전자빔여기 XeF$(C\rightarrowA$ 엑시머 레이저의 출력특성에 대한 시뮬레이션 해석
(Simulation Anaysis on the Output Characteristics of XeF$(C\rightarrowA$ Excimer Laser Pumped by Electron-Beam)
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- 한국광학회지
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- 제6권3호
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- pp.201-213
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- 1995