• 제목/요약/키워드: plating simulation

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반도체공정에서 구리기둥주석범프의 전해도금 형성과 특성 (Formation and Properties of Electroplating Copper Pillar Tin Bump on Semiconductor Process)

  • 왕리;정원철;조일환;홍상진;황재룡;소대화
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2010년도 추계학술대회
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    • pp.726-729
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    • 2010
  • 고밀도집적을 위하여 전기도금과 무전해도금법을 적용하여 구리기둥주석범프(CPTB)를 제작하고, 그 특성을 분석하였다. CPTB는 ${\sim}100{\mu}m$의 피치를 갖도록 KM-1250 건식감광필름(DFR)을 사용하여 먼저 구리 기둥범프(CPB)를 도금 전착시킨 다음, 구리의 산화억제를 위하여 그 위에 주석을 무전해 도금하였다. 열-압력에 따른 산화효과와 접합특성을 위하여 전기저항계수와 기계적 층밀림전단강도를 측정하였다. 전기저항계수는 산화두께의 증가에 따라서 증가하였고, 전단강도는 $330^{\circ}C$에서 500 N의 열-압력일 때 최고치를 나타냈다. 시뮬레이션 결과에 따르면, CPTB는 크기 감소의 결과를 나타냈으며, 그것은 구리의 산화에 의해 크게 영향을 받는 것으로 확인되었다.

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잔류응력으로 인한 패키지 기판 굽힘 변형량 예측 (Packaging Substrate Bending Prediction due to Residual Stress)

  • 김철규;최혜선;김민성;김택수
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제20권1호
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    • pp.21-26
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    • 2013
  • 본 연구는 유한 요소 시뮬레이션을 이용하여 계산한 시편의 곡률과 3D 스캐너로 측정한 곡률을 비교하여 패키지 기판 구조의 휨 거동을 예측하는 새로운 분석 방법을 제안한다. 패키지 기판은 프리프레그 경화나 구리 패턴 도금과 같은 다양한 공정을 거치면서 쉽게 휘게 된다. 기판의 휨이 어떤 공정에서 어느 정도 생기는지를 알아보기 위하여 다양한 종류의 시편을 제작하고 각 시편의 형상을 3D스캐너를 이용하여 측정하였다. 그 후 시편의 형상으로부터 film에 걸리는 잔류 응력을 휨을 이용한 수식으로부터 계산하였다. 패키지 기판에 들어가는 절연체는 수지와 서로 직교 존재하는 섬유의 다발로 구성되어 있는 복합재료로서 이방성을 띄게 되는데 이는 패키지 기판의 독특한 굽힘 거동을 일으킨다. 우리는 유한 요소 법에 의한 휨 변형을 시뮬레이션하고 측정 데이터를 이용하여 시뮬레이션 휨을 비교하였다. 측정된 휨으로부터 계산한 전해 구리 도금 응력은 약 58 MPa이다. 솔더 레지스트와 프리프레그의 경화 응력은 각각 실온에서 13 MPa 및 6.4 MPa 정도이다.

자주포 발전기 스플라인 축 내구성 향상을 위한 최적 설계 기법 (The Optimal Design Technique for Improving Durability of Spline Shaft of the Self Propelled Artillery' Generator)

  • 김병호;강현제;박영일;서재현
    • 한국군사과학기술학회지
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    • 제18권5호
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    • pp.485-491
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    • 2015
  • In this study, the experimental and analytical investigation on structural integrity evaluation of spline shaft of self propelled artillery' generator were carried out. For this work, macro and microstructure fractography of spline shaft were observed. According to the results of the structure analysis and simulation, the shaft was redesigned and optimized. To improve the stiffness and shear stress, the material was changed from the SNCM220 to SNCM439 and surface roughness and protective coating treatment are changed to increase the stress relaxation, respectively. From the result of the torsion test of shaft and accelerated life test of generator, the shaft of a SNCM439 with heat-treatment(Q/T) and electroless nickel plating was superior quality reliability and durability than the others. Therefore, modeling and simulation corresponded well with the experimental result and structural safety was confirmed by generator performing.

