반도체 산업은 지속적으로 비약적인 발전을 이루어내면서 점점 고집적회로를 제작하기 위하여 패턴의 미세화가 이루어지게 되었다. 현재 미세 나노패턴의 형성을 위하여 여러층의 하드마스크가 사용되고 있으며, 화학증기증착(CVD)공정을 이용하여 형성한다. 이에 본 연구에서는 스핀공정(spin-on process)이 가능한 유-무기 하이브리드 중합체를 이용한 단일층의 하드마스크를 제작하였는데, 하드마스크 내의 무기계 성분이 감광층 보다 쉽게 식각되는 반면에 하드마스크의 유기계 성분으로 인해 substrate층 보다 덜 식각되었다. 유-무기 하이브리드 중합체를 이용한 하드마스크막의 광학 및 표면 특성을 조사하였고, 감광층과 하드마스크막의 식각비를 비교하여 유-무기소재의 하이브리드중합체에 대한 미세패턴을 형성시킬 수 있는 하드마스크막으로써의 유용성을 확인하였다.
본 연구에서는 ITO (indium tin oxide)/glass 투명기판 위에 다층구조의 OELD (organic electroluminescent devices) 소자를 진공 열증착법으로 제작하였다. 발광층 재료로서 Alq$_3$(tris-(8-hydroxyquinoline)aluminum)물질을 사용하였고, 정공수송층으로는 TPD (triphenyl-diamine) 및 $\alpha-NPD$를 사용하였다. 정공주입층 재료로서 CuPc (Copper phthalocyanine)를 사용하였다. 또한 QD2(quinacridone2) 물질을 $Alq_3$ 발광층내에 약 $10\AA$ 두께로 증착하여 발광효율 향상을 시도하였다. 제작된 모든 소자의 발광개시전압은 약 7 V 이었으며, 정공수송층으로 TPD 물질대신에 열적안정성이 우수한 $\alpha-NPD$를 사용한 경우 휘도값과 발광효율이 개선되었다. $Alq_3$ 발광층 사이에 QD2 물질을 적층한 소자에서 발광효율은 1.55 lm/W 값을 나타내어 $Alq_3$ 발광층만을 사용한 경우에 비해 약 8배 발광효율이 향상되었다.
플렉서블 OLED는 매우 다양한 유기(organic) 및 무기 물질로 이루어져 있으며, 각 층을 증착하는 과정에 의하여 고온에 의한 휨(warpage)이 발생한다. 휨으로 인하여 발생한 굽힘 변형은 후속 공정에 많은 영향을 미치며, 궁극적으로 생산 수율 및 신뢰성을 저하시킨다. 본 연구에서는 플렉서블 OLED 소자의 고온 환경신뢰성 시험 및 공정 단계에서 발생하는 휨 변형을 수치해석을 이용하여 예측하였으며 실험 결과와 비교하였다. 이를 통하여 휨에 가장 큰 영향을 미치는 재료를 파악하고, 궁극적으로 휨을 최소화 함으로써 플렉서블 OLED의 신뢰성을 향상시키고자 하였다. 휨의 측정 및 수치해석 결과, 편광 필름과 베리어 필름이 휨에 많은 영향을 줌을 알 수 있었으며, OCA가 휨에 미치는 영향은 미미하였다. 플렉서블 OLED의 휨에 가장 큰 영향을 주는 소재는 plastic cover이였으며, 휨을 최소화하기 위한 plastic cover 소재의 최적 물성을 실험계획법으로 계산한 결과, 탄성 계수는 4.2 GPa, 열팽창계수는 $20ppm/^{\circ}C$ 일 경우 플렉서블 OLED의 휨은 1 mm 이하가 됨을 알 수 있었다.
