• 제목/요약/키워드: organic resist

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UV-NIL(Ultraviolet-Nano-Imprinting-Lithography) 방법을 이용한 나노 패터닝기술 (Nano-patterning technology using an UV-NIL method)

  • 심영석;정준호;손현기;신영재;이응숙;최성욱;김재호
    • 한국진공학회지
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    • 제13권1호
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    • pp.39-45
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    • 2004
  • UV-나노임프린팅 (Ultraviolet-Nanoimprinting Lithography:UV-NIL) 공정 기술은 수십 나노에서 수 나노미터 크기의 구조물을 적은 비용으로 대량생산 할 수 있다는 장점을 가지고 있는 기술로 최근 전세계적으로 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 반도체 공정 중 마스크 제작 공정을 이용하여 나노패턴을 가진 5${\times}$5${\times}$0.09 인치 크기의 수정스탬프(quartz stamp)를 제작하였고, 임프린팅 (imprinting)시에 레지스트(resist)와 스탬프(stamp) 사이에서 발생하는 점착현상(adhesion)을 방지하고자 그 표면에 Fluoroalkanesilane(FAS) 표면처리를 하였다. 웨이퍼의 평탄도를 개선하고 친수(hydrophilic) 상태의 표면을 만들기 위해 그 표면에 평탄화층을 스핀코팅하였고, 1 nl의 분해능을 가진 디스펜서(dispenser)를 이용하여 레지스트 액적을 도포하였다. 스템프 상의 패턴과 레지스트에 임프린트된 패턴은 SEM, AFM 등을 이용하여 측정하였으며, EVG620-NIL 장비를 이용한 임프린팅 실험에서 370 nm - 1 um 크기의 다양한 패턴을 가진 스탬프의 패턴들이 정확하게 레지스트에 전사됨을 확인하였다.

유기 섬유 혼입 고강도 콘크리트 부재의 평가 방법에 따른 내화성능 변화에 관한 연구 (The Variations on The Fire Resistance of High Strength Concrete Column Incorporating Organic Fiber with Assessment Methods)

  • 이승훈;박찬규
    • 한국콘크리트학회:학술대회논문집
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    • 한국콘크리트학회 2008년도 추계 학술발표회 제20권2호
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    • pp.945-948
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    • 2008
  • 내화 성능은 화재에 견디는 부재의 능력을 나타내는 하나의 척도이다. 콘크리트 기둥에서 내화성능은 많은 요인에 영향을 받는데, 주요 인자로는 강도, 밀도, 수분 상태, 화재 강도, 기둥의 크기 및 형상, 철근 상세, 하중 상태 및 골재 형태 등이 있다. 그런데, 고강도 콘크리트는 보통강도 콘크리트에 비하여 폭렬이 쉽게 발생하는 것으로 알려져 있다. 그리고 화재 시 고강도 콘크리트 기둥의거동은 이러한 폭렬에 큰 영향을 받는다. 따라서 폭렬제어를 위하여 PP섬유를 혼입하는 방법이 연구되고 있고 건설현장에서 성공적으로 적용되고 있다. 그런데 이러한 고강도 콘크리트의 내화 특성 향상뿐만 아니라 고강도 콘크리트 기둥의 내화 성능 평가 방법의 정립 또한 중요한 문제라고 할 수 있다. 따라서 본 연구에서는 폭렬이 제어된 고강도 콘크리트 기둥에 대하여 내화 성능 평가 방법에 따라 그 성능의 변화 양상에 대하여 연구를 수행하였다.

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에폭시 아크릴레이트 올리고머와 전도성 카본블랙을 이용한 감광성 저항 페이스트 조성 연구 (Study on the Compositions of Photosensitive Resistor Paste Using Epoxy Acrylate Oligomers and Conductive Carbonblack)

  • 박성대;강남기;임진규;김동국
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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    • pp.421-421
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    • 2008
  • Generally, the polymer thick-film resistors for embedded organic or hybrid substrate are patterned by screen printing so that the accuracy of resistor pattern is not good and the tolerance of resistance is too high(${\pm}$20~30%). To reform these demerits, a method using Fodel$^{(R)}$ technology, which is the patterning method using a photosensitive resin to be developable by aqueous alkali-solution as a base polymer for thick-film pastes, was recently incorporated for the patterning of thermosetting thick-film resistor paste. Alkali-solution developable photosensitive resin system has a merit that the precise patterns can be obtained by UV exposure and aqueous development, so the essential point is to get the composition similar to PSR(photo solder resist) used for PCB process. In present research, we made the photopatternable resistor pastes using 8 kinds of epoxy acrylates and a conductive carbonblack (CDX-7055 Ultra), evaluated their developing performance, and then measured the resistance after final curing. To become developable by alkali-solution, epoxy acrylate oligomers with carboxyl group were prepared. Test coupons were fabricated by patterning copper foil on FR-4 CCL board, plating Ni/Au on the patterned copper electrode, applying the resistor paste on the board, exposing the applied paste to UV through Cr mask with resistor patterns, developing the exposed paste with aqueous alkali-solution (1wt% $Na_2CO_3$), drying the patterned paste at $80^{\circ}C$ oven, and then curing it at $200^{\circ}C$ during 1 hour. As a result, some test compositions couldn't be developed according to the kind of oligomer and, in the developed compositions, the measured resistance showed different results depending on the paste compositions though they had the same amount of carbonblack.

