• 제목/요약/키워드: mechanical device

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웨이퍼 레벨 공정이 가능한 2축 수직 콤 구동 방식 마이크로미러 (Wafer-Level Fabrication of a Two-Axis Micromirror Driven by the Vertical Comb Drive)

  • 김민수;유병욱;진주영;전진아;;박재형;김용권
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2007년도 Techno-Fair 및 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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    • pp.148-149
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    • 2007
  • We present the design and fabrication prcoess of a two-axis tilting micromirror device driven by the electrostatic vertical comb actuator. A high aspect-ratio comb actuator is fabricated by multiple DRIE process in order to achieve large scan angle. The proposed fabrication process enables a mirror to be fabricated on the wafer-scale. By bonding a double-side polished (DSP) wafer and a silicon-on-insulator (SOI) wafer together, all actuators on the wafer are completely hidden under the reflectors. Nickel lines are embedded on a Pyrex wafer for the electrical access to numerous electrodes of mirrors. An anodic bonding step is implemented to contact electrical lines with ail electrodes on the wafer at a time. The mechanical angle of a fabricated mirror has been measured to be 1.9 degree and 1.6 degree, respectively, in the two orthogonal axes under driving voltages of 100 V. Also, a $8{\times}8$ array of micromirrors with high fill-factor of 70 % is fabricated by the same fabrication process.

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더블 브레이디드 로프를 이용한 지중 케이블 포설시 견인 데이터 수집 장치 설계 (Traction device designed to collect data on underground cabling with threaded rope double braided)

  • 이배규
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제19권7호
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    • pp.1623-1629
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    • 2015
  • 대단위 아파트나 공장 또는 주택 및 상가들이 증가함으로 인해, 전기실로부터 연결되는 케이블의 길이가 늘어나게 되고, 전력의 소모도 증가하게 되어 케이블의 두께 또한 점차 굵어지는 추세이다. 이에 본 논문에서는 이러한 케이블을 포설하고자 하는 지하의 관로 내에 더블 브레이디드 로프를 삽입하여 케이블을 설치하고, 포설시 케이블의 장력, 거리 및 속도 등의 다양한 종류의 데이터를 안정적으로 수집 할 수 있는 프로그램을 설계하고, 이를 하드웨어제작을 통해 샘플 데이터를 취득 하였다. 이를 통해 기존의 기계식 포설 장비 대비 작업인원의 대폭감소와 작업시간의 단축을 확인하였으며, 또한 정확한 작업 데이터를 확보하여 사후 관리 및 평가에 활용하므로 인해 신뢰도를 향상하는 등의 성과를 확인하였다.

티타늄 박막을 이용한 자동차 타이어 압력센서 (Automotive Tire Pressure Sensors with Titanium Membrane)

  • 채수
    • 실천공학교육논문지
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    • 제6권2호
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    • pp.105-110
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    • 2014
  • 본 연구에서는 강한 내구성을 지닌 자동차 타이어용 압력센서를 개발하기 위해 박막 물질로서 적용될 티타늄 멤브레인의 기계적 특성이 연구되었다. 제작공정으로 기존의 마이크로 머시닝공정과 적층 공정기술이 동시에 적용되었으며, 티타늄 멤브레인 기반의 압력 센서가 설계, 제조 및 특성화 되었다. 마이크로 머시닝 공정을 통한 티타늄 멤브레인과 기판의 접합 제조과정은 30분 동안의 20 MPa의 압력과 $200^{\circ}C$의 온도과정 후 $24^{\circ}C$에서의 냉각으로 진행된다. 각각의 압력센서 표면은 니켈 도금된 후방전극이 기판 위에 마이크로 소자로 조립되었다. 제작과정에서 발생한 잔류응력을 예측하기 위해 유한요소 해석이 적용되었다. 또한 티타늄 멤브레인의 외부 압력하에서 변형에 의한 처짐이 계산되었다. 제작된 장치의 민감도는 $10.15ppm\;kPa^{-1}$ 였고 이때의 정전용량 변화량은 0.18 pF, 압력 범위는 0-210 kPa 였다.

