• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.2
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• pp.693-696
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• 2004

For InGaP/GaAs HBT applications, we have developed characterized MIM capacitors with thin $1000{\AA}$ PECVD silicon nitride which were deposited with $SiH_4/NH_3$ gas mixing rate, working pressure, and RF power of PECVD at $300^{\circ}C$ and had the capacitance density of 600 pF/$mm^2$ with the breakdown electric fields of 3073 MV/cm. Three PECVD process parameters were designed to lower the refractive index and then lower the deposition rate of silicon nitride films for the high breakdown electric field. At the PECVD process condition of gas mixing rate (0.92), working pressure (1.3 Torr), RF power (53 W), the AFM Rms value of about $1000{\AA}$ silicon nitride on the bottom metal was the lowest of 0.662 nmand breakdown electric fields were the highest of about 73 MV/cm.

• Journal of the Optical Society of Korea
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• 제15권1호
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• pp.82-89
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• 2011

In this paper, we numerically study both band-pass and band-stop plasmonic filters based on Metal-Insulator-Metal (MIM) waveguides and circular ring resonators. The band-pass filter consists of two MIM waveguides coupled to each other by a circular ring resonator. The band-stop filter is made up of an MIM waveguide coupled laterally to a circular ring resonator. The propagating modes of Surface Plasmon Polaritons (SPPs) are studied in these structures. By substituting a portion of the ring core with air, while the outer dimensions of the ring resonator are kept constant, we illustrate the possibility of red-shift in resonant wavelengths in order to tune the resonance modes of the proposed filters. This feature is useful for integrated circuits in which we have limitations on the outer dimensions of the filter structure and it is not possible to enlarge the dimension of the ring resonator to reach to longer resonant wavelengths. The results are obtained by a 2D finite-difference time-domain (FDTD) method. The introduced structures have potential applications in plasmonic integrated circuits and can be simply fabricated.

• 열처리공학회지
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• 제34권1호
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• pp.17-24
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• 2021

In this study, Ti-X (X=Mn, Fe, Mo) powder alloys were designed and manufactured by both powder metallurgy (PM) and metal powder injection molding (MIM) process to improve strength and formability compared to CP-Ti powder materials. It was found that the lamellar microstructure consisted of α and β phases was formed in PM-processed alloys. However, MIM-processed alloys showed not the lamellar microstucture but the equiaxed α + β microstructure. It was also revealed that the contents of X component and feedstock were not affected to microstructure evolution. The reason why different microstructure was appeared between PM-processed and MIM-processed alloys is not clear yet, but supposed to be the effect of intersticial elements such as C, H and N derived from feedstock during debinding process of MIM.

• 지역사회간호학회지
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• 제32권1호
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• pp.12-23
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• 2021

Purpose: This study explored how and why young and middle-aged adults disclose depressive feelings to others. In particular, we investigated the role of social norms to see whether using mobile instant messaging (MIM) could lower the perceived barriers of emotional disclosure. Furthermore, the motivations of emotional disclosure via MIM were compared between young and middle-aged adults. Methods: A total of 255 Koreans (128 middle-aged people, 127 young adults) participated in an online survey. Pearson's correlation coefficients, paired t-tests, SPSS PROCESS macro, and exploratory factor analysis were used to examine the relationships among the key variables. Results: The perceived social norms were found to be a significant deterrent in disclosing depressive feelings to others. However, there was a significant interaction effect between generations and perceived social norms. Although young adults with low social norm awareness were more likely to disclose depressive feelings via MIM, emotional disclosure among middle-aged adults increased with higher levels of perceived social norms. Also, different motivations were observed. Conclusion: The results confirmed the significant effect of social norms as well as generational differences when using MIM as a channel of emotional disclosure.

• Journal of Korean Dental Science
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• 제15권2호
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• pp.181-189
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• 2022

Molar incisor malformation (MIM) has been introduced as a new type of dental anomaly. Currently, the morphological and histological characteristics of MIM are known; however, its etiology has not been clearly identified. To date, the long-term prognosis of first permanent molars (FPM) affected by MIM has rarely been reported, and few treatment guidelines have been established. The purpose of this case report was to present guidelines for the extraction of FPM affected by MIM, depending on the presence of the third molar. In patients with a third molar, spontaneous mesial shift of the posterior molars might be induced by extracting the FPM at an appropriate time, that is, when the second permanent molar is at an early furcation stage of the tooth. However, it is recommended that FPM be preserved for as long as possible if a third molar does not exist. When an FPM needs to be extracted, it is suggested to consider space maintenance.

• 전자공학회논문지 IE
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• 제43권4호
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• pp.99-104
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• 2006

전기 전자 소자를 제작하는 방법으로 Langmuir-Boldgett(LB)법이 많은 관심을 받고 있다. 수면위에 형성된 단분자막을 압축 또는 확장하면, 분자가 배향하는 과정에서 맥스웰 변위전류(MDC)가 흐른다. MDC는 전속밀도의 변화에 기인해서 흐르므로 MDC를 측정하는 것에 의해 분자의 동적 거동 관찰할 수 있다. 단분자막을 압축하는 속도와 분자면적은 서로 선형적인 관계를 갖고 있다. 본 연구에서는 압축속도를 30, 40, 50mm/min으로 달리하여 단분자막의 동적 거동을 관찰하였으며 LB법을 이용하여 Arachidic acid 단분자를 slide glass 위에 Y-type으로 9$\sim$21층의 다층막을 누적하여 Au/Arachidic acid/Al 소자를 제작하였다. 또한 Metal-Insulator-Metal(MIM) 소자의 I-V 특성을 측정하여 전극간의 거리가 커질수록 절연특성이 좋아짐을 확인하였다.

