Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)
- Volume 4 Issue 4
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- Pages.394-401
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- 1995
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- 1225-8822(pISSN)
Effects of Substrate Temperature and $PH_3$ /TMIn Ratio on the Properties of InP Epitaxial Layers Grown by Low Pressure metalorganic Chemical Vapor Deposition
저압 유기금속 화학증착법을 이용한 InP 에피성장에 대한 기판의 온도와 $PH_3$ /TMIn 비의 영향
Abstract
Keywords