀 계측 방식에 의한 새로운 광학 프로브를 이용한 반도체 웨이퍼의 삼차원 미소형상 측정 기술 (A New Method of Noncontact Measurement for 3D Microtopography in Semiconductor Wafer Implementing a New Optical Probe based on the Precision Defocus Measurement)

  • 박희재;안우정
    • 한국정밀공학회지
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    • 제17권1호
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    • pp.129-137
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    • 2000
  • In this paper, a new method of noncontact measurement has been developed for a 3 dimensional topography in semiconductor wafer, implementing a new optical probe based on the precision defocus measurement. The developed technique consists of the new optical probe, precision stages, and the measurement/control system. The basic principle of the technique is to use the reflected slit beam from the specimen surface, and to measure the deviation of the specimen surface. The defocusing distance can be measured by the reflected slit beam, where the defocused image is measured by the proposed optical probe, giving very high resolution. The distance measuring formula has been proposed for the developed probe, using the laws of geometric optics. The precision calibration technique has been applied, giving about 10 nanometer resolution and 72 nanometer of four sigma uncertainty. In order to quantitize the micro pattern in the specimen surface, some efficient analysis algorithms have been developed to analyse the 3D topography pattern and some parameters of the surface. The developed system has been successfully applied to measure the wafer surface, demonstrating the line scanning feature and excellent 3 dimensional measurement capability.

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Light Probe를 이용한 제한된 실내 환경에 존재하는 점 광원 추정 기법 (Point Light Source Estimation from indoor environment from Light Probe)

  • 유재덕;박정욱;조지호;이관행
    • 한국HCI학회:학술대회논문집
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    • 한국HCI학회 2007년도 학술대회 1부
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    • pp.494-499
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    • 2007
  • 실제 영상과 가상의 오브젝트 또는 가상의 환경에 오브젝트를 합성하는 경우 등 사실적인 합성을 결과를 얻기 위해서는 실제 환경과 같은 배경 영상의 정확한 광원 정보가 필요하다. 본 논문에서는 실내 환경을 배경으로 영상을 합성 하는 과정에 필요한 광원정보를 카메라와 Light Probe를 이용하여 촬영된 단일 영상으로부터 추정하는 기법을 제안한다. 실내에 존재하는 광원들은 정확한 위치정보를 알 수 없는 실외환경에서와 달리 제한된 공간의 원점으로부터 3차원 공간에 위치한 좌표로 나타낼 수 있다. 광원을 추정하기 위해 먼저 실내 공간에 반사도가 높은 Light Probe를 위치하고 디지털 카메라의 적정 노출을 이용하여 광원 추정에 사용할 영상을 획득한다. 광원으로 존재하는 오브젝트의 경우 짧은 노출시간에도 카메라의 영상에 획득된다. 그렇기 때문에 단일 영상에서 광원의 영역을 추정하기 위해 영상처리를 통해 노출 시간을 짧게 하여 촬영한 영상과 비슷하게 밝은 영역만 표현되도록 처리를 한다. 전 처리된 영상으로부터 밝은 영역과 어두운 영역으로 구분을 하고 밝은 영역으로부터 광원의 정보를 추정한다. 추정된 광원들은 실제 렌더링에 곧바로 적용이 가능하며, 이를 통해 배경에 적합한 렌더링 결과를 얻을 수 있다.

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3차원 의료기기용 초음파진단기 프로브 개발 (Development of a Ultrasound Probe for 3-D Ultrasonic Imaging)

  • 박종수;김성래;남윤수
    • 산업기술연구
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    • 제25권A호
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    • pp.87-93
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    • 2005
  • Three-dimensional ultrasonic probes being applied to the medical imaging can be grouped into three depending on the scanning methods, which are a mechanical type system, a free-hand system, and 2D phased arrays system. A mechanical type scanner uses a mechanically driven transducer to acquire series of 2D plane images. By integrating these images, a 3-D medical image can be constructed. A motor driving mechanism is a conventional choice for mechanically driving a transducer assembly which picks the raw ultrasonic images up. In this paper we attempt to design a 3D ultrasonic probe which has a operating mechanism of s tilting 3-D scanning. The motion of a transducer assembly of the ultrasonic probe is analytically modelled. We propose a selection procedure for the diameter of a wire rope driving the transducer assembly and the size of torsional spring which gives an initial tension to wire ropes.