• 대한기계학회논문집B
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• 제34권2호
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• pp.99-103
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• 2010

다공성 매질상에서 유체와 용질의 이동은 Mobile zone과 Immobile zone으로 분리해서 분석하는 Mobile-Immobile Zone Model을 이용하여 쉽게 현상을 구현할 수 있었으나 본 연구에서는 2차원 4각형태의 pore 상에서 확산주도영역(Immobile zone)으로 들어가고 나오는 용질의 확산에 관한 새로운 Analytic solution을 유도하여 기존 MIM Zone model과 비교 분석하였다. 새롭게 유도된 Analytic solution은 기존의 MIM model 과 비교했을때 충분히 오랜시간이 경과한 후에는 해의 일치를 보이지만 MIM model의 경우 초기 농도값이 주입된 실제 농도보다 약 20 % 낮게 나타난다. Mass-transfer 계수, $\alpha$는 일반적으로 시간의 흐름에 따라 감소하게 되는데 일정 시간이 경과하게 되면 안정화 되고 일정함을 유지하며 그 시간은 무차원으로 약 ${\tau}_0=0.15$이다. 또한 $\alpha$는 분자확산과 비례하며 Immobile 영역의 깊이와 반비례하는 반면 작은 시간이 경과한 후에는 시간에 종속되어진다.

• 한국진공학회지
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• 제9권2호
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• pp.162-166
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• 2000

플라즈마 화학증착법(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)을 이용하여 양질의 $Si_3N_4$ 금속-유전막-금속(Metal-Insulator-Metal, MIM) 커패시터를 구현하였다. 유전체인 $Si_3N_4$와 전극인 Al의 계면반응을 억제시키기 위해 티타늄 나이트라이드(TiN)를 확산 장벽으로 사용한 결과 MIM 커패시터의 전극과 유전체 사이의 계면에서는 어떠한 hillock이나 석출물도 관찰되지 않았다. 커패시턴스와 전류전압 특성분석으로부터 양질의 MIM 커패시터 특성을 보이는 $Si_3N_4$의 최소 두께는 500 $\AA$이며, 그 두께 미만에서는 대부분의 커패시터가 전기적으로 단락되어 웨이퍼 수율이 낮아진다는 사실을 알 수 있었다. 투과전자현미경(transmission Electron Microscope, TEM)을 이용한 단면 미세구조 관찰을 통해 $Si_3N_4$층의 두께가 500 $\AA$ 미만인 커패시터의 경우에 TiN과 $Si_3N_4$의 계면에서 형성되는 슬릿형 공동(slit-like void)01 의해 커패시터의 유전특성이 파괴된다는 사실을 알게 되었으며, 열 유기 잔류 응력(thermally-induced residual stress) 계산에 기초하여 공동의 형성 기구를 규명하였다.

• 한국ITS학회 논문지
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• 제7권5호
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• pp.97-105
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• 2008

반도체 공정의 미세화 및 마이크로 시스템 기술의 발전 그리고 소형 무선PAN 및 이동통신 장치들의 급증으로 인하여 전자부품들의 소형화와 직접화에 대한 요구가 지속적으로 증가되고 있다. 본 연구에서는 휴대형 무선PAN 및 이동통신용 전자회로 설계에 다양한 목적으로 널리 사용되고 있는 기저대역의 수동소자들 중 미세 커패시터의 안정성과 전기적 특성을 확보하기 위하여, 유전체인 AIN을 사용하여 MIM구조로 제작된 미세 박막 커패시터 소자의 전기적인 특성을 분석하고 기저대역에서의 성능을 평가한다. 또한 제작된 미세 박막형 커패시터의 용량제어 방법을 제시함으로서 기저대역에서 범용으로 사용할 수 있는 미세 박막 커패시터의 모델을 제시하고자 한다. 또한, 주파수 대역에 따른 MIM구조의 AIN 커패시터 특성을 분석함으로서 향후 임베디드 소자와 집적화를 위한 고정밀의 미세수동 소자로서의 활용방안을 제시하고자한다.

• 한국소성가공학회:학술대회논문집
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• 한국소성가공학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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• pp.57-61
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• 2009

In recently industry, with the miniaturization and high-precision of machine part, the development of mold manufacturing technology for mass production is accompanied by the development of new industrial field such as IT, NT and BT. The metal injection molding(MIM) process combines the well-known thermoplastic injection and powder metallurgy technologies to manufacture small parts for IT, NT, BT industrial. In this study, the bar type MIM mold with a 800um thickness is made for influence of feedstock material and injection parameter through an experiment.