On the basis of the distribution of particle size measured by laser diffraction spectrometers, this research was carried out to investigate the characteristics of mist removal with the change of operating condition in the plasma reactor of impulse streamer corona. The operating parameters in this experiment were power of impulse streamer corona, gas velocity, impulse generation time, gas temperature, and SOx/NOx concentration. The collection efficiency T(d) was estimated by the distribution of particle size in the collection zone through the advanced model.
This research was carried but to investigate the characteristics of mist removal with the change of operating conditions in the plasma reactor of impulse streamer corona based on the distribution of particle size measured by laser diffraction spectrometers. The operating conditions in this experiment were power of impulse streamer corona, gas velocity, collection time, and SOx/NOx concentration. The collection efficiency T(d) was estimated by distribution of particle size in the collection zone through the advanced model.
We investigated the amount of the toxic gases emitted from the Electrostatic Precipitators(ESPs), which are currently used as the indoor air cleaners. The existing wire-to-plate(WTP) and neddle-to-plate(NTP) types of ESP designs are considered as the experimental corona dischargers. Using the voltage, the polarity of wire, the number of needles of NTP as the input variables, we studied the generation characteristics of ozone and $NO_{x}$ and the particle removal efficiency in the ESPs. As the results, we found out that the concentration of ozone, $NO_{2}$ and $NO_{x}$ is increased with increasing the voltage and the number of needles, but the amount of NO is decreased. And we observed that the generation rates of ozone and $NO_{x}$ are mainly related with the corona region through the photographs. Finally the experimental results showed that the particle removal efficiency of ESP with WTP type charger is more superior to that with NTP type chargers at the same voltage.
본 연구에서는 마이크로/나노입자를 이용한 연마가공 공정에서의 입자-표면간 접촉상황에서 접촉계면의 기계적 성질과 재료제거율간의 관계를 실험적으로 고찰하였다. 연마가공 공정에서의 입자-평면간 접촉을 모사하기 위하여 팁 대신 실리카 입자를 부착한 콜로이드 프로브를 이용한 원자현미경 실험을 통하여 마찰력과 강성을 실험적으로 측정하였다. 실험결과와 이론적 접촉해석으로부터, 마찰계수는 횡방향 접촉강성에 따라 대체적으로 증가하고 재료제거율은 실리카 입자와 Cu, PolySi, Ni과 같은 다양한 재료표면간 접촉에서의 마찰계수들과 지수함수적인 비례관계를 가지고 있음을 규명하였다.
The removal characteristics of H$_2$S from IGCC process over the natural manganese ore(NMO) containing several metal oxides($MnO_x$ : 51.85%, $FeO_y$ : 3.86%, CaO : 0.11%) were carried out in a batch type fluidized bed reactor(I.D.=40mm, height=0.8m). The $H_2S$ breakthrough curves were obtained as a function of temperature, initial gas velocity, initial gas concentration, and aspect ratio. The effect of particle size ratio and particle mixing fraction on $H_2S$ removal were investigated with binary system of different particle size. From this study, the adsorption capacity of $H_2S$ increased with temperature but decreased with excess gas velocity. The breakthrough time for $H_2S$ is reduced as the gas velocity is increased which leaded to gas by-passing and gas-solid contacting in a fluidized bed reactor. The results of the binary particle system with different size in batch experimental could predict to improve the behavior of continuous process of $H_2S$ removal efficiency. The natural manganese ore could be considered as potential sorbent in $H_2S$ removal.
본 연구에서는 공기청정기, 기수분리기 및 중성능 필터로 구성되는 습식 공기청정장치를 대상으로 입자와 유해가스인 $SO_2$, NO, $NO_2$, HCHO 및 $NH_3$의 제거 특성을 실험적으로 살펴보고, 실험결과를 대상물질의 물리화학적 특성과 연관시켜 검토하였다. 입자제거 실험에서는 대기 에어로졸을 송풍기를 통해 장치에 도입하여 장치의 3곳에서 2대의 레이저 입자계수기로 입자크기 분포를 측정하여 각 구성요소의 입자제거효율을 구하였다. 실험결과로부터 기수분리기에서는 입경이 $5{\mu}m$ 이상인 조대 입자가 주로 제거되고. 중성능 필터에서는 이보다 작은 미세 입자가 주로 제거됨을 알 수 있었다. 유해가스 제거 실험에서는 시험용 가스를 송풍기의 출구에 주입하여 공기청정기의 상류와 기수분리기의 하류에서 가스농도를 측정하여 유해가스 제거효율을 구하였다. 실험결과로부터 헨리상수가 큰 수용성인 $SO_2$, HCHO 및 $NH_3$는 제거효율이 높았으나, 헨리상수가 낮아 난용성인 NO와 $NO_2$는 제거효율이 낮음을 알 수 있었으며, 공기청정기에서 상당량의 음이온이 발생됨을 알았다.