Maskless Lithography system을 이용한 TSP 검사 용 micro bump 제작에 관한 연구. (A study of fabrication micro bump for TSP testing using maskless lithography system.)

  • 김기범;한봉석;양지경;한유진;강동성;이인철
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제18권5호
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    • pp.674-680
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    • 2017
  • 본 논문은 현재 개인 휴대기기 및 대형 디스플레이 장비의 제어에서 폭넓게 사용되고 있는 터치스크린 패널 (TSP; Touch Screen Panel)의 정상 작동 유무를 확인하기 위한 micro bump 제작 기술에 관한 연구이다. 터치스크린 패널은 감압식, 정전식 등의 여러 가지 방식이 있으나 지금은 편리성에 의하여 정전식 방식이 주도하고 있다. 정전식의 경우 해당하는 좌표의 접촉에 따라 전기적 신호가 변화하게 되고, 이를 통하여 접촉 위치를 확인할 수 있으며 따라서 접촉 위치에 따른 전기 특성 검사가 필수적이다. 검사공정에서 TSP의 모델이 변경됨에 따라 새로운 micro bump를 제작이 및 검사 프로그램의 수정이 필수적이다. 본 논문에서는 새로운 micro bump 제작 시 mask를 사용하지 않아 보다 경제적이며 변화에 대응이 유연한 maskless lithography 시스템을 이용하여 micro bump 제작 가능성에 대하여 확인하였다. 이를 위하여 제작되는 bump의 pitch에 따른 전기장 간섭 시뮬레이션을 진행하였으며, maskless lithogrphy 공정을 적용하기 위한 패턴 이미지를 생성하였다. 이후 MEMS 기술에 해당하는 PR(Photo Resist) 패터닝 공정에서 노광(Lithography) 공정 및 현상(Developing) 공정을 통하여 PR 마스크를 제작한 후 electro-plating 공정을 통하여 micro bump를 제작하였다.

해수 전기분해용 대전류 정류기의 설계 및 시뮬레이션 (Design and Simulation of High-Current Rectifier for Electrolysis of Seawater)

  • 김형운;김진영;조원우;김인동;노의철;배상범;고강우;강부녕
    • 전력전자학회:학술대회논문집
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    • 전력전자학회 2009년도 정기총회 및 추계학술대회 논문집
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    • pp.231-233
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    • 2009
  • The plating equipment, water treatment system, electrolysis facility, etc need the high current and high power rectifier for their original purposes. So the paper investigates the applicable types of rectifiers and carries out their comparisons, and also suggest the practical design guidelines for a suitable candidate rectifier for low voltage high current high power applications.

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Development of Sleeve Parts for Continuous Hot Zinc Plating Roll Applied to Wear-Resistant Alloy Cast Steel

  • Park, Dong-Hwan;Hong, Jin-Tae;Kwon, Hyuk-Hong
    • 한국생산제조학회지
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    • 제26권4호
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    • pp.357-364
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    • 2017
  • Metal casting is a process in which molten metal or liquid metal is poured into a mold made of sand, metal, or ceramic. The mold contains a cavity of the desired shape to form geometrically complex parts. The casting process is used to create complex shapes that are difficult to make using conventional manufacturing practices. For the optimal casting process design of sleeve parts, various analyses were performed in this study using commercial finite element analysis software. The simulation was focused on the behaviors of molten metal during the mold filling and solidification stages for the precision and sand casting products. This study developed high-life sleeve parts for the sink roll of continuous hot-dip galvanizing equipment by applying a wear-resistant alloy casting process.