The impedance spectroscopy is one of the effective ways to understand the electrical properties of organic light emitting diodes. The frequency-dependant properties of small molecule based OLEDs have been studied. The equivalent circuit of single-layer device is composed of contact resistance ($R_c$), bulk resistance ($R_p$) and bulk capacitance ($C_p$). The equivalent circuit of double layer device is composed of two parallel circuits connected in series, each of which is a parallel resistor and a capacitor. We have fabricated a double layer device indium-rio-oxide (ITO, anode), N,NV -diphenyl- N,NV -bis(3-methylphenyI)-1,1V -diphenyl-4,4V-diamine (TPD, hole-transporting layer), tris-(8-hydroxyquinoline) aluminum (Alq3, emitting layer), and aluminum (AI, cathode) and two single layer devices ([TO/ Alq3/ AI, ITO/TPD/AI).
OLED(organic light emitting diode)는 차세대 평판 디스플레이로 전자종이, 입는 디스플레이 등 flexible한 디스플레이로도 주목받고 있다. 하지만, OLED의 가장 큰 단점 중의 하나가 수분과 산소에 매우 민감하다는 것으로 이것은 OLED의 lifetime과 연결된다. 따라서 이에 대한 mechanism의 확립이 필요하다. 따라서 본 연구에서는, flexible한 OLED에 적용되는 금속 코팅막의 적층구조 및 기판의 노출온도에 따른 금속 코팅막의 수분침투 특성에 대해 MOCON의 weight gain test (WGT)를 통해 barrier layer에 대해 평가하고 이에 대한 mechanism을 확립하는데 그 목적이 있다. 금속 코팅막은 OLED의 cathode와 anode 재료로 많이 사용되는 Al과 ITO를 sputter장비를 이용해 single layer와 multi-layer의 두 가지 구조로 PET기판에 증착하였다. 또한, 노출온도에 따른 특성을 알아보고자 bare PET / ITO coated PET(single layer $50{\mu}m$) / Al coated PET(single layer $200{\mu}m$)의 세 가지 시편을 제작하였다. 이 시편을 각각 $25^{\circ}C$, $37.8^{\circ}C$, $50^{\circ}C$의 온도에서 test를 진행하였고 이 과정을 100%RH, 70%RH, 40%RH조건의 수분조건에서 진행하여 각각의 수분조건에서 각각의 온도에 따른 금속 코팅막의 수분침투 특성에 대한 mechanism을 확립하였다. 적층구조에 따른 수분침투 특성 평가 결과 multi-layer가 single layer보다 더 우수한 수분침투의 barrier 특성을 나타냈었다. 그리고 각 온도에 따른 test결과 온도가 증가할수록 barrier의 특성이 나빠짐이 보였다.
We studied emission characteristics of blue fluorescent multi-tandem OLEDs using $Al/MoO_x$ as charge generation layer(CGL). Threshold voltage for 2, 3, 4, and 5 units tandem OLEDs was 8, 11, 14 and 18 V, respectively. The threshold voltage in multi-tandem OLEDs was lower than multiple of 4 V for the single OLED. Maximum current efficiency and maximum quantum efficiency of single OLED were 7.6 cd/A and 5.5%. Maximum current efficiency for 2, 3, 4, and 5 units tandem OLEDs was 22.6, 31.4, 41.2, and 46.6 cd/A, respectively. Maximum quantum efficiency for 2, 3, 4, and 5 units tandem OLEDs was 11.8, 15.8, 21.8, and 25.6%, respectively. The maximum current efficiency and maximum quantum efficiency in multi-tandem OLEDs were higher than multiple of those for the single OLED. The intensity for 508 nm peak was changed and the peak wavelength was red shift by increase of tandem unit in electroluminescent emission spectra. These phenomena can be caused by micro-cavity effect with increasing of organic layer thickness.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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제5권5호
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pp.173-179
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2004
The influence of heavily Si impurity doping in the GaN barrier of InGaN/GaN multi-quantum well structures of blue light emitting diodes were investigated by growing samples in metal-organic chemical vapor deposition. The delta-doped sample was compared to the sample with the undoped barrier. The delta-doped sample shows the tunneling behavior and forms the energy level of 0.32 eV for tunneling and the photoemission of the 450-nm band. The photo-luminescence shows the blue-shifted broad band of the radiative transition due to the inclusion of Si delta-doped layer indicating that the delta doping effect acts to form the higher energy level than that of quantum well. The dislocation may provide the carrier tunneling channel and plays as a source of acceptor. During the tunneling of hot carrier, there was no light emission.