실제 Cu CMP 공정이 진행되는 동안 연마입자의 응집현상을 관찰하긴 어렵다. 따라서 본 연구에서는 인위적으로 첨가한 large particle들이 공정 중에 발생하는 응집입자라 가정하고 각 공정에 따른 연마속도와 friction force를 측정하여 large particle을 첨가하지 않은 슬러리와 비교 평가해보았다. large particle을 첨가한 슬러리의 경우에 각 공정변수에 따라 연마속도와 friction force가 작아짐을 관찰하였다. 즉, 슬러리 내에 응집현상이 발생하게 된다면 large particle이 연마의 방해 인자로 나타남을 관찰 할 수 있었다.
Most experimental studies available in the literature on filtration are based on observed average zeta potential of particles (usually 10 measurements). However, analyses of data using the average zeta potential alone can lead to misleading and erroneous conclusions about the attachment behavior because of the variation of particle zeta potentials and the heterogeneous distribution of the collector surface charge. To study characteristics of zeta potential, zeta potential distributions (ZPDs) of silica particles under 9 different chemical conditions were investigated. Contrary to many researchers’ assumptions, most of the ZPDs of silica particles were broad. The solids concentration removal was better near the isoelectric point (IEP) as many researchers have noticed, thus proper destabilization of particles is very important to achieve better particle removal in particle separation processes. While, the mean zeta potential of silica particles at a given coagulant dose was a function of particle concentration; the amount of needed coagulant for particle destabilization was proportional to the total surface charge area of particles in the suspension.
This study was carried out to investigate the major factors for the removal of NOMs (Natural Organic Matters) by alum ferric chloride and blended coagulants that consisted of alum and ferric chloride. Investigated factors were pH, the dosage of coagulant, alkalinity, hardness and bloc strength. The particle size contained in the test water came from the Han River was also measured. DOC(Dissolved Organic Carbon) removal at pH 6 was two to three times higher than at pH 8.5. The blended coagulant showed 9 to 10 percent higher DOC removal efficiency and 2 to 4 percent higher turbidity under the same condition. Alkalinity consumption of alum, ferric chloride and blended coagulant was 81%, 90% and 86% of theoretical value, respectively. The limit concentration of alkalinity to avoid pin floe was 10 mg $CaCO_3/L$ when alum was used. Hardness had no apparent effect on coagulation. The residual turbidity and $UV_{254}$ showed a tendency of increasing with floc strength($sec^{-1}$) increase. The order of floe strength was the following; alum >blended coagulant > ferric chloride. The particle counter test showed 89 percent of the small particle size(SPS, $1~5{\;}{\mu}textrm{m}$) and 11 percent of the medium to large particle size(M.LPS, $5~125{\;}{\mu}textrm{m}$). At PH7.85, the particle removal efficiencies of SPS($1~5{\;}{\mu}textrm{m}$) and M.LPS($5~125{\;}{\mu}textrm{m}$) in the coagulation process were 81% and 95%, respectively.
본 연구에서는 초임계 이산화탄소와 공용매 첨가물을 이용하여 실리콘 웨이퍼 표면의 $Si_3N_4$ 파티클을 제거하는 기술을 조사하였다. 우선, 몇 가지 계면활성제와 첨가제에 관한 초임계 이산화탄소 용해도 및 파티클 분산성 평가를 통하여 초임계 공정에 대한 적합성을 확인하였다. 다양한 변수를 조정하여 파티클 세정 실험을 진행하여 최적의 제거 조건을 확립하였다. 실험에 사용된 계면활성제는 파티클 제거 효과가 떨어졌으며, 실험 후 이차 오염물이 형성됨을 확인하였다. 반면 trimethyl phosphate는 IPA공용매와 미량의 HF와 혼합된 세정 첨가제로서 초임계 이산화탄소에 5 wt%로 포함한 유체로 온도 $50^{\circ}C$, 압력 2000 psi에서 $15mL\;min^{-1}$의 유속으로 4분 간 세정한 결과, 85%의 파티클 제거 효율을 나타내었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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