• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제24권1호
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• pp.17-21
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• 2011

Copper (Cu) had been attractive material due to its superior properties comparing to other metals such as aluminum or tungsten and considered as the best metal which can replace them as an interconnect metal in integrated circuits. CMP (Chemical Mechanical Polishing) technology enabled the production of excellent local and global planarization of microelectronic materials, which allow high resolution of photolithography process. Cu CMP is a complex removal process performed by chemical reaction and mechanical abrasion, which can make defects of its own such as a scratch, particle and dishing. The abrasive particles remain on the Cu surface, and become contaminations to make device yield and performance deteriorate. To remove the particle, buffing cleaning method used in post-CMP cleaning and buffing is the one of the most effective physical cleaning process. AE(Acoustic Emission) sensor was used to detect dynamic friction during the buffing process. When polishing is started, the sensor starts to be loaded and produces an electrical charge that is directly proportional to the applied force. Cleaning efficiency of Cu surface were measured by FE-SEM and AFM during the buffing process. The experimental result showed that particles removed with buffing process, it is possible to detect the particle removal efficiency through obtained signal by the AE sensor.

• 한국재료학회지
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• 제8권9호
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• pp.837-842
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• 1998

ULSI급 소자의 집적도가 높아짐에 따라 공정의 신뢰도 및 수율 향상을 위한 세정 방법에 대한 관심이 더욱 높아지고 있다. 그중 가장 관심을 집중시키는 분야는 구리나 철과 같은 금속불순물의 제거에 관한 것이다. 본 연구에서는 금속 불순물 중 실제 공정에서 잘 오염되는 것으로 알려진 구리와 철 불순물을 인위적으로 오염시킨 후 $\textrm{H}_2\textrm{O}_2$와 HF의 혼합용액과 UV/$\textrm{O}_3$과 HF처리의 조합을 이용한 세정 방법을 이용하여 금속불순물을 제거하였다. 세정후 제정효과는 TXRF를 이용하여 측정하였고 Si 기판의 표면 거칠기를 AFM을 이용하여 측정하였다. 또한 금속 불순물의 흡착형태와 흡착기구 등을 SEM을 이용해 관찰하였고 AES를 이용하여 화학적 성분 분석을 실시하였다. 실험 결과 인위적 오염 후 구리의 오염도는 $\textrm{10}^{14}$ atoms/$\textrm{cm}^2$이었으며 각각의 세정을 통하여 $\textrm{10}^{10}$ atoms/$\textrm{cm}^2$으로 감소되었으며 반복된 세정으로 더욱 우수한 세정효과와 표면 거칠기의 개선 효과를 얻을 수 있었다. 구리는 박막의 형태가 아닌 구형의 입자 형태로 화학적 흡착에 의해 오염되는 것으로 관찰되었다. 철의 경우는 오염도가 $\textrm{10}^{13}$ atoms/$\textrm{cm}^2$ 이며 세정효과는 구리의 경우와 유사한 결과를 보여주었다. 철 불순물은 물리적 흡착에 의해 Si 표면에 오염되는 것으로 보이며 역시 구형의 입자형태로 표면에 흡착하는 것으로 관찰되었다.

• 보존과학회지
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• 제27권3호
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• pp.301-312
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• 2011

에폭시수지는 우수한 내구성과 접착력, 적당한 강도 등을 가지고 있어 다양한 재질에 다용도로 사용되고 있다. 그러나 에폭시수지가 경화되면 제거가 어려우며 특히 유물에 적용된 후에는 재처리시 제거하는데 어려움이 많다. 그러므로 본 연구에서는 유물에 손상 없이 에폭시수지를 제거하는데 Nd:YAG 레이저클리닝을 적용하여 보았다. 실험은 안료를 섞지 않은 에폭시수지와 안료를 섞은 에폭시수지를 부식시키지 않은 철편과 부식시킨 철편에 도포한 시편을 대상으로 하였으며 레이저 에너지와 조사 횟수를 증가시키면서 수지 표면의 반응을 알아보았다. 실험 결과 안료를 섞지 않은 에폭시수지는 부식된 철편에 도포되었을 때 높은 레이저에너지에서 제거되었다. 그러나 부식시키지 않은 철편에 도포한 경우와 안료를 섞은 에폭시수지는 제거되지 않고 색상만 변하였으며 레이저빔의 고온으로 인해 수지가 녹아 부풀어 오르는 현상이 나타났다. FT-IR 분석 결과 레이저 조사 후 변화된 에폭시수지는 성분 변화가 없었으며 레이저빔에 의해 제거된 면에서는 수지가 검출되지 않았다. 그러나 SEM-EDS 분석 결과 제거된 표면에서 소량의 에폭시수지 잔유물이 남아 있었으며 소지금속의 용융현상도 관찰되었다. 그러므로 본 연구를 통하여 Nd:YAG 레이저클리닝의 에폭시수지 제거 가능성과 한계성을 확인할 수 있었다.