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유체역학 현상을 이용한 현미경 검사법 개발 (A Scanning Flow Impedance Micrscope)

  • 김태영;김동권;김성진
    • 대한기계학회:학술대회논문집
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    • 대한기계학회 2008년도 추계학술대회B
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    • pp.2670-2675
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    • 2008
  • We introduce a new type of surface microscope using hydrodynamic phenomena. The fluid flow through the opening of the pipette probe is blocked at short distances between the probe and the surface, thus increasing the pressure loss. Therefore, a scanning flow impedance microscope (SFIM) can image the surface topology by scanning the probe with measuring the pressure loss. The SFIM can display the topology regardless of surface hardness, surface electrical conductivity, and surrounding fluid. The present letter contains the first experimental results on surface topography obtained with this novel microscope. The preliminary results in air demonstrate the lateral resolution of the SFIM is very close to the inner diameter of the probe.

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광촉침법에 의한 비접촉 3차원 형상측정에 관한 연구 (A Study on Non-contact Measurement of 3D-Objects by Optical Probe Method)

  • 강영준;신성국;삼호융지
    • 한국정밀공학회지
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    • 제12권4호
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    • pp.119-126
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    • 1995
  • This paper presents a non-contact measuring system using one point measuring method to measure surface profiles of dies and clay models for practical use in the field of production engineering. The system has a laser beam probe similar to a measuring probe in a contact measuring system and CCD linear sensor used to detect 300mm measurement range, displacement of measured surfaces, from an origin. There is no mechanical interference between this measuring system and a measured surface in this system. In this measuring system, it was needed 500-600ms including data processing time to measure one point. The experiments showed that the standard deviation was 800 .mu.m and the reproducibility was also 100-210 .mu. m.

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초음파 프로브 소자 결함이 도플러 영상에 미치는 영향 (소자 결함 증가에 따른 영향을 중심으로) (Influence to the Doppler Images by the Defects of Piezoelectric Elements of the Probe of Medical Ultrasonic Scanners (Focusing on the Impact of an Increase in the Defects of Piezoelectric Elements))

  • 이경성
    • 대한방사선기술학회지:방사선기술과학
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    • 제37권2호
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    • pp.117-124
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    • 2014
  • 본 연구는 초음파 진단 장치에서 초음파 프로브 소자의 결함이 도플러 영상에 미치는 영향을 평가한 것이다. 초음파 프로브 소자결함의 여러 유형 중에서 동일한 방식으로 단선된 초음파 프로브 소자 수를 변화하면서, 도플러 모드 영상에 미치는 영향을 실험으로 살펴보았다. 실험 결과는 첫째, 소자 결함에 따른 도플러 속도는 도플러 소자군 부분에서 급격히 변화하고 있으며, 혈류 속도에는 크게 영향을 받지 않는 것으로 나타났다. 둘째, 도플러 소자군 주변에서 결함 있을 때 소자의 번호가 높은 쪽 소자의 결함에 의한 효과가 작은 것을 알 수 있었다. 셋째, 팬텀의 혈류 속도가 높을수록 도플러 속도 스펙트럼의 폭은 커지지만 크기는 감소하고 있다. 그리고 결함이 증가할수록 도플러 속도와 영상의 밝기의 분산이 더 커지는 것으로 나타났다. 이는 프로브 소자의 결함이 증가하면 전체적으로 시간 평균 도플러 속도 프로파일(TADVP)의 크기가 감소하며 고주파수 영역에서 더 빨리 떨어지는 것으로 알 수 있다.

초음파 전립선 영상에서 전립선 경계 분할을 위한 평균 형상 모델 (An Average Shape Model for Segmenting Prostate Boundary of TRUS Prostate Image)

