• 제목/요약/키워드: low aspect ratio

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답토양(沓土壤)의 가리(加里) Activity ratio와 수도(水稻)의 가리(加里) 흡수(吸收) 특성(特性)에 관(關)한 연구 (Study on the relationship between the potassium activity ratio of paddy soils and potassium uptake by rice plant)

  • 김태순
    • 한국토양비료학회지
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    • 제9권4호
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    • pp.223-233
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    • 1976
  • 7종(種)의 답(畓) 토양(土壤)에 대한 가리(加里) 평형(平衡) activity ratio와 exchange energy를 측정(測定)하고 이들 값은 치환성(置換性) 가리(加里), 수도체(水稻體)의 가리(加里) 흡수량(吸收量)과 어떤 관계(關係)가 있는지 구명(究明)해 보았다. 그 결과(結果) 1. 토양(土壤)의 배수(排水), 투수성(透水性)이 양호(良好)한 본실험(本實驗) 조건하(條件下)에서 최고(最高) 분얼기(分蘖期), 출수기(出穗期), 수확기(收穫期) 토양(土壤)의 가리(加里) 평형(平衡) activity ratio는 그때 수도체(水稻體)가 흡수(吸收)한 가리(加里)와 또 최고(最高) 분얼기(分蘖期) 토양(土壤)의 치환성(置換性) 가리(加里)와 유의차(有意差) 1% 수준(水準)에서 고도(高度)의 상관(相關)이 있다. 가리(加里) 평형(平衡) activity ratio가 크면 가리(加里) 흡수(吸收)도 많아지고 그것이 작으면 흡수(吸收)되는 가리(加里)도 적다. 따라서 수도체(水稻體)의 가리(加里) 흡수(吸收)는 가리(加里) 평형(平衡) activity ratio 또는 가리(加里) 치환(置換) 방출(放出)에 관여(關與)한 exchange energy의 다소(多少)에 의(依)해서 다스려 진다고 본다. 2. 수도체(水稻體)의 가리(加里) 흡수량(吸收量)과 수도(水稻) 수량(收量)을 토양(土壤)의 가리(加里) exchange energy 관점(觀點)에서 보면 -2500~-3000cal/equiv. 범위(範圍)에서 가리(加里) 흡수(吸收)와 수량(收量)이 많은 것으로 보아 토양(土壤) 중의 가리(加里)와 석회(石灰) 고토(苦土)가 서로 평균상태(均衡狀態)에 있기 때문이라고 본다. 3. exchange energy는 최고(最高) 분얼기(分蘖期) 토양(土壤)의 치환성(置換性) 가리(加里)와 1%수준(水準)에서 고도(高度)의 상관(相關) 관계(關係)가 있다. 토양(土壤) 가리(加里)와 석회(石灰) 고토(苦土)가 평형(均衡) 상태(狀態)에 있다고 보는 -2500~-3000cal/equiv. 에 상당(相當)하는 치환성(置換性) 가리(加里)를 회귀식(回歸式)(표(表)10)으로 부터 구(求)해 본 결과(結果)는 0.375~0.458m.e./100g건토(乾土)이다(산성(酸性) 토양(土壤)). 그런데 석회암(石灰岩) 토양(土壤)인 장성통(長城統)은 치환성(置換性) 가리(加里)가 0.3~0.5m.e./100g 건토(乾土)나 되는데도 이에 상당(相當)하는 exchange energy는 -3214~-3893cal/equiv이다. woodruff에 의(依)하면 이 energy 범위(範圍)의 토양(土壤)에서는 석회(石灰)는 과다(過多)하고 가리(加里)는 부족(不足)하다고 한다. 이것은 석회(石灰), 고토(苦土)가 산성(酸性) 토양(土壤)의 그것보다 3~5배가 더 많아서 가리(加里)와 불균형(不均衡) 상태(狀態)에 있기 때문이다. 따라서 토양(土壤)의 가리(加里) 방출(放出)은 가리량(加里量) 뿐만 아니라 석회(石灰), 고토량(苦土量)도 함께 비(比)를 취(取)해서 평가(評價)하는 가리평형(加里平衡) activity ratio 또는 exchange energy를 아는 것이 타당(妥當)하다고 본다. 4. 우리나라 답(畓) 토양(土壤)의 치환성(置換性) 가리(加里) 평균치(平均値)는 0.19m.e./100g로 알려져 있는데 이 값에 상당(相當)하는 exchange energy는 -4116cal/equiv. 이다. exchange energy가 -4000cal/equiv. 이하(以下)에서는 가리(加里) 흡수량(吸收量)이 훨씬 적다. 따라서 산성(酸性) 토양(土壤)에서 치환성(置換性) 가리(加里)는 0.37~0.45m.e./100g 건토(乾土)는 유지(維持)되어야 한다고 본다. 5. 토양(土壤)에의 가리(加里) 흡착(吸着) zeolite 시용(施用)은 가리(加里) 평형(平衡) activity ratio를 높여 준다. 수도체(水稻體)의 가리(加里) 흡수량(吸收量)과 수량(收量)을 보아도 대조구(對照區)의 그것들 보다 증가(增加)한다. 이것은 zeolite가 가리방출(加里放出)을 조절(調節)하기 때문이다. 토양(土壤)의 치환성(置換性) 가리(加里)를 0.37m.e./100g 건토(乾土) 이상(以上)을 유지(維持)시키는데는 가리흡착(加里吸着) zeolite(6.0% $K_2O$)를 167kg/10a 시용(施用)하니까 그 효과가 컸다.