• 보존과학연구
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• 통권33호
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• pp.125-148
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• 2012

월정사팔각구층석탑 부재인 화강암의 구성광물은 석영, 사장석, 미사장석, 흑운모이다. 이 석탑은 금속 장식물과 보조물에서 생성된 녹흔에 의한 황갈색 변색과 기단부와 옥개석 상부에 서식하는 침해생물로 인하여 표면이 훼손되어 있다. 세척 예비실험 결과 옥살산을 사용한 습포법은 제거횟수에 따라 철이온의 용출량이 증가하고 암석의 구성성분인 Mg, Al, Ca 이온의 용출량은 미약하므로 이 세척법은 제거횟수가 증가함에 따라 제거효과가 높고 암석에 끼치는 영향은 미미하다고 판단된다. 침해생물 제거에 이용한 건식세척은 생물제거는 가능하나 미소토양 제거가 어렵고, 증류수를 사용한 습식세척은 미소토양 제거가 가능하였다. 이를 근거로 보존 처리에서 침해생물은 건식세척과 습식세척으로 제거하였고 녹흔은 옥살산을 사용한 습포법으로 제거하였다. 그리고 녹흔의 원인이 되는 금속물의 녹을 물리적으로 제거한 후 철제 금속물은 renaissance wax를 사용하고, 동제 금속물은 B.T.A법을 사용하여 방청처리 하였다.

• 보존과학회지
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• 제34권6호
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• pp.525-538
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• 2018

2015년 유네스코 세계기록유산으로 등재된 미얀마 미야제디 석주는 미얀마의 역사, 종교, 문화에 관한 중요한 문자 기록물이며, 연대가 명확하게 표기된 오래된 유물 중에 하나이다. 미야제디 석주는 역사적으로도 중요한 만큼 명문의 해석이나 연구 행위를 하기 위해 수많은 탁본 제작을 하였고, 이로 인해 표면에 흑색오염물의 침착이 심각한 상태이다. 그래서 흑색오염물에 대한 분석학적 연구와 문제된 오염물의 제거 방법에 대한 보존처리 연구를 진행하였다. 특히 보존처리의 접근방식은 레이저 클리닝 기법과 화학적인 약품을 이용하였다. 대부분의 오염물은 탁본과정 중에서 표면에 잔류한 잉크가 원인이었다. 실험의 유사 환경 조건을 위해 가오염물을 도포한 의사시료를 제작하여 보존처리 조건별로 결과를 도출하였다. 의사시료들은 레이저 클리닝에 대해서는 대부분 조건에서 효율적인 결과를 보였으나, 화학 약품적용 방법에서는 선택적 양상을 나타냈고, 그중 에탄올을 활용한 물리적 마찰법에 대한 결과는 약품 활용기법 중 가장 효율적 이였다. 결과적으로 효율적인 방법론을 제시한다면 레이저 클리닝 세정법이 보편타당하지만 현지의 상황 조건을 고려한다면 차선책인 화학약품을 병행한 물리적인 적용방법이 합리적이라고 판단되었다.

• 한국의류학회지
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• 제23권6호
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• pp.809-819
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• 1999

The scientific analysis of buried fabrics from the 16th century tomb of Kim HeumJo was conducted focusing on the conservation of fabrics, In order to find out the appropriate cleaning solvent and detergent for historical textiles physical chemical and biological analysis was conducted. The following results are obtained from this study : 1, The buried fabrics from the tomb of Kim HeumJo were composed of cotton silk and ramie. Most of fabrics had lost their original colors faded to brown. It was revealed variations in weaves and patterns were very developed at that times. 2. The chemical components of soils are hydrocarbons alkyl alcohols nitrogen compounds aromatic organic acid which is supposed to be from a human body microorganisms and their by-products. 3. Seven kinds of fungi Actinomycetes Corynebacterium spp Micrococcus luteus Bacillus Clostridium were isolated from the fabrics. The most common fungus was Bacillus.

