It is important to reduce a reflection of light as a solar cell is device that directly converts the energy of solar radiation to electrical energy in oder to improve efficiency of solar cells. The antireflection coating has proven effective in providing substantial increase in solar cell efficiency. This paper investigates the formation of thin film PSi(porous silicon) layer on the surface of crystalline silicon substrates without other ARC(antirefiection coating) layers. On the other hand the formation of $SO_{2}/SiN_x$ ARC layers on the surface of crystalline silicon substrates. After that, the structure of PSi and $SO_2/SiN_x$ ARC was investigated by SEM and reflectance. The formation of PSi layer and $SO_{2}/SiN_x$ ARC layers on the textured silicon wafer result about 5% in the wavelength region from 0.4 to $1.0{\mu}m$. It is achieved on the textured crystalline silicon solar cell that each efficiency is 14.43%, 16.01%.
New method to encode multiple photonic features of Bragg type reflector on silicon wafer has been investigated. Multiple bit encodes of distributed Bragg reflector features have been prepared by electrochemical etching of crystalline silicon by using various square wave current densities. Optical characterization of multi-encoding of distributed Bragg reflectors on porous silicon was achieved by Ocean optics 2000 spectrometer for the search of possible applications of multiple bit encoding of distributed Bragg reflectors such as multiplexed assays and chemical sensors. The morphology and cross-sectional structure of multi-encoded distributed Bragg reflectors was investigated by field emission scanning electron micrograph.
Multiple rugate structures can be etched on a silicon wafer and placed in the same physical location, showing that many sharp spectral lines can be obtained in the optical reflectivity spectrum. Porous silicon samples were prepared by electrochemical etch of heavily doped p-type silicon wafers. The etching solution consisted of a 3:1 volume mixture of aqueous 48% hydrofluoric acid and absolute ethanol. Galvanostatic etch was carried out in a Teflon cell by using a two-electrode configuration with a Pt mesh counterelectrode. A sinusoidal current density waveform varying between 51.5 and $74.6mA/cm^2$ is applied. The anodization current was supplied by a Keithley 2420 high-precision constant current source which is controlled by a computer to allow the formation of PSi multilayer.
The formation and properties of porous silicon layer(PSL) formed by anodic reaction in hydrofluoric acid solution have been studied. Many micropores are formed randomly inside of PSL and the anodization is achieved uniformly-toward the thickness direction. Current density, resistivity and HF concentration in P-type PSL formation are found to play important roles in determining the formation and properties of PSL.
Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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v.42
no.6
s.336
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pp.23-30
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2005
In this paper, OPPS(oxidized porous poly-silicon) field emitters were fabricated by using various emitter-electrode metal and these electron emission characteristics were investigated for different thermal annealing effects. The addressed OPPS field emitter with Pt/Ti emitter electrode annealed at $300^{\circ}C$-1hr showed the efficiency of $2.98\%$ at $V_{ps}$=12 V and one annealed at $350^{\circ}C$-1hr showed the highest efficiency of $3.37\%$at $V_{ps}$=16V. They are resulted from the improvement of interfacial contact characteristics of thin emitter metal to an oxidized porous poly-silicon and the decrease of electrical resistance of emitter metal. The brightness of the OPPS field emitter increases linearly in $V_{ps}$ and after oxidation process for $900^{\circ}C$-50min, the brightness of the OPPS field emitter with the as-deposited Pt/Ti emitter electrode was 3600 cd/$m^2$ at the $V_{ps}$=15 V, 6260 cd/$m^2$ at the $V_{ps}$=20 V. Thermal treatment improved the adhesion between the Ti buffer layer and the oxidized porous poly-silicon and also played an important role in the uniform distribution of electric field to the emitter electrode.
In this work, a capacitance-type alcohol gas sensor using porous silicon layer is developed to apply for breath alcohol measurement and its characteristics are estimated at room temperature. Current alcohol sensors using metal oxides such as tin-oxide are not only difficult to measure low alcohol concentration, but also should heat at $200\;to\;400^{\circ}C$ to improve the sensitivity. But the sensor using porous silicon layer has good sensitivity even at room temperature by very large effective surface area and suitable structure to fabricate integrated micro sensors. In the experiment, the capacitance was measured for the range of 0 to $0.5\%$ alcohol concentration with the interval of $0.05\%$, in which alcohol solution was kept at 25, 36, and $45^{\circ}C$ by a heater. As the result, good linearity was observed and the capacitance increased about 1.1, 2.6 and $4.6\%$ per the increment of $0.1\%$ alcohol concentration each temperature, respectively, at the frequency of 120 Hz.
