• 제목/요약/키워드: photopatterning

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근접상 주사 현미경(NSOM)을 이용한 금(Au)나노입자의 패터닝과 기술응용 (Nano-scale Au nanopaticles Pattern and Application by Using NSOM Lithography)

  • 허갑수;장원석
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.1539-1542
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    • 2005
  • Self-assembled monolayers (SAMs) formed by the adsorption of alkanethiols, $HS(CH_2)_nX$, where X is an organic functional group, onto gold surfaces have attracted widespread interest as templates for the fabrication of molecular and biomolecular microstructures. Previously photopatterning has been thought of as being restricted to the micron scale, because of the wellknown diffraction limit. So, we have explored a novel approach to nanofabrication by utilizing a femtosecond laser coupled to a near-field scanning optical microscope (NSOM).

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레이저 패턴을 이용한 금 나노입자의 2 차원적 자기조립 (Two-dimensional(2D) self-assembly of fine gold nanospheres using laser patterning)

  • 허갑수;조성학;김재구;장원석
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.475-476
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    • 2006
  • Self-assembled monolayers (SAMs) formed by the adsorption of alkanethiols, HS(CH2)nX, where X is an organic functional group, onto gold surfaces have attracted widespread interest as templates for the fabrication of molecular and biomolecular microstructures. Previously photopatterning has been thought of as being restricted to the micron scale, because of the well-known diffraction limit. So, we have explored a novel approach to nanofabrication by utilizing a femtosecond laser.

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광식각 기술을 이용한 미세라인의 형성 및 Series Resonator의 구현

  • 박성대;조현민;이영신;이우성;박종철
    • 한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집
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    • 한국마이크로전자및패키징학회 2001년도 The IMAPS-Korea Workshop 2001 Emerging Technology on packaging
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    • pp.151-156
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    • 2001
  • Using the photoimageable thick film conductors, $25\mu\textrm{m}$ line widths and $25\mu\textrm{m}$ spaces can be obtained. Test patterns are made by green tape lamination, paste printing, exposing to UV light, developing in an aqueous process and cofiring. Postfiring method using alumina substrate can be also applied to fine line formation. Series gap resonator formed by photopatterning process showed the improved signal transmission characteristics compared to that obtained by conventional screen printing.

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유기 자기조립 단분자막을 이용한 레이저 포토패터닝 기술 (Laser Photo Patterning Using Organic Self-Assembled Monolayers)

  • 최무진;장원석;신보성;김재구;황경현
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2003년도 하계학술발표회
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    • pp.288-289
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    • 2003
  • 금속 박막 위의 알칸티올분자의 흡착에 의한 자기조립단분자막(SAMs)은 접착 방지, 마찰 저하 등의 기능을 가진 코팅층으로서의 응용과 분자 또는 생분자의 미세 구조물 형성을 위한 방법으로 널리 연구되어지고 있다. 이러한 연구 중에서 자기조림단분자막(SAMs)의 매우 얇은 두께(수 nm)의 특성을 활용하여 AFM tip Scratching Lithography 또는 알칸티올 포토패터닝(alkanethiol Photopatterning) 방법을 사용함으로써 microscale의 패턴을 형성하는 연구 결과가 많은 이들의 관심을 받아왔다. (중략)

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UV 레이저 어블레이션과 상변화 충진을 이용한 3차원 마이크로 부품의 쾌속 제작 (Rapid Manufacturing of 3D Micro Products by UV Laser Ablation and Phase Change Filling)

  • 신보성;김재구;장원석;황경현
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.26-29
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    • 2003
  • UV laser micromachining are generally used to create microstructures for micro product through a sequence of lithography-based photopatterning steps. However, the micromachining process is not suitable for the rapid realization of complex microscale 3D product because it depends on worker experiences, excessive cost and time to make many masks. In this paper, the more effective micro rapid manufacturing process, which is developed upon the base of laser micromachining. is proposed to fabricate micro products directly using UV laser ablation and phase change filling. The filling process is useful to hold the micro product during the next ablation step. The proposed micro rapid manufacturing process is also proven experimentally that enables to fabricate the 3D microscale products of UV sensitive polymer from 3D CAD data to functional micro parts.

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UV 레이저 어블레이션과 상변화 충진을 이용한 3차원 마이크로 부품의 쾌속 제작 (Rapid Manufacturing of 3D Micro Products by UV Laser Ablation and Phase Change Filling)

  • 신보성;김재구;장원석;황경현
    • 한국정밀공학회지
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    • 제22권11호
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    • pp.196-201
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    • 2005
  • UV laser micromachining are generally used to create microstructures for micro product through a sequence of lithography-based photopatterning steps. However, the micromachining process is not suitable for the rapid realization of complex 3D micro product because it depends on worker experiences, excessive cost and time to make many masks. In this paper, the more effective micro rapid manufacturing process, which is developed upon the base of laser micromachining, is proposed to fabricate micro products directly using UV laser ablation and phase change filling. The filling process is useful to hold the micro product during the next ablation step. The proposed micro rapid manufacturing process is also proven experimentally that enables to fabricate the 3D micro products of UV sensitive polymer from 3D CAD data to functional micro parts.

