열처리 조건이 PECVD 방식으로 증착된 $Ta_2$ $O_5$ 박막 특성에 미치는 영향
(Effect of Annealing Conditions on $Ta_2$ $O_5$ Thin Films Deposited By PECVD System)
-
- 전자공학회논문지A
- /
- 제30A권8호
- /
- pp.34-41
- /
- 1993