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반자성 물질을 이용한 자기공명영상검사에서의 인공물 감소 (Reduction of Artifacts in Magnetic Resonance Imaging with Diamagnetic Substance)

  • 최우전;김동현
    • 한국방사선학회논문지
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    • 제13권4호
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    • pp.581-588
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    • 2019
  • 자기공명영상검사는 조직의 대조도 와 해상력이 우수하지만, 인공물이 발생 될 경우 진단에 영향을 주어 판독이 불가능한 영상을 생성하기도 한다. 치아에 삽입된 금속은 강자성체 또는 상자성체로 되어있는 경우가 대부분이며 자화율 차이로 인하여 기하학적 왜곡을 유발하여 영상진단에 저해되는 경우가 많으며 이를 저감시킬 필요가 있다. 이에 본 연구는 반자성 물질을 사용에 따른 금속 인공물 분석을 실시하고자 한다. 자성 물질로는 치아교정용 와이어와 브라켓인 스테인리스 스틸이 사용되었고 반자성 물질은 구리, 아연, 비스무트를 사용하였다. 검사장비는 1.5T, 3T가 사용되었으며 사용된 시퀀스는 SE, TSE, GE, EPI을 사용하여 측정하였다. 자체 제작된 팬텀을 물질은 균등한 신호를 위하여 아가로스 겔(10%)을 사용하였으며 인공물 유발 물질은 스테인리스 스틸은 팬텀의 정중앙에 위치시켜 검사하고 각 길이 10mm의 정 육면체 반자성 물질의 씌워 검사하였다. 인공물 측정은 Image J를 사용하여 순수한 팬텀 영상에서 자성물질을 포함한 영상을 감산하여 얻은 영상에서 Low Threshold 값을 10으로 설정 한 후 Wand tool을 사용하여 인공물 영역설정 후 면적을 구하였다. 스테인리스 스틸에서 발생한 금속 인공물은 반자성 물질 중 비스무트를 사용한 영상에서 금속 인공물이 가장 많이 감소하였으며 구리와 아연은 약간은 감소하지만, 그 정도의 차이는 크지 않다고 하겠다. 이러한 이유는 비스무트의 반자성 자화율이 가장 작아서 강자성체에서의 자화율을 가장 많이 상쇄하였기 때문이라고 생각된다. 1.5T 와 3T 모두에서 비스무트를 사용한 영상의 인공물이 가장 적게 나왔다. 시퀀스별 인공물 감소는 1.5T에서는 TSE에서 가장 많이 인공물이 감소하였으며 3T에서는 SE에서 가장 많은 인공물이 감소하였다. 따라서 반자성물질의 따른 인공물 변화의 결과는 자화율(${\chi}$)이 가장 낮은 비스무트를 사용한 영상에서 금속인공물이 기준인 Implant 인공물 보다 줄어든 양상을 보여 자화율이 낮은 물질일수록 금속 인공물이 줄어든다는 것을 알 수 있었으며, 기존 금속 인공물의 해결 방법의 단점으로 지적되어온 스캔 시간의 증가 등이 나타나지 않으면서도 인공물을 줄일 수 있는 방법으로 향후 치아 교정 물질뿐만 아니라 치아 보철물 전체에 대한 금속 인공물 저감에 관한 연구의 기초 자료로 사용될 것으로 사료된다.