Photopatternability of Poly(vinylcarbazole) Bearing Cinnamate Pendants and Its Blends with a Soluble Poly(p-phenylene vinylene) Derivative

  • Yu, Young-Jun;Lee, Seung-Hun;Choi, Dong-Hoon;Jin, Jung-Il;Tessler, Nir
    • Macromolecular Research
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    • 제15권2호
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    • pp.142-146
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    • 2007
  • Poly[(1-(9-carbazoly1)ethylene)-co-(3-cinnamoyloxyoctyl-9-carbazolyl)] ethylene (PVK-Cin) was prepared by tethering cinnamate pendants to a carbazole group via an octylene spacer. The photopatternability of the new PVK based-polymer was investigated using a photocrosslinking reaction under UV light illumination $(\lambda=254nm)$. Blends of the PVK-Cin and a soluble poly(phenylene vinylene) (CzEh-PPV) were employed to study the photocrosslinking behavior. Well resolved lithographic patterns were observed in these polymer systems. PVK-Cin produced a blue light emitting pattern both before and after the photocrosslinking reaction. The blends of PVK-Cin and CzEh-PPV also showed corresponding emissions at 398 and 525 (560) nm in the film state.

전용액공정 전자소자 제작용 3D 가교제에 관한 연구 (Three-dimensional Gelator for All Solution-processed and Photopatterned Electronic Devices)

  • 김민제;조정호
    • 공업화학전망
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    • 제23권6호
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    • pp.25-36
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    • 2020
  • 용액공정을 통해 유기 전자소자를 대면적으로 제조하는 것은 다양한 장치 구성 요소(반도체, 절연체, 도체)의 패터닝 및 적층이 필요하기 때문에 매우 어려운 과제이다. 본 연구에서는 4개의 광 가교 기능기를 가지는 3차원 사면체 가교제인 (2,2-bis(((4-azido-2,3,5,6-tetrafluorobenzoyl)oxy)methyl)propane-1,3-diyl bis(4-azido-2,3,5,6-tetrafluorobenzoate) (4Bx)를 활용하여 용액공정을 기반으로 형성된 전자재료 박막을 고해상도로 패터닝 및 적층하는 기술을 개발하고, 이를 사용하여 고분자 박막 트랜지스터(PTFTs) 및 논리회로 어레이 제작을 진행하였다. 4Bx는 다양한 용액공정이 가능한 전자재료와 용매에 쉽게 혼합될 수 있으며, 자외선(UV)에 의해 가교제가 광 활성화되어 전자재료와 가교 결합을 형성할 수 있다. 4Bx는 기존의 2개의 광 가교 기능기를 갖는 가교제에 비해 높은 가교 효율로 인해 적은 양을 첨가하여도 완전하게 가교된 전자재료 박막을 형성할 수 있어 전자재료의 고유한 특성을 보존할 수 있다. 더욱이, 가교된 전자재료 박막은 화학적 내구성이 향상되어 고해상도 미세 패터닝을 할 수 있을 뿐만 아니라 용액공정을 통해 전자소자를 구성하는 전자재료의 적층이 가능하다. 4Bx의 광 가교 방법은 전용액공정을 통한 전자소자의 제작에 대한 혁신적인 방안을 제시한다.

원자외선에 의한 공액구조 자기조립 단분자막의 패턴 제작 및 전기적 특성 (Studies on the Electrical Properties and Pattern Fabrication of Conjugated Self-Assembled Monolayer by Deep UV Light)

  • 오세용;최형석;김희정;박제균
    • 폴리머
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    • 제29권4호
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    • pp.331-337
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    • 2005
  • 일반적으로 꼬리부분에 카복실산을 갖는 알칸티올레이트는 바이오 물질의 고정화 활성물질로 사용되고 있다. 본 연구에서는 알칸티올레이트의 전기적 성질과 물리적 안정성을 향상시키기 위해 공액구조를 갖는 방향족계 티올레이트를 사용하여 cytochrome c와 같은 단백질을 고정화시켰다. 방향족계 자기조립 단분자막의 패턴 형성은 다음과 같은 공정으로 행하였다. 4'-Mercapto-biphenyl-4-carboxylic acid와 4-mercapto-[1,1';4',1']terphenyl-4'-carboxylic acid와 같은 방향족 티올레이트 분자를 금 기판에 흡착시킨 다음 네거티브 마스크를 가지고 원자외선 조사에 의해 산화반응을 시킨 후 deioniz water로 현상하였다. 공액계 자기조립 단분자막의 패턴형성과 전기적 성질은 STM과 AFM 측정을 통해 조사하였다. 또한 cytochrome c 또는 ferrocene amide를 패턴이 형성된 금 기판에 고정화시킨 다음 cyclic voltammeoy 측정을 통해 공액계 방향족 티올레이트의 전기적 활성을 검토하였다.