본 연구에서는 RF Magnetron Sputtering System을 이용하여 ZnO계 투명전도막 증착시 Vaporization된 MeOH를 유입함으로써 박막증착과 동시에 표면의 Roughness를 제어하여 이에따른 전기적 특성 및 광학적 특성의 개선에 대하여 연구하였다. 실험방법으로 기존의 RF Magnetron Sputtering System에 Vaporization이 가능한 Ultrasonic을 이용하여 MeOH를 Vaporized시켜 MFC Controll을 통해 챔버에 유입하여 ZnO계 투명전도막의 박막증착과 동시에 표면 Texturing을 하였다. ZnO계 투명전도막의 박막증착시 Vaporized MeOH의 유입에 따른 광학적 특성변화를 UV-visible-nIR spectrometry로 조사하였으며, 전기적 특성 변화를 4-Point-Probe로 조사하였으며, 표면적 특성 변화를 Atomic Force Microscope(AFM), Scanning Electron Microscopy(SEM)를 조사하였으며, 박막의 결정성장특성 변화를 X-ray Diffraction(XRD)으로 조사하였으며, Vaporized MeOH 유입에 따른 박막의 성분분석을 Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)로 조사함으로써 최적의 조건 및 공정을 확립하였다.
We prepared Cu oxides, and Ni and Pd-TiO2@SiO2 core-shellnanostructures, and tested their CO oxidation performances by temperature-programmed mass spectrometry. We found the starting temperatures of CO oxidation are around $200^{\circ}C$ and $300^{\circ}C$ for Ni and Pd-TiO2@SiO2 nanostructures, respectively. Cu oxides are cubes with 50~200 nm with, prepared with different concentrations of NaOH and ascorbic acid. For the core-shell structures, we prepared 100 nm SiO2 spheres, first coated the surface with TiO2 precursor, and then coated with Ni and Pd. Their characteristics are further examined by scanning electron microscopy, optical microscope, FT-IR, and UV-Vis absorption spectroscopy.
A 63-year-old female complained of left frontal headache and swelling for several months. Physical examination revealed left supraorbital soft, nontender, nonpulsatile mass without bruit. The left eye was displaced downward with respect to the normal right globe. Based on the clinical and radiological findings, the patient was diagnosed as a mucocele arising from the left frontal sinus. The patient underwent a transcranial approach through coronal incision. In this patient, large portions of the anterior and posterior frontal sinus walls were destroyed in association with epidural spread, so we performed cranialization of the frontal sinus and removed the mucosal wall with the aid of a microscope. With a brief review we present a patient with mucocele of the frontal sinus extending into the intracranial and intraorbital region, which was successfully treated by a transcranial approach.
A 65-year-old woman presented with a history of severe lower back pain on forward-flexion for 2 months duration. Magnetic resonance Imaging revealed a high signal mass with a tail on T1-weighted images at the L3 level. A total surgical resection was performed via a posterior approach with the aid of a microscope. Histopathological examination of the tumor revealed two pathological components : lipoma and myxopapillary ependymoma. The presence of dual histological components in one spinal cord tumor is rare. There are no prior reports of both types of cells [adipose and ependymal] grown simultaneously in a single tumor of the filum terminale in the medical literature. We report a unique case of the co-existence of lipoma and myxopapillary ependymoma within the same tumor located at the filum terminale and review related literature.
한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.I
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pp.496-498
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2005
We reported that high dielectric hafnium oxide nano-film deposited by thermal atomic layer deposition on the poly-silicon film (poly-Si). The poly -Si film was produced by plasma enhanced chemical vapor deposition and excimer laser annealing. We used the hafniu m chloride ($HfCl_4$) and water as the precursors and analyzed the hafnium oxide film by transmission electron microscope and secondary ion mass spectrometer. Hafnium oxide produced by the ALD method showed very good coverage on the rough surface of poly-Si film. While deposited with 200 cycles, these hafnium oxide films revealed a relatively smooth surface and good uniformity, but the cumulative roughness produced by the incomplete reaction was apparent when the amount of deposition cycle increased to 600 cycles.
We studied effects of the 11-Mercaptoundecylphosphoric-acid layer formation on gold surfaces that have the interactions with the titanium dioxide surface for design of gold- titanium dioxide distribution. The atomic force microscope (AFM) was used to measure forces between the surfaces as a function of the salt concentration and pH value. The forces were analyzed with the DLVO (Derjaguin-Landau-Verwey-Overbeek) theory, to evaluate the potential and charge density of the surfaces quantitatively for each salt concentration and each pH value. The interpretation for the evaluation was performed with the law of mass action and the ionizable groups on the surface.
