AFM Studies on the Surface Morphology of Sb-doped $SnO_2$ Thin Films Deposited by PECVD
(AFM을 이용한 PECVD에 의해 증착된 Sb-doped $SnO_2$ 박막의 표면형상에 관한 연구)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.10 no.8
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- pp.525-531
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- 2000