재몰유선택적정황하공동특성대우고객희호적영향(在没有选择的情况下共同特性对于顾客喜好的影响): 조절초점적조절작용(调节焦点的调节作用) (The Effect of Common Features on Consumer Preference for a No-Choice Option: The Moderating Role of Regulatory Focus)

  • Park, Jong-Chul;Kim, Kyung-Jin
    • 마케팅과학연구
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    • 제20권1호
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    • pp.89-97
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    • 2010
  • 本文研究共同特性对于无选择权的影响, 并涉及到了调节焦点理论. 本文主要着眼于这三个因子以及他们之间的关系. 之前的研究已经广泛涉及到这三个方面. 第一, 共同特性影响已经被广为研究. Tversky (1972) 开创了这个理论, EBA 模型: 通过消除方面. 根据这个理论, 消费者在比较的过程中更易于注意特殊的特性, 而忽略共同特性. 最近, 更多的研究开始针对于此模型对于消费者行为的影响. Chernev (1997) 认为增加共同特性可以减少选择距离. 但是, 随后Chernev (2001) 的研究指出共同特性可能是消费者认知上的负担, 所以他们更喜欢启发式的过程而不是系统式的过程. 这些研究提出了一系列问题: 共同特性是否影响顾客选择? 如果是的话, 这些影响是什么样子的? 第二, 一些研究指出没有选择的状况是消费者最好的选择, 他们在犹豫不决时用这种方法回避选择. 其他关于这一理论的研究是时间的压力, 消费者自信, 以及可供选择的数量. 第三, 调节聚焦理论在目前非常流行. 消费者有两个焦点目标: 促进和制止. 促进聚焦主要和希望, 野心, 成功, 获得等有关; 而制止聚焦和责任, 职责, 安全, 规避等有关. 调节聚焦理论预测了顾客的感情, 创造, 态度, 记忆, 表现, 和判断. 而这些都是市场营销研究的领域这些文献为本文的研究提供了一些理论支持. 特别是增加共同特征而不是忽略他们可以增加选择过程中克制消费者的没有选择状况的比重, 其对于促进消费者的作用确实相反的. 本文通过两个试验进行验证. 第一个是2 X 2 组间的设计(共同特性X调节聚焦), 数码相机作为相关的客体. 特别的是, 调节聚焦变量是从11个问题中取得的. 共同特性包括焦距, 重量, 记忆卡, 电池, 而像素和价格作为独特特性. 结果证明了我们的假设, 那就是增加共同特性增加了克制消费者的无选择比重, 而对促进消费者没有作用. 第二个试验被用来复制第一个实验的结果. 这个实验和之前的基本相同, 只有两个方面不同—主要控制和研究客体. 在促进的前提下, 研究对象必须一些词例如: 利润, 野心, 高兴, 成功, 发展等. 在克制的前提下, 他们必学写下坚持, 安全, 保护, 规避, 损失, 责任等词. 实验证明我们假设是成立的. 本研究说明了共同特性对于顾客选择的二重效果. 增加共同特性可以提高或者降低无选择状况. 本文对于理论研究和实践上都有着贡献. 对于市场营销人员来说, 他们可能需要根据顾客的划分来考虑产品的共同特性. 理论上, 研究结果支持共同特性和无选择状况的调节变量. 最后, 本文也有一些不足, 例如过于强调态度的重要性等. 我们希望本文能够为未来的研究做出抛砖引玉的作用.

FDBM의 음원분리 성능평가 (Evaluation of a signal segregation by FDBM)

  • 이채봉
    • 한국전자통신학회논문지
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    • 제8권12호
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    • pp.1793-1802
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    • 2013
  • 음원분리 방법으로는 여러 가지가 제안되고 있으나 그 중에서도 주파수영역 두 귀 모델(Frequency Domain Binaural Model : FDBM)은 저 연산량과 울림 제거에 효과적이다. FDBM에 의한 두 귀 보청 시스템은 SNR이나 기여도 함수(Coherence function)에 의한 평가로 하기 때문에 인간의 청취특성을 고려하지 않고 있다. 본 논문에서는 음질의 문제 해결을 위하여 FDBM의 음원분리 성능평가를 하였다. SNR, 기여도 함수, PESQ의 세 가지 수법을 이용하여 기본 특성에 대하여 시뮬레이션을 통하여 확인하였다. 모든 결과가 FDBM에 의해 좌우 채널간 평가치의 차가 작게 되었고, 좌우 채널이 거의 같은 레벨까지 개선되었음을 확인하였다. 그리고 음원방향을 바꾸고 음원 수를 증가시킨 경우에도 일정한 개선이 보였다. SNR과 기여도 함수, PESQ의 결과를 비교하면 PESQ의 평가에서는 입력 SNR를 변동시킨 경우에도 거의 모든 조건에서 분리에 의한 평가가 개선되었다.