This study was initiated to investigate soil chemical properties under different soil systems. Data such as soil acidity(pH), electrical conductivity(EC), organic matter content(OMC), and cation exchange capacity(CEC) were analyzed with samples from multi-layer, USGA, and mono-layer systems. N, P, K and micronutrients were also measured. Multi-layer system was built up to 60-cm depth with rootzone layer, intermediate layer and two drainage layers. USGA system 45 centimeters deep was constructed with rootzone layer, intermediate layer and drainage layer. Mono-layer system, however, was made only with a 30-cm rootzone layer. Differences were observed in soil pH, EC, OMC, CEC and micronutrients. Soil pH was acceptable for turfgrass growth a year after establishment, being 5.5 to 6.5 in the study. Differences were greatly observed for EC among soil systems. Values of EC for multi-layer, USGA, and mono-layer systems were 39.79, 31.26 and 103.54 uS/em, respectively. The increase rate was approximately 4 to 8 times greater with mono-layer system than those with other two systems. Therefore, it was necessary to avoid micronutrient deficiency such as Fe, Mn etc. through an effective management program in mono-layer system because of its faster potential feasibility of salt accumulation. The greatest OMC was associated with USGA system, being 0.97% which was 11% over that of the other systems. Slight differences were observed for CEC among them. Mono-layer system produced 1.45 me/100g, 10.3% and 8.9% lower in CEC than those of multi-layer and USGA system, respectively. Micronutrients such as Fe, Zn, and Mn etc. were below the level required for turf growth, regardless of soil systems. It was considered that one year after turf establishment was not enough to build up micronutrients in sand-based soil systems to the normal level for a turf growth. These results demonstrate that intensive management program including grow-in concept fertilization should be integrated into sand-based soil systems, even after a year in establishment. Regular nutrient monitoring by soil analyses is a strong necessity to decide the kinds and amount of fertilizer. Also, strategic management program must be selectively employed according to sports turf soil systems.
IMML(Inorganic metal multi-layer) was used as cathode in the OLED devices to reduce the reflectance or ITO and increase the contrast ratio. Device structure was $ITO/{\alpha}-NPD/Alq_3:DCJTB/Alq_3/IMML/Al$. $Alq_3$ and DCJTB (4 - (dicyanomethylene) - 2 - ( 1 - propyls) 6 - methy 4H - pyrans) as host material lot red emission and red emitting guest material. IMML made three different layer: thin aluminum layer, aluminum layer doped with silicon monoxide, thick aluminum layer. The red OLED device with IMML showed the average reflectance of $4.97\%$, and then normal OLED with or without polarizer showed the average reflectance of $4.55\%$, $46\%$ at visible range from 380 nm to 780 nm. The brightness of OLED with IMML at 13 V was 5557 $cd/m^2$, and that of normal OLED with polarizer was 4872 $cd/m^2$. IMML could be the substitution for polarizer with same reflection, low cost, easy process in flat panel display market.
Kim, J.H.;Jeon, H.J.;Choi, B.Y.;Kim, M.C.;Kim, S.;Kim, K.Y.
제어로봇시스템학회:학술대회논문집
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제어로봇시스템학회 2003년도 ICCAS
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pp.553-558
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2003
The boundary estimation problem is used to estimate the shape of organic depend on the phase of the cardiac cycle or interested in the detection of the location and size of anomalies with resistivity values different from the background tissues such as nuclear reactor. And we can use the method to solve the optimal solution such as modified Newton raphson, kalman filter, extended kalman filter, etc. But, this method consumes much time and is sensitive to the initial value and noise in the estimation of the unknown shape. In the paper, we propose that multi-layer neural networks estimate the boundary of the unknown object using Fourier coefficient. This method can be used at the real time estimation and have strong characteristics at the noise and initial value. It uses voltage change; difference the homogeneous voltage to the non-homogeneous voltage, and change of Fourier coefficient change to train multi-layer neural network. After train, we can have real time estimation using this method.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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