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자외선 경화제가 고분자개질아스팔트의 물성에 미치는 영향에 관한 연구 (Effects of UV Initiator on Properties of Polymer-Modified Asphalt)

  • 강현승;홍영근
    • Elastomers and Composites
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    • 제45권3호
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    • pp.217-222
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    • 2010
  • 여름철 아스팔트의 표면 온도 상승으로 인한 도로의 소성변형과 겨울철 온도 강하로 인한 도로균열이 도로안전 운전을 위협하는 문제로 등장하면서 아스팔트 물성향상을 위한 아스팔트개질의 필요성이 대두되고 있다. 본 연구에서는 아스팔트의 탄성과 소성변형저항성을 증가시키기 위해 아스팔트 물성 노화의 직접적 원인인 햇빛, 특히 자외선을 이용하기 위해, 고분자중합에 사용되는 광개시제를 사용하여 고분자로 개질된 아스팔트를 다시 개질하였다. 인장시험기와 레오미터를 이용하여 기계적 물성과 유변학적 물성을 실험한 결과 열가소성고분자개질아스팔트는 자외선에 의한 가교반응으로 인해 인장강도와 저장탄성률이 크게 증가하였으나 열경화성고분자개질아스팔트에는 영향을 끼치지 못하였다. 장시간 자외선조사 시험에서는 조사시간이 길어짐에 따라 그 물성이 증가되거나 유지되는 거동을 보임으로써 자외선이 아스팔트의 사용수명이 20년이 될 수 있는 효과를 나타내었다.

플라즈마 중합법에 의한 스티렌 박막의 분자 구조 및 분자량 제어에 관한 연구 (A Study on the molecular structure and molecular weight control of styrene films by plasma polymerization)

  • 김종택;최충양;박종관;박응춘;이덕출
    • 한국진공학회지
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    • 제6권3호
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    • pp.213-219
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    • 1997
  • 본 연구에서는 내전극 정전결합 유동가스형 반응장치를 이용하여 플라즈마 중합 스 티렌 박막을 제작하고 적외선분광스펙트럼, 열분해가tm크로마토그래피, 시차주사열량계 및 겔투과성 크로마토그래피의 분석을 통하여 중합조건이 분자구조 및 분자량 분포에 미치는 영향을 조사하였다. 위의 결과로부터 개시 모노머의 화학적 특성과는 다른 고도로 가교된 박막이 생성되었으며, 방전압력, 방전전력 및 가스의 유량 등의 중합조건 조절에 의해 분자 구조, 가교도, 분자량 분포 등의 제어가 가능함이 판명되었다. 따라서 내전극 정전결합 유동 가스형 반응장치에 의해 수행된 플라즈마중합법은 중합조건의 조절에 의해 센서의 감지막, 광도전성 소자 및 포토 레지스트 등에 응용가능한 기능성 유기박막의 제작에 좋은 특성을 나타내는 것을 알 수 있었다.

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Effect of Glycine and Various Osmolarities of Culture Medium on In Vitro Development of Parthenogenesis and Somatic Cell Nuclear Transfer Embryos in Pigs

  • Lee, Joohyeong;Lee, Yongjin;Jung, Hae Hong;Lee, Seung Tae;Lee, Geun-Shik;Lee, Eunsong
    • 한국수정란이식학회지
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    • 제33권4호
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    • pp.221-228
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    • 2018
  • The osmolarity of a medium that is commonly used for in vitro culture (IVC) of oocytes and embryos is lower than that of oviductal fluid in pigs. In vivo oocytes and embryos can resist high osmolarities to some extent due to the presence of organic osmolytes such as glycine and alanine. These amino acids act as a protective shield to maintain the shape and viability in high osmotic environments. The aim of this study was to determine the effects of glycine or/and alanine in medium with two different osmolarities (280 and 320 mOsm) during IVC on embryonic development after parthenogenesis (PA) and somatic cell nuclear transfer (SCNT) in pigs. To this end, IVC was divided into two stages; the 0-2 and 3-7 days of IVC. In each stage, embryos were cultured in medium with 280, 320, or 360 mOsm and their combinations with or without glycine or/and alanine according to the experimental design. Treatment groups were termed as, for example, "T(osmolarity of a medium used in 0-2 days of IVC)-(osmolarity of a medium used in 3-7 days of IVC)" T280-280 was served as control. When PA embryos were cultured in medium with various osmolarities, T320-280 showed a significantly higher blastocyst formation (29.0%) than control (22.2%) and T360-360 groups (6.9%). Glycine treatment in T320-280 significantly increased blastocyst formation (50.4%) compared to T320-280 only (36.5%) while no synergistic was observed after treatment with glycine and alanine together in T320-280 (45.7%). In contrast to PA embryonic development, the stimulating effect by the culture in T320-280 was not observed in SCNT blastocyst development (27.6% and 23.7% in T280-280 and T320-280, respectively) whereas the number of inner cell mass cells was significantly increased in T320-280 (6.1 cells vs. 9.6 cells). Glycine treatment significantly improved blastocyst formation of SCNT embryos in both T280-280 (27.6% vs. 38.0%) and T320-280 (23.7% vs. 35.3%). Our results demonstrate that IVC in T320-280 and treatment with glycine improves blastocyst formation of PA and SCNT embryos in pigs.