전기방사법으로 제조된 Ag 나노섬유의 투명전극 특성 (Characteristics of Electrospun Ag Nanofibers for Transparent Electrodes)

  • 현재영;최정미;박윤선;강지훈;석중현
    • 한국진공학회지
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    • 제22권3호
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    • pp.156-161
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    • 2013
  • 연속적인 1차원의 나노섬유를 제작하는데 빠르고 효과적인 방법인 전기방사법을 이용하여 Ag 나노섬유로 이루어진 투명전극을 제작하고 그 특성을 측정하였다. 전기방사를 통해 제조된 Ag 나노섬유는 큰 종횡비를 갖게 되며 열처리를 통해 생성된 섬유사이의 fused junction이 접촉저항을 낮추어 전기적 특성을 향상시킨다. Ag/고분자 용액을 졸-겔 방법을 이용하여 제조한 후 glass 기판위에 방사시켜 Ag/고분자 나노섬유 구조체를 제작하고 $200{\sim}500^{\circ}C$, 2시간 열처리하여 고분자가 일정부분 제거되고 전도성이 향상된 Ag 나노섬유 투명전극을 제조하였다. Ag 나노섬유의 모폴로지를 FE-SEM을 통해 확인하였고 Ag 나노섬유 투명전극의 투과도와 면저항을 UV-vis-NIR spectroscopy와 I-V특성 측정장치를 사용하여 측정하였다. 투과도 83%에서 면저항 $250{\Omega}/sq$의 투명전극을 제작하였으며 전도성필름에 적합한 수준이다. Ag 나노섬유로 이루어진 투명 전극은 전기적, 광학적, 기계적 특성이 우수하여 차세대 유연 디스플레이에 적용 가능성을 보여준다.

최근 8년간 구강암 환자에 대한 임상통계학적 연구 (A CLINICOSTATISTICAL ANALYSIS OF ORAL CANCER PATIENTS FOR RECENT 8 YEARS)

  • 김명윤;김진수;이상한;김진욱;장현중
    • Journal of the Korean Association of Oral and Maxillofacial Surgeons
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    • 제33권6호
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    • pp.660-668
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    • 2007
  • We investigated 248 patients who were diagnosed as malignant tumor in the department of Oral and maxillofacial Surgery of Kyungpook National University from 1999 to 2006, and following results were obtained. 1. Among 248 patients who have malignant tumor, 164 were men and 84 were women, which made the ratio of male to female 1.95:1. 2. The average age of oral cancer patients was 58.3. 3. As of the primary origin site, lower alveolus and gingiva were the greatest with 70 cases(28.2%), followed by tongue(l6.9%), upper alveolus and gingiva(14.9%), palate(13.7%), mouth floor(9.7%), buccal mucosa(4.8%), retromolar trigone(4.4%), Mx. & Mn. bone(3.2%) and lip(2.8%). 4. As of histologic distribution, squamous cell carcinoma was the greatest with 170 cases(68.6%), followed by sarcoma with 17 cases(6.9%), adenoid cystic carcinoma with 17 cases(6.9%), malignant lymphoma with 15 cases(6.0%), mucoepidermoid carcinoma with 13 cases(5.2%), metastatic carcinoma with 6 cases(2.4%) and malignant melanoma with 4 cases(1.6%). 5. Period between recognition of the symptom and the first visit to hospital was less than 3 months for 58.9% of the patients, and more than 3 months for 41% of the patients. 6. Investigation of whether the patients drink or smoke revealed that the number of non-smoking and non-drinking patients was 63 among 170 patients(37.0%) that were able to investigate. The number of patients who smoke only was 29(17.1%) and both drinking and smoking patients were 78(45.9%). 7. In clinical stage order, Stage IV(61.7%) was found th be the largest, followed by stage I(17.2%), stage II(13%) and stage III(7.8%). 8. The 5-year survival rate of the entire oral cancer patients appeared to be 57.7%. The survival rate was higher in younger group and women had higher survival rate but there was no statistical significance to this. In the aspect of stage, the survival rate was Stage I, Stage II, Stage IV and Stage III in decreasing order. The order according to T classification was the same. In N classification, patients with N0 had the highest survival rate and the survival rate decreased in the order of N1 and N2. Survival rate was especially low in patients with N2.