In this study, the electrochemical characteristics of Silicon/Carbon anode materials were analyzed to improve the cycle stability of silicon as an anode materials of lithium ion battery. Porous silicon was prepared from TEOS by the $st{\ddot{o}}ber$ method and the magnesiothermic reduction method. Silicon/Carbon anode materials were synthesized by varying the mass ratio between porous silicon and pitch. Physical properties of the prepared Silicon/Carbon anode materials were analyzed by XRD and TGA. Also the electrochemical performances of Silicon/Carbon anode materials were investigated by constant current charge/discharge, rate performance, cyclic voltammetry and electrochemical impedance tests in the electrolyte of $LiPF_6$ dissolved in organic solvents (EC : DEC = 1 : 1 vol%). The Silicon/Carbon anode composite (silicon : carbon = 5 : 95 in weight) has better capacity (453 mAh/g) than those of other composition cells. The cycle performance has an excellent capacity retention from 2nd cycle to 30th cycle.
Recombinant E.coli ACV 1003 (recA::lacZ) releasing ${\beta}$-galactosidase by a SOS regulon system, when exposed to DNA-damaging compounds, have been used to effectively monitor endocrine disruptors. Low enzyme activity of less than 10 units/mL, corresponding to a $\mu\textrm{g}$/L(ppb) range of an endocrine disruptor (tributyl tin, bisphenol A. etc.), can be rapidly determined, not by a conventional time-consuming and tedious enzyme assay, but by an alternative interferometric biosensor. Heavily boron-doped porous silicon for application as an interferometer, was fabricated by etching to form a Fabry-Perot fringe pattern, which caused a change in the refractive index of the medium including ${\beta}$-galactosidase. In order to enhance the immobilization of the porous silicon surface, a calyx crown derivative (ProLinker A) was applied, instead of a conventional biomolecular affinity method using biotin. This resulted in a denser linked formation. The change in the effective optical thickness versus ${\beta}$-galactosidase activity, showed a linear increase up to a concentration of 150 unit ${\beta}$-galactosidase/mL, unlike the sigmoidal increase pattern observed with the biotin.
Catalytic combustion is one of the suitable methods for micro power source due to high energy density and no flame quenching. Catalyst loading in the micro structured combustion chamber is one of the most important issues in the development of micro catalytic combustors. In this research, to coat catalyst on the chamber wall, two methods were investigated. First, $Al_2O_3$ was selected as a support of Pt and $Pt/Al_2O_3$ was synthesized through the alumina sol-gel procedure. To improve the coating thickness and adhesion between catalyst and substrate, heat resistant and water solvable organic-inorganic hybrid binder was used. Porous silicon was also investigated as a catalyst support for platinum. Through the parametric studies of current density and etching time, fabrication process of $1{\sim}2{\mu}m$ of diameter and about $25{\mu}m$ depth pores was confirmed. Coated substrates were test in the micro channel combustor which was fabricated by the wet etching and machining of SUS 304. Using $Pt/Al_2O_3$ coated substrate and Pt coated porous silicon substrate, conversion rate of fuel was over 95% for $H_2$/Air premixed gas.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2002.04b
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pp.69-72
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2002
We establish a visible light emission from porous polycrystalline silicon nano structure(PPNS). The PPNS layer are formed on heavily doped n-type Si substrate. 2um thickness of undoped polycrystalline silicon deposited using LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) anodized in a HF: ethanol(=1:1) as functions of anodizing conditions. And then a PPNS layer thermally oxidized for 1 hr at $900^{\circ}C$. Subsequently, thin metal Au as a top electrode deposited onto the PPNS surface by E-beam evaporator and, in order to establish ohmic contact, an thermally evaporated Al was deposited on the back side of a Si-substrate. When the top electrode biased at +6V, the electron emission observed in a PPNS which caused by field-induces electron emission through the top metal. Among the PPNSs as functions of anodization conditions, the PPNS anodized at a current density of $10mA/cm^{2}$ for 20 sec has a lower turn-on voltage and a higher emission current. Furthermore, the behavior of electron emission is uniformly maintained.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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