In this study, we fabricated thermopile infrared sensor with floating membrane structure. Floating membrane was formed by SOI(Silicon On Insulator) structure. In SOI structure, silicon dioxide layer between top silicon layer and bottom silicon substrate was etched by HF solution, then membrane was floated over substrate. After membrane was floated, thermopile pattern was formed on membrane. By insertion of SOI technology, we could obtain thermal isolation structure easily and passivation process for sensor pattern protection was not required during fabrication process. Then, the amplifier circuit for thermopile sensor was fabricated by using $1.5{\mu}m$ CMOS process. The voltage gain of fabricated amplifier was about two hundred.
Two different schemes were adopted to fabricate ordered macroporous structures with face centered cubic lattice of air spheres. Monodisperse polymeric latex suspension, which was synthesized by emulsifier-free emulsion polymerization, was mixed with metal oxide ceramic nanoparticles, followed by evaporation-induced self-assembly of the mixed hetero-colloidal particles. After calcination, inverse opal was generated during burning out the organic nanospheres. Inverse opals made of silica or iron oxide were fabricated according to this procedure. Other approach, which utilizes ceramic precursors instead of nanoparticles was adopted successfully to prepare ordered macroporous structure of titania with skeleton structures as well as lithium niobate inverted structures. Similarly, two different schemes were utilized to obtain disordered macroporous structures with random arrays of macropores. Disordered macroporous structure made of indium tin oxide (ITO) was obtained by fabricating colloidal glass of polystyrene microspheres with low monodispersity and subsequent infiltration of the ITO nanoparticles followed by heat treatment at high temperature for burning out the organic microspheres. Similar random structure of titania was also fabricated by mixing polystyrene building block particles with titania nanoparticles having large particle size followed by the calcinations of the samples.
A nano-stereolithography (NSL) process has been developed for the fabrication of three-dimensional (3D) micro-devices with high spatital resolution of approximately 100 nm. In the NSL process, a complicated 3D structure can be created by stacking layer-by-layer, so it does not require any sacrificial layer or any supporting structure. A laminated layer was fabricated by means of solidifying liquid-state monomers using two-photon absorption (TPA) which was induced by a femtosecond laser. When the fabrication of a 3D stacked structure was finished, unsolidified liquid resins were rinsed by ethanol to develop the fabricated structures; then, the polymerized structure was only left on the glass substrate. Through this work, several 3D microstructures such as a micro-channel, shell structures, and photonic crystals were fabricated to evaluate the possibility of the developed system.
In recent materials industry, researches on the technology to manufacture super hydrophobic surface by effectively controlling the wettability of solid surface are expanding. Research on the fabrication of super hydrophobic surface has been studied not only for basic research but also for self-cleaning, anti-icing, anti-friction, flow resistance reduction in construction, textile, communication, military and aviation fields. A super hydrophobic surface is defined as a surface having a water droplet contact angle of 150 ° or more. The contact angle is determined by the surface energy and is influenced not only by the chemical properties of the surface but also by the rough structure. In this paper, maskless lithography using DMD, electro etching, anodizing and hot embossing are used to make the polymer resin PMMA surface super hydrophobic. In the fabrication of microstructure, DMDs are limited by the spacing of microstructure due to the structural limitations of the mirrors. In order to overcome this, maskless lithography using a transfer mechanism was used in this paper. In this paper, a super hydrophobic surface with micro and nano composite structure was fabricated. And the wettability characteristics of the micro pattern surface were analyzed.
Many of small-scale devices should be designed to tolerate high temperature changes. In the present study, the states of buckling and stability of nano-scale cylindrical shell structure integrated with piezoelectric layer under various thermal and electrical external loadings are scrutinized. In this regard, a multi-layer composite shell reinforced with graphene nano-platelets (GNP) having different patterns of layer configurations is modeled. An outer layer of piezoelectric material receiving external voltage is also attached to the cylindrical shell for the aim of observing the effects of voltage on the thermal buckling condition. The cylindrical shell is mathematically modeled with first-order shear deformation theory (FSDT). Linear elasticity relationship with constant thermal expansion coefficient is used to extract the relationship between stress and strain components. Moreover, minimum virtual work, including the work of the piezoelectric layer, is engaged to derive equations of motion. The derived equations are solved using numerical method to find out the effects of temperature and external voltage on the buckling stability of the shell structure. It is revealed that the boundary condition, external voltage and geometrical parameter of the shell structure have notable effects on the temperature rise required for initiating instability in the cylindrical shell structure.
Tthe structure and magnetic properties of Sm-Co/co films treated at various annealing temperatures and times are reported, The effects of an externally applied magnetic field during annealing, were also investigated. These result is discussed in terms of magnetization reversal of nano grains which seems to compete with the exchange interaction occurring between the nano grains. (omitted)
Influences of Co and inhibitors from nano-sized WC materials were observed in the sintering process. VC and $Cr_3C_2$ were used as inhibitors. The crystal structure and surface images of sintered nano-sized WC materials, as functions of Co and inhibitors, were evaluated by XRD and FE-SEM analyses. The relative densities of sintered nano-sized WC materials did not change even with increased quantity of Co and increased temperature. The density of sintered nano-sized WC materials with inhibitors was lower than that of sintered nano-sized WC materials without inhibitors. No difference in hardness due to change of inhibitors was found.
The generation of energy and the cooling of system using thermoelectric semiconductor material have been in spotlight. Thermoelectric effect increases with the decrease of the thermal conductivity. In the thermoelectric devices, thermal conductivity is related to phonon scattering. Therefore, few studies have been conducted in the thermoelectric materials dispersed nano oxide particle for increasing the phonon scattering. However, core-shell structure which nano particle disperses in solvents and then which thermoelectric materials coated on the nano oxide particles has not been reported. In this study, we selected commercial nano powder such as $Al_2O_3$. This nano particle was about 20nm and was crushed aggregate by mechanical treatment. We have developed the effect of the dispersant and the solvent. The properties of particles were evaluated by SEM, TEM, particle size analysis, and BET. Dispersion and dispersion stability were evaluated by electronic microscope and turbidity.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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