회전하는 외팔 사각판의 굽힘진동 해석 (Analysis of the Flexural Vibrations for the Rotating Cantilevered Rectangular Plates)

  • 이종민;이영신
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 1992년도 추계학술대회논문집; 반도아카데미, 20 Nov. 1992
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    • pp.59-64
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    • 1992
  • 터빈 블레이드와 같이 회전하는 구조물의 파단은 공진 근처에서 진동이 발 생할 때에 이에 기인하는 피로에 의하여 발생한다. 그러므로 이와 같은 파단 을 피하기 위해서는 설계 단계에서 이론적인 계산에 의하여 구조물의 고유 진동수를 결정하는 것이 상당히 중요하다. 판이 회전을 받게 되면 원심력에 의하여 판의 강성이 증가하므로 고유진동수가 회전하지 않는 판의 고유진동 수보다는 상당히 증가하게 된다. 이에 대한 연구가 국내외에서 상당수 행하 여졌지만, 연구의 대부분이 회전의 영향을 고려하지 않은 정지판(stationary plate)에 대한 것이며 뢰전을 고려한 연구는 극히 제한되어 있다. 또한 회전 의 영향을 고려한 연구의 대부분이 해석 대상을 보로서 단순화 시켰고 해법 으로는 유한요소법과 Ritz법 등을 사용하였다. 이는 블레이드가 지니고 있는 기하학적인 형상과 진동 특성이 해석적인 방법으로 해결하는 데에는 상당한 어려움이 있기 때문이다. 실제적으로는 터빈 블레이드와 같은 회전체의 진동 특성이 설치각이나 비틀림각, 판의 형상비, 회전속도 등의 변화에 의하여 영 향을 받기 때문에 보와 같은 진동 거동을 보이기보다는 판이나 셀과 같은 진동 거동을 보이므로 보다 정확한 해석을 수행하기 위해서는 해석 대상을 판이나 셀로서 취급하는 것이 타당하다. 따라서 본 연구에서는 위와 같은 이 유 때문에 해석 대상을 등방성 사각판과 직교이방성 복합재료 사각판으로 선택하였으며, 구조물의 고유진동수에 영향을 미치는 다음과 같은 인자들을 해석에 고려하였다. 1. 회전속도 (rotational speed) 2. 설치각 (setting angle) 3. 허브의 반경 (hub radius) 4. 판의 형상비 (aspect ratio) 5. 적층순서 (stacking sequence)구조물에 대한 동적실험(dynamic test)을 통하여 단기간에 동적특성을 결정하고 SDM(structure dynamic modification)이나 FRS(force response simulation)를 수행하여 임의의 좌표 공간에 대한 진동수준을 해석적으로 예측할 뿐만 아니라 구조물의 진동제어 를 위한 동적인자를 변경시킬 수 있는 정보를 제공하며 장비를 방진할 경우 신뢰성 있는 전달률을 결정할 수 있다. 실험적으로 철교, 교량이나 건물의 철골구조 및 2층 바닥 등 대,중형의 복잡한 구조물에 대항 동특성을 나타내 는 모빌리티를 결정할 경우 충격 가진 실험이 사용되는 실험장비 측면에서 나 실험을 수행하는 과정이 대체적으로 간편하다. 그러나 이 경우 대상 구조 물을 충분히 가진시킬수 있는 용량의 대형 충격기(large impact hammer)가 필요하게 된다. 이러한 동적실험은 약 길이 61m, 폭 16m의 4경간 교량에 대 하여 동적실험을 수행하여 가능성을 확인하였다. 여기서는 실험실 수준의 평 판모델을 제작하고 실제 현장에서 이루어질 수 있는 진동제어 구조물에 대 한 동적실험 및 FRS를 수행하는 과정과 동일하게 따름으로써 실제 발생할 수 있는 오차나 error를 실험실내의 차원에서 파악하여 진동원을 있는 구조 물에 대한 진동제어기술을 보유하고자 한다. 이용한 해마의 부피측정은 해마경화증 환자의 진단에 있어 육안적인 MR 진단이 어려운 제한된 경우에만 실제적 도움을 줄 수 있는 보조적인 방법으로 생각된다.ofile whereas relaxivity at high field is not affected by τS. On the other hand, the change in τV does not affect low field profile but stron

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직장내 탁아프로그램 개발을 위한 기초연구 - 영·유아를 중심으로 - (Infant and Toddler Group Care at the Mother's Work Place)