  • 김상복;정주영;서영건
    • 정보처리학회논문지:소프트웨어 및 데이터공학
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    • 제3권5호
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    • pp.187-194
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    • 2014
  • 전립선암은 전립선에 나타나는 악성 종양이다. 현재 그 발병률이 높아지고 있다. 전립선암의 구조를 가장 정확하게 확인할 수 있는 검사 방법은 MRI를 이용하는 것이나, 그 비용 때문에 모든 환자에게 적용하기는 어려운 실정이다. 그래서 많은 환자들은 가격이 저렴한 초음파검사를 이용하여 전립선암을 진단하고 있다. 전통적으로 의사들은 영상을 눈으로 확인하여 전립선의 경계를 수동으로 분할하였다. 그러나 수동으로 분할하는 과정은 시간이 많이 소요되며, 의사에 따라서 그 경계가 일정하지 않게 얻어진다. 이 문제를 해결하기 위하여 전립선의 자동 분할에 관한 연구가 되었고, 환자들에게 신뢰를 줄 수 있었다. 본 연구는 초음파 전립선 영상에서 전립선의 경계를 분할하는데 평균 형상 모델을 적용하는 것이다. 먼저, 에지 분포를 이용하여 프로브를 찾고, 프로브와 연결된 두 직선을 찾는다. 이 후에 이 정보를 이용하여 전립선 영상 위에 평균 형상을 위치시킨다.

다위상 유체 속도 계측을 위한 영상기법 적용 (Multi-phase Flow Velocity Measurement Technique using Shadow Graphic Images)

  • 류용욱;정광효
    • 한국해양공학회지
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    • 제26권3호
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    • pp.61-65
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    • 2012
  • Air-water flow measurements are of importance for the coastal and ocean engineering fields. Although kinematic investigations of the multi-phase flows have been conducted for long time, velocity measurements still are concerned with many researchers and engineers in coastal and ocean areas. In the present study, an imaging technique using shadowgraphy and fiber optic probe for velocity measurements of air bubbles is introduced. The shadow graphy image technique is modified from the typical image velocimetry methods, and optical fibers are used for the well-known intrusive coupled phase-detection probe system. Since the imaging technique is a non-intrusive optical method from the air, it is usually applied for 2D flows. On the other hand, the double fiber optic probes touch flows regardless of flow patterns. The results of the flow measurements by both methods are compared and discussed. The methods are also applied to the measurements of overtopping flows by a breaking wave over the structure fixed on the free surface.

Optical Coherence Tomography Applications for Dental Diagnostic Imaging: Prototype System Performance and Preclinical Trial

  • Eun Seo Choi;Won-Jin Yi;Chang-Seok Kim;Woosub Song;Byeong-il Lee
    • Current Optics and Photonics
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    • 제7권3호
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    • pp.283-296
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    • 2023
  • An intraoral spectral domain optical coherence tomography (SD-OCT) system has been developed, using a custom-built hand-held scanner and spectrometer. The hand-held OCT probe, based on a microelectromechanical systems scanner and a self-built miniaturized drive circuit, had a field of view sufficient for dental diagnosis. The spectrometer using a fabricated f-theta lens provided the image depth required for dental diagnosis. The axial and transverse resolutions of the OCT system in air were 7.5 ㎛ and 12 ㎛ respectively. The hand-held probe could scan an area of 10 × 10 mm2, and the spectrometer could image along a depth of 2.5 mm. To verify the utility of the developed OCT system, OCT images of tooth hard and soft tissues were acquired, and a user-interface program for diagnosis was developed. Early caries and microcracks that were difficult to diagnose with existing methods could be found, and the state of restoration could be observed. Measuring the depth of the gingival sulcus, distinguishing subgingival calculus, and detecting an implant under the gingiva suggested the possibility of the SD-OCT system as a diagnostic for dental soft tissues. Through the presented OCT images, the capability of the developed SD-OCT system for dental diagnosis was demonstrated.

Development of On -Line Work Roll Surface Monitoring System At Hot Strip Mill

  • Moon, Bae-Ho
    • 제어로봇시스템학회:학술대회논문집
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    • 제어로봇시스템학회 2001년도 ICCAS
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    • pp.53.4-53
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    • 2001
  • This paper described about the system which can be inspect work roll surface for deciding a milling schedule and roll changing at hot strip mill in POSCO. Developed system consists of CCD camera, Xenon lamp with fiber bundle and mechanical control part. The water probe build up water pole between head of probe and roll surface to acquisite a good image from a work roll surface under the bad environment with steam, cooling water and high temperature. This system is possible to monitor a work roll surface of about 12${\times}$9mm. We have shown the validation of the developed system which can monitor the evolution of degradation on work roll surface.

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