다중 3차원 거리정보 데이타의 자동 정합 방법 (Automatic Registration Method for Multiple 3D Range Data Sets)

  • 김상훈;조청운;홍현기
    • 한국정보과학회논문지:소프트웨어및응용
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    • 제30권12호
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    • pp.1239-1246
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    • 2003
  • 대상 물체의 3차원 모델을 구축하기 위해서는 여러 시점에서 측정된 거리정보 데이타들을 하나의 좌표계로 통합하는 정합(registration) 과정이 필수적이다. 3차원 데이타의 정합을 위해 가장 널리 사용되는 ICP(Iterative Closest Point) 알고리즘은 거리정보 데이타 간에 겹치는 영역 또는 일치점 등에 대한 사전 정보가 필요하다. 본 논문에서는 임의의 시점에서 측정된 데이타를 반복적인 방법에 의해 자동으로 정합하는 개선된 ICP 방법이 제안된다. 3차원 데이타가 거리정보 영상으로 맺히는 관계를 나타내는 센서 사영조건(projection constraint), 데이타의 공분산(covariance) 행렬, 교차(cross) 사영 등을 이용하여 정합과정을 자동화하였으며, 유저의 개입이나 3차원 기계 보조 장치 등을 사용하는 별도의 초기값 측정 없이 3차원 모델을 정확하게 구성할 수 있다. 다양한 거리정보 데이타에 대한 실험을 통해 제안된 방법의 우수한 성능을 확인하였다.

속빈 PC 슬래브와 채널을 사용한 매입형 합성보의 휨 거동 (Flexural Behaviour of Encased Composite Beam with Precast Hollow Core Slabs and Channels)

  • 허병욱;곽명근;배규웅
    • 한국강구조학회 논문집
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    • 제20권4호
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    • pp.493-504
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    • 2008
  • 본 연구는 속빈 PC 슬래브와 채널을 사용한 매입형 합성보의 휨거동에 관한 것이다. 철골보와 PC슬래브의 경계면에 발생하는 전단력은 채널에 의해서 전달된다. 철골보의 춤에 따라서 총 3개의 실대형 실험체를 제작하여 실험을 수행하였으며 기존에 수행된 전단접합 방식과 비교검토를 수행하였다. 채널 용접형 매입형 합성보의 실험결과, 별도의 전단연결재를 설치하지 않아도 자체가 가지고 있는 기계적․화학적 부착응력으로 인해 완전합성보에 가까운 거동을 나타내었다. 또한, 기존의 합성보의 거동과 같이 탄성구간, 항복구간, 매우 큰 연성, 휨파괴모드(소성힌지), 경계면에서의 매우 낮은 상대슬립 및 연성적인 파괴거동을 나타내었다. 따라서 제안된 전단연결 방식의 경우, 실제 건물에 적용시 규준에서 요구하는 구조적 성능을 만족할 수 있는 것으로 나타났다.

내열성 전자기 노이즈 흡수 폴리(아미드-이미드)/연자성체 복합체 필름 (Heat Resistant Electromagnetic Noise Absorber Films Using Poly(amide imide)/Soft Magnet Composite)

  • 한지은;전병국;구본재;조승현;김성훈;이경섭;박연흠;이준영
    • 폴리머
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    • 제33권1호
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    • pp.91-95
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    • 2009
  • 폴리(아미드-이미드)와 연자성체의 블렌딩에 의해 고온에서 이용 가능한 내열성 전자기 노이즈 흡수용 필름을 제조하였다. N,N-디메틸아세트아미드에 폴리(아미드 아믹 산)을 용해시킨 후 연자성체 파우더를 혼합하고 이용액을 유리 기판에 캐스팅한 뒤 열을 가하여 이미드화하는 방법으로 전자기 노이즈 흡수 필름을 제조하였다. 제조된 필름의 열적 특성, 열 안정성 및 기계적 성질을 분석하고 마이크로 스트립 라인 법에 의해 전자기 흡수력을 측정하였는데,1 GHz에서 150 ${\mu}m$두께의 복합체 필름의 전력손실(power loss)은 약 25%였다.

Optimized Decomposition of Ammonia Borane for Controlled Synthesis of Hexagonal Boron Nitride Using Chemical Vapor Deposition

  • Han, Jaehyu;Kwon, Heemin;Yeo, Jong-Souk
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.285-285
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    • 2013
  • Recently, hexagonal boron nitride (h-BN), which is III-V compound of boron and nitride by strong covalent sp2 bonds has gained great interests as a 2 dimensional insulating material since it has honeycomb structure with like graphene with very small lattice mismatch (1.7%). Unlike graphene that is semi-metallic, h-BN has large band gap up to 6 eV while providing outstanding properties such as high thermal conductivity, mechanical strength, and good chemical stability. Because of these excellent properties, hBN can potentially be used for variety of applications such as dielectric layer, deep UV optoelectronic device, and protective transparent substrate. Low pressure and atmospheric pressure chemical vapor deposition (LPCVD and APCVD) methods have been investigated to synthesize h-BN by using ammonia borane as a precursor. Ammonia borane decomposes to polyiminoborane (BHNH), hydrogen, and borazine. The produced borazine gas is a key material that is a used for the synthesis of h-BN, therefore controlling the condition of decomposed products from ammonia borane is very important. In this paper, we optimize the decomposition of ammonia borane by investigating temperature, amount of precursor, and other parameters to fabricate high quality monolayer h-BN. Synthesized h-BN is characterized by Raman spectroscopy and its absorbance is measured with UV spectrophotometer. Topological variations of the samples are analyzed by atomic force microscopy. Scanning electron microscopy and Scanning transmission Electron microscopy are used for imaging and analysis of structures and surface morphologies.

