Nano-patterning technology using an UV-NIL method |
심영석
(한국기계연구원 지능형 정밀기계연구부)
정준호 (한국기계연구원 지능형 정밀기계연구부) 손현기 (한국기계연구원 첨단산업기술연구부) 신영재 (한국기계연구원 지능형 정밀기계연구부) 이응숙 (한국기계연구원 지능형 정밀기계연구부) 최성욱 (아주대학교 분자과학기술학과) 김재호 (아주대학교 분자과학기술학과) |
1 | S. Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstrom, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 4129 (1996) DOI ScienceOn |
2 | R. D. Peters, P. F. Nealey, J. N. Crain, and F. J. Jimpel, Langmuir 18, 1250 (2002) DOI ScienceOn |
3 | T. C. Bailey, D. J. Resnick, D. Mancini, K.J. Nordquist, W. J. Dauksher, E. Ainley, A. Talin, K. Gehoski, J. H. Baker, B.J. Choi, S. Johnson, M. Colburn, M. Meissl, S. V. Sreenivasan, J. G. Ekerdt, and C.G. Willson, Microelectronics Eng. 61-62, 461 (2002) |
4 | J. Haisma, M. Verheijen, and K. Heuvel, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 4124 (1996) DOI ScienceOn |
5 | J. J. Senkevich C. J.Mitchell G. R. Yang and T. M. Lu, Langmuir 18, 1587 (2002) DOI ScienceOn |
6 | T. C. Bailey, B. J. Choi, M. Colburn, M. Meissl, S. Shaya, J. G. Ekerdt, S. V. Sreenivasan, and C. G. Willson, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 3572 (2000) DOI ScienceOn |
7 | S.V. Sreenivasan, in ASME International Conference on Integrated Nanosystems, Berkeley, CA, September 18-20, 2002 |
8 | M. Schaepkens and G. S. Oehrlein, Applied Physics Letters 72, 1293 (1998) DOI ScienceOn |