한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권1호
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pp.845-848
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2007
Analysis of point defects invisible by a microscope has been studied on the a-Si thin film transistor panel. The point defects which were named Invisible Point Defect (IPD) is characterized by no particles or distortion of patterns on a pixel structure and randomly distributed on panels. To investigate the IPD, measurements were carried out: gray level driving, transistor transfer characteristic, focused ion beam (FIB), and secondary ion mass spectrometry (SIMS). The results showed that a contamination layer had a bad influence on an active surface. The contamination layer consisted of oxygen and iron from a water supply line during cleaning process. After the process tuning, IPD has been stabilized.
The present report presents a case of dens invaginatus (DI) in a patient with 4 maxillary incisors. A 24-year-old female complained of swelling of the maxillary left anterior region and discoloration of the maxillary left anterior tooth. The maxillary left lateral incisor (tooth #22) showed pulp necrosis and a chronic apical abscess, and a periapical X-ray demonstrated DI on bilateral maxillary central and lateral incisors. All teeth responded to a vitality test, except tooth #22. The anatomic form of tooth #22 was similar to that of tooth #12, and both teeth had lingual pits. In addition, panoramic and periapical X-rays demonstrated root canal calcification, such as pulp stones, in the maxillary canines, first and second premolars, and the mandibular incisors, canines, and first premolars bilaterally. The patient underwent root canal treatment of tooth #22 and non-vital tooth bleaching. After a temporary filling material was removed, the invaginated mass was removed using ultrasonic tips under an operating microscope. The working length was established, and the root canal was enlarged up to #50 apical size and obturated with gutta-percha and AH 26 sealer using the continuous wave of condensation technique. Finally, non-vital bleaching was performed, and the access cavity was filled with composite resin.
In the present study, ${\beta}$-glucanase-assisted extraction of starch from glutinous barley(Hinchal ssalbory) was investigated. ${\beta}$-glucanase was added to a coarse starch suspension obtained after wet milling in the starch extraction process. It was found that in the isolated starch with enzyme treatment, protein content was lower by 0.03%, compared to that with non-enzyme treatment. More importantly it was observed that the extraction yield of starch from enzyme treatment was found to be about 12% higher than the one from non-enzyme treatment (enzyme treated: 90.56%, non-enzyme treated: 78.46%). In order to elucidate this finding, the mass-balance determination of starch in each extraction step was carried out and found that the enzyme treatment might influence on the insoluble residues(R3 and R4 fractions) to hydrolyze ${\beta}$-glucan and other materials (e.g., mucilages etc.), thereby facilitated the separation of starch from it and a next filtration process. With a phase-contrast microscope it was observed that the isolated starch with enzyme treatment contained small starch granules more than the one with non-enzyme treatment and this might result in higher extraction yield observed with the former. In order to confirm this hypothesis, further experiments would be necessary.
As and BF$_2$dopants are implanted for the formation of source/drain with dose of 1${\times}$10$^{15}$ ions/$\textrm{cm}^2$∼5${\times}$10$^{15}$ ions/$\textrm{cm}^2$ then formed cobalt disilicide with Co/Ti deposition and doubly rapid thermal annealing. Appropriate ion implantation and cobalt salicide process are employed to meet the sub-0.13 $\mu\textrm{m}$ CMOS devices. We investigated the process results of sheet resistance, dopant redistribution, and surface-interface microstructure with a four-point probe, a secondary ion mass spectroscope(SIMS), a scanning probe microscope (SPM), and a cross sectional transmission electron microscope(TEM), respectively. Sheet resistance increased to 8%∼12% as dose increased in $CoSi_2$$n^{+}$ and $CoSi_2$$p^{V}$ , while sheet resistance uniformity showed very little variation. SIMS depth profiling revealed that the diffusion of As and B was enhanced as dose increased in $CoSi_2$$n^{+}$ and $CoSi_2$$p^{+}$ . The surface roughness of root mean square(RMS) values measured by a SPM decreased as dose increased in $CoSi_2$$n^{+}$ , while little variation was observed in $CoSi_2$$p^{+}$ . Cross sectional TEM images showed that the spikes of 30 nm∼50 nm-depth were formed at the interfaces of $CoSi_2$$n^{+}$ / and $CoSi_2$/$p^{+}$, which indicate the possible leakage current source. Our result implied that Co/Ti cobalt salicide was compatible with high dose sub-0.13$\mu\textrm{m}$ process.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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