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체중지지를 위한 레일형 보행 재활 시스템 구조 해석 (Structural Analysis of the Gait Rehabilitation System of a Rail Type for Body-Weight Support Function)

  • 김재준;김경;서영수;김재원;김제남;정우석;유창호;권대규;송원경
    • 한국정밀공학회지
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    • 제33권9호
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    • pp.761-768
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    • 2016
  • Weight bearing is effective during rehabilitation of gait, in the elderly and disabled people. Various training devices using weight bearing function were developed along with treadmill walking; however, no device has been developed in conjunction to walking on the ground. Here, we designed a rail type frame of a gait rehabilitation system for body-weight support (BWS) function, and analyzed its mechanical safety in the static weight bearing condition of a vertical axis. Computational simulations were performed to analyze structure of the driving parts, which are connected with a rail and driving rollers and the lower plate of the BWS. Structural analyses showed the drivers and BWS were safe, when simulated at 135kg weight under static conditions. Thus, this rail type rehabilitation system can be used for gait training of the elderly and disabled.

Phased Array트랜스듀서에 있어서 구성 압전소자수의 변화에 따른 초음파 빔 전파 특성의 수치 해석 (Numerical Analysis of Ultrasonic Beam Profile Due to the Change of the Number of Piezoelectric Elements for Phased Array Transducer)

  • 최상우;이준현
    • 비파괴검사학회지
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    • 제19권3호
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    • pp.207-216
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    • 1999
  • 일반적인 하나 또는 두개의 압전소자를 사용하는 트랜스듀서에 비하여 다수의 압전소자를 사용하는 어레이 트랜스듀서는 각 압전소자에 가해지는 펄스의 지연시간을 제어함으로써 초음파 빔을 임의의 지점에 집속시킬 수 있고 기계적 구동없이 임의의 방향으로 조향시켜 실시간 주사를 할 수 있는 장점이 있다. 페이즈드 어레이 트랜스듀서의 설계조건은 압전소자의 수. 압전소자의 크기 그리고 압전소자 사이 간격 등 여러가지가 있으며, 본 연구에서는 그 중에서 압전소자수의 변화에 따른 초음파 빔의 특성을 호이겐스의 원리를 이용한 수평횡파의 시뮬레이션을 통하여 평가하였다. 그 결과 초음파 빔은 조향각이 증가 할수륵 음압이 감소하며, 초음파 빔 특성도 점차적으로 분산됨을 알 수 있었고 또한, 초점거리가 증가할수록 초점에서의 집속효과는 감소하고, 압전소자의 수가 증가되면 집속효과는 향상됨을 알 수 있었다.

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캠구동 방식을 적용한 자동차 공조시스템용 전자팽창밸브의 성능에 관한 연구 (Studies on the Performance of a Cam Driving Electronic Expansion Valve for Vehicles)

  • 김성철
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제17권9호
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    • pp.732-736
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    • 2016
  • 공조시스템을 구성하는 핵심 부품들의 설계 방향은 효율 향상 및 고생산성 측면을 둘 다 고려하는 것이다. 이러한 핵심부품 중의 하나인 팽창장치는 증발 부하, 압축 용량 및 응축 능력에 따라 냉매의 유량을 조절한다. 본 연구에서는 자동차용 공조시스템을 대상으로 하여 현 냉매인 R134a와 더불어 향후 대체냉매의 하나인 고압 $CO_2$의 사용이 가능한 겸용 전자팽창밸브가 개발되었다. 이 전자팽창밸브는 저 비용 및 고 생산성을 위해 기존 방식과는 달리 편심형 캠구동 방식이 채택되었다. 고안된 설계안을 바탕으로 수치해석을 이용하여 고압 조건에서의 내압성능과 밸브 개도에 따른 유량성능을 각각 평가하였다. 최대작동 압력 조건에서 98MPa의 최대응력을 보이며 탄성영역 이내의 변형을 나타내었다. 파괴압력 조건에서는 233 MPa의 최대응력을 보여 소성변형이 일어나지만 파괴가 일어나지 않는 것으로 예측되었다. 밸브 개도에 따라 유량이 증가하며, $CO_2$ 냉매와 R134a 냉매 적용시 각각 550 kg/h, 386 kg/h의 최대 유량을 나타내었다. 또한 R134a에 대한 내압 및 유량성능실험은 해석결과와 비교적 잘 일치함을 알 수 있었다.