확산층을 고려한 정밀 도금 Simulator 개발 (Development of Software for Electrochemical Plating Simulation Including Diffusion Layer Effects)

  • 서석;이주동;권시현;류동환
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2012년도 추계총회 및 학술대회 논문집
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    • pp.76-77
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    • 2012
  • 전기 도금 시스템에서 전산모사 해석을 이용하여 도금층 두께를 정확히 예측하기 위해서 음극 표면의 확산층이 고려된 도금 Simulator를 개발하였다. 특정 형상의 경우 도금액 교반이 원활하지 않아 불균일한 도금이 이루어지는 경우가 있기 때문에 이를 예측하기 위해서는 교반 영향을 나타내는 확산층을 고려해야 한다. 유동해석을 통해 도금액 교반 조건 및 형상에 따른 음극 표면의 유속을 결정하고 유속별 도금액 DB를 구성하여 음극의 위치별 분극곡선을 차별화하여 유동 조건에 따른 확산층 변화를 고려하는 형태로 구현하였다. 유속별 도금액 DB는 실험 데이터 및 해석 데이터를 종합하여 구축하였다. 교반의 영향을 많이 받는 시스템을 대상으로 개발된 Simulator 결과의 타당성을 검증하였고 확산층 적용에 따른 도금 결과의 차이를 확인하였다.

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도금시뮬레이션의 이해와 적용사례 (Understanding of Plating Simulation)

  • 이규환;장도연;황양진;장아영;박용호;김인수;제우성
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2011년도 춘계학술대회 및 Fine pattern PCB 표면 처리 기술 워크샵
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    • pp.53-53
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    • 2011
  • 도금 시뮬레이션 기법은 도금 용액 개발에서부터 도금설비 제작, 공정 최적화 및 trouble shooting에 이르기까지 도금 산업 전반에서 응용이 될 수 있다. 현재 우리나라에서는 도금 시뮬레이션을 연구하는 연구자나 적용하여 사용하는 도금 업체는 매우 드물다. 본 발표에서는 도금 시뮬레이션 기법에 대한 이론과 절차 등을 설명하고 시뮬레이션 기법을 적용하여 공정 최적화나 도금 두께 균일화를 이룬 몇 가지 사례에 대하여 소개하고자 하였다.

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구리 전기 도금에 Thiourea가 미치는 효과 (Effect of Thiourea on the Copper Electrodeposition)

  • 이주열;임성봉;황양진;이규환
    • 한국표면공학회지
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    • 제43권6호
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    • pp.289-296
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    • 2010
  • The effect of organic additives, thiourea (TU), on the copper electroplated layer of large rectangular size was investigated through physical and various electrochemical techniques. It was found that TU had strong adsorption characteristics on the Ni substrate and affected the initial electroplating process by inducing surface reaction instead of mass transfer in the bulk solution. TU additives had its critical micelle concentration at 200 ppm in copper sulphate solution and showed abrupt change in morphological and electrochemical impedance spectroscopic results around this concentration, which could be related with the destruction of adsorption structure of TU-Cu(I) complex formed at the Ni substrate surface. By conducting a commercial electroplating simulation, when TU additives was included at cmc in the plating solution, it acted as a depolarizer for copper electrodeposition and was effective to reduce the unevenness of copper deposits between centre and edge region at high current densities of 10 ASD.

고집적 소자용 구리기둥범프 패키징에서 산화문제를 해결하기 위한 방법에 대한 연구 (Method of Solving Oxidation Problem in Copper Pillar Bump Packaging Technology of High Density IC)

  • 정원철;홍상진;소대화;황재룡;조일환
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제23권12호
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    • pp.919-923
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    • 2010
  • Copper pillar tin bump (CPTB) was developed for high density chip interconnect technology. Copper pillar tin bumps that have $100{\mu}m$ pitch were introduced with fabrication process using a KM -1250 dry film photoresist (DFR), copper electroplating method and Sn electro-less plating method. Mechanical shear strength measurements were introduced to characterize the bonding process as a function of thermo-compression. Shear strength has maximum value with $330^{\circ}C$ and 500 N thenno-compression process. Through the simulation work, it was proved that when the copper pillar tin bump decreased in its size, it was largely affected by the copper oxidation.