• 한국진공학회지
• /
• 제17권4호
• /
• pp.302-310
• /
• 2008

진공 챔버 내부에서 열접촉된 시료가열장치와 시료 사이의 열전달 현상을 고찰하였다. 열전달은 가스 유량과 기체 압력에 따른 대류현상, 시료와 접촉하는 기판가열장치의 표면 거칠기 및 접촉압력에 따른 전도현상, 기판가열장치의 표면 방사율에 따른 복사현상으로 나누어 푸리에 식과 슈테판-볼츠만 식을 이용하여 열흐름 값을 분석하였다. 실험은 시료가열장치의 온도를 $100\;-\;500^{\circ}C$ 사이에서 일정하게 유지하면서 300 mTorr - 1 Torr 사이의 압력에 따른 시료의 온도를 측정하고, 푸리에 식과 슈테판-볼츠만 식을 이용하여 열흐름 값을 계산하였다. 열흐름 값의 산출에 사용된 푸리에 계수의 정확성을 확인하기 위해, 역으로 열흐름 값으로부터 온도차를 구하는 방법을 사용하였으며 0.33 % 오차 내에서 재현됨을 확인하였다.

• 한국진공학회지
• /
• 제12권S1호
• /
• pp.83-87
• /
• 2003

Zirconium oxide films have been synthesized by radio-frequency magnetron sputtering deposition on n-Si(001) substrate with metal zirconium target at variant $O_2$ partial pressures. The influences of $O_2$ partial pressures of the morphology, deposition rate, microstructure, and the dielectric constant of $ZrO_2$ have been discussed. The results show that deposition rate of $ZrO_2$ films decreases, the roughness, and the thickness of the native $SiO_2$ interlayer increases with the increase of $O_2$ partial pressure. $ZrO_2$ films synthesized at low $O_2$ partial pressure are amorphous and monoclinic polycrystalline in nanometer scale at low $O_2$ partial pressure. The relative dielectrics of $ZrO_2$ films are in the range of 12 to 25.

• 한국진공학회지
• /
• 제15권2호
• /
• pp.117-138
• /
• 2006

지표면에서 플라즈마는 전기방전에 의하여 만들어낸다. 그래서 대부분의 플라즈마 발생은 1백만분의 1기압보다 더 낮은 기압에서 발생하고 있었다. 그러나 많은 플라즈마 응용은 고기압에서 발생한 플라즈마를 요구하고 있다. 진공펌프와 같은 고가의 장비를 피하기 위하여 과학자들은 1기압이나 그이상의 압력에서 플라즈마를 발생하는 연구를 하기 시작했다. 많은 량의 제료 공정, 환경보호와 개선, 그리고 고효율 에너지 창출과 이용 등의 분야에 플라즈마를 사용할 때에는 오직 더 많은 량의 플라즈마를 더욱 값싸게 만들 때에만 가능한 것이다. 우리는 따라서 고기압에서 플라즈마를 만들어내는 새로운 방법을 개발하고 이러한 플라즈마가 21세기 산업에 적용될 수 있는 새로운 기반을 구축하는 연구를 수행하고 있다. 이러한 기술은 미래의 재료 공정이나, 환경 그리고 에너지 분야에 지대한 영향을 미칠 것으로 생각한다.

• 전기의세계
• /
• 제29권8호
• /
• pp.519-523
• /
• 1980

The traditional mechanical manometer is improved to develop more convenient and precise manometer in continuous measurement of the gas pressure in medium-low vacuum range (1x10$^{-1}$ -10 Torr.) Glass (solid) is used as a detector material of the improved manometer. Using the strain gauge adhered to thin glass board, mechanical strain corresponding to variation of pressure in measurement system is converted into quantity of electricity, and the quantity of electricity is amplified. Experiments have also shown that the improved manometer have more advantages in reproducibility, measured sensibility, and responsible velocity than taditional one.

• 한국표면공학회지
• /
• 제34권5호
• /
• pp.367-377
• /
• 2001

Plasma is generated by electrical discharge. Most plasma generation has been carried out at low-pressure gas typically less than one millionth of atmospheric pressure. Plasmas are in general generated from impact ionization of neutral gas molecules by accelerated electrons. The energy gain of electrons accelerated in an electrical field is proportional to the mean free path. Electrons gain more energy at low-pressure gas and generate plasma easily by ionization of neutrals, because the mean free path is longer. For this reason conventional plasma generation is carried out at low pressures. However, many practical applications require plasmas at high-pressure. In order to avoid the requirement for vacuum pumps, researchers in Korea start to develop plasmas in high-pressure chambers where the pressure is 1 atmosphere or greater. Material processing, environmental protection/restoration and improved energy production efficiency using plasmas are only possible for inexpensive bulk plasmas. We thus generate plasmas by new methods and plan to set foundations for new plasma technologies for $21^{st}$ / century industries. This technological research will play a central role in material processing, environmental and energy production industries.

• 한국진공학회지
• /
• 제4권4호
• /
• pp.394-401
• /
• 1995

• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 1997년도 제13회 학술발표회 논문개요집
• /
• pp.35-35
• /
• 1997

• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 2009년도 제36회 동계학술대회 초록집
• /
• pp.126.2-126.2
• /
• 2009

• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 1996년도 제11회 학술발표회 논문개요집
• /
• pp.151-151
• /
• 1996

• 대한기계학회논문집B
• /
• 제24권10호
• /
• pp.1359-1367
• /
• 2000

In-situ particle monitors(ISPMs) are widely used for monitoring contaminant particles in vacuum-based semiconductor manufacturing equipment. In the present research, the performance of a Particle Measuring Systems(PMS) Vaculaz-2 ISPM at low pressures has been studied. We generated the uniform sized methylene blue particle beams using three identical aerodynamic lenses in the center of the vacuum line, and measured the detection efficiency of the ISPM. The effects of particle size, particle concentration, mass flow rate, system pressure, and arrangement of aerodynamic lenses on the detection efficiency of the ISPM were examined. Results show that the detection efficiency of the ISPM greatly depends on the mass flow rate, and the particle Stokes number. We also found that the optimum Stokes number ranges from 0.4 to 1.9 for the experimental conditions.