• 한국의류산업학회지
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• 제13권5호
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• pp.686-694
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• 2011

The purpose of this study was to understand the preferences of the uniform design for the preschool student's parents. 97 parents became subjects for the research and questionaries were analysed by distribution of frequency and percentage using SPSS V. 18.0. The results of this study could be summarized as followings. First, most of the parents preferred to wearing preschool uniform and expected further improvement in function, material and design. Second, the preferred form was semi formal style consisting of shirt, knit vest, knit cardigan, and coat. Third, the preferred colors were the mixing together bright colors and quiet colors in vivid and pastel tone. Fourth, functional materials to comfort in children's physical activities and to serve convenience in cleaning were preferred. In Conclusion, the preferred design characteristics were combined function to enhance comfort and convenience in children's physical activities with esthetics to present loveliness and modesty as preschool students.

• Tribology and Lubricants
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• 제39권4호
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• pp.133-138
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• 2023

This paper presents a discussion on lubricating oil filters. The maintenance of lubricating oil filters can improve the performance of mechanical systems and extend the service life of the lubricating oil. Therefore, the effective management of the lubricating oil can extend the service life of the machine and reduce maintenance costs. A representative method for managing lubricating oil is filtering the lubricating oil using a lubricant filter. However, effectively managing a lubricating oil using a lubricant filter requires an understanding of the related knowledge. In this paper, we present the definition, classification, characteristics, specifications, performance, and self-cleaning function of lubricating oil filters. The lubricant filters are classified based on the filter material, filtering method, filtering location, and amount of filtered fluid. Cellulose and glass fiber materials are conventionally used as materials for lubricant filters, and recently, metal materials, which show excellent durability, are being increasingly adopted. The filtering methods can be classified into physical, chemical, magnetic, and electric field methods, and the lubricant filters can be classified according to their location in the lubrication system. The beta ratio and efficiency of the lubricant filter can be determined based on the performance of the filter. Finally, there are many products or technologies that add a self-cleaning function to the filter to remove foreign substances or contaminants for efficient management.

• 한국학교보건학회지
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• 제24권1호
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• pp.12-22
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• 2011

Purpose: The purpose of this study was to identify incidence of nonfatal unintentional injuries (accidents) among students, and to investigate compensation payment for five years (2000~2004) in schools located in Seoul. Methods: Subjects were 14,783 students injured among elementary, middle and high school students. The accumulated data for 5 years (2000~2004) was from the Seoul School Safety and Insurance Association. Chi-square, ttest, logistic regression, and MANCOVA were conducted. Results: The most frequent accidents occurred among males (73.2%), and in special school students (3.86 per 1,000) followed by middle school students (3.05 per 1,000), in May (0.25 per 1,000) followed by June and October, in physical education classes (0.73 per 1,000) followed by special activities (0.40 per 1,000), recess (0.31 per 1,000) and lunch (0.29 per 1,000). Fractures (0.86 per 1,000) were followed by mild injuries (0.39 per 1,000), joint and ligament injuries (0.31 per 1,000), and teeth injuries (0.26 per 1,000). After adjusting for potential confounding variables, the highest means of final compensation payment was for burns (810 thousand KRW) followed by the teeth injuries (506 thousand KRW), cleaning injuries (550 thousand KRW) followed by injuries incurred during special activities (510 thousand KRW) and injuries incurred at special schools (556 thousand KRW). Conclusion: In school, the highest incidences of nonfatal unintentional injuries were in special schools, among males, fractures and physical education. However, the highest compensation payments were for burns, and injuries taking place at special schools and during cleaning hour. Proper health education including teaching healthy habits for safety/injury prevention is needed to prevent injuries and decrease compensation.

• 한국임상수의학회지
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• 제25권3호
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• pp.192-194
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• 2008

A 15-month-old, intact male, domestic short hair cat was presented with ataxia, protrusion of the right third eyelid, and anorexia. Clinical signs were firstly noted after ear cleaning at home. Symptoms of the Homer's syndrome were evident. However, postural and proprioceptive reaction deficits were not detected on neurologic examination. Otoscopic examination revealed foreign body in right ear canal. A diagnosis of peripheral vestibular syndrome was made based on results of physical examination including neurologic and otic examination, blood work, and magnetic resonance imaging (MRI). Based on these examinations, the present patient was definitely diagnosed as otitis medial interna induced by foreign body. The vestibular signs were resolved 10 days after removal of cotton tips in right ear canal. This case report indicates that home-care cotton swab can iatrogenically induce otitis media/interna in cats.