  • 지혜련
    • 아동학회지
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    • 제7권2호
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    • pp.1-15
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    • 1986
  • 한국은 급속도로 산업화해감에 따라서 점점 더 많은 어머니들이 가정 밖에서 일하고 있다. 이러한 경향은 앞으로 계속될 전망이며, 이에 따른 어머니 부재시의 영 유아 양육문제가 크게 대두되고 있다. 이 영(1986 a, 1986 b)의 연구에서 조사된 결과를 토대로 볼 때 자녀를 가진 여성의 취업율은 훨씬 높아질 것으로 전망되며, 이에 따라 자녀 관리문제에 대한 대안이 시급히 요청되고 있다. 그러나 현재 기존 제도하에 있는 시설로써는 취업모의 요구에는 물론 유아를 위한 프로그램의 기본적인 수준에도 미치지 못하고 있다. 따라서, 여성인력의 활용과 변화하는 가족 구조에 맞추기 위한 제도적인 대안 마련이 시급하다. 가정 외의 자녀 양육에 대해서는 다양한 선택의 여지를 둘 것이 권장되고 있으며(Beck, 1982), 국내에서도 대안책이 논의되어 왔는데(한국여성개발원, 1984), 본 논문에서는 특히 직장내 탁아소를 하나의 대안으로 제시했다. 여성 종사자가 많은 직장에서 부터 우선적으로 직장내 혹은 직장 근처에 탁아소를 설치함으로써 여성이 직장에 더욱 충실할 수 있고 능력을 마음껏 발휘할 수 있도록 함과 동시에 건전한 2세 교육에 이바지할 수 있으리라 본다. 특히, 3세 이하의 영 유아를 대상으로 하는 다양한 프로그램 개발이 절대적으로 시급한 현 시점에서 3세이하의 영 유아를 위한 직장내 탁아 프로그램 운영을 위한 대안적 모형을 제시하고자 했다. 대안적 모형 연구에서 취업모의 자녀양육지원제도에 관한 국제적 추세와 외국의 대표적인 모형에 관한 문헌조사를 통해 한국의 실정에 맞는 모형을 제시하였다. 취업모의 자녀양육을 지원하기 위한 시설과 제도에서 가장 중요시되어야 할 개념은 무엇보다도 질적 수준이다. 질적 수준에서는 인적 환경의 측면으로 교사의 자질, 교사(양육자)대 아동의 비율, 아동과 교사간의 상호작용의 질이 고려되었고, 물리적 환경 및 교육프로그램의 철학적 배경 및 건강 위생 측면이 가장 핵심적인 측면이 가장 핵심적인 측면으로서 고려되었다.

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New Ruthenium Complexes for Semiconductor Device Using Atomic Layer Deposition

  • Jung, Eun Ae;Han, Jeong Hwan;Park, Bo Keun;Jeon, Dong Ju;Kim, Chang Gyoun;Chung, Taek-Mo
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.363-363
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    • 2014
  • Ruthenium (Ru) has attractive material properties due to its promising characteristics such as a low resistivity ($7.1{\mu}{\Omega}{\cdot}cm$ in the bulk), a high work function of 4.7 eV, and feasibility for the dry etch process. These properties make Ru films appropriate for various applications in the state-of-art semiconductor device technologies. Thus, it has been widely investigated as an electrode for capacitor in the dynamic random access memory (DRAM), a metal gate for metal-oxide semiconductor field effect transistor (MOSFET), and a seed layer for Cu metallization. Due to the continuous shrinkage of microelectronic devices, better deposition processes for Ru thin films are critically required with excellent step coverages in high aspect ratio (AR) structures. In these respects, atomic layer deposition (ALD) is a viable solution for preparing Ru thin films because it enables atomic-scale control of the film thickness with excellent conformality. A recent investigation reported that the nucleation of ALD-Ru film was enhanced considerably by using a zero-valent metallorganic precursor, compared to the utilization of precursors with higher metal valences. In this study, we will present our research results on the synthesis and characterization of novel ruthenium complexes. The ruthenium compounds were easy synthesized by the reaction of ruthenium halide with appropriate organic ligands in protic solvent, and characterized by NMR, elemental analysis and thermogravimetric analysis. The molecular structures of the complexes were studied by single crystal diffraction. ALD of Ru film was demonstrated using the new Ru metallorganic precursor and O2 as the Ru source and reactant, respectively, at the deposition temperatures of $300-350^{\circ}C$. Self-limited reaction behavior was observed as increasing Ru precursor and O2 pulse time, suggesting that newly developed Ru precursor is applicable for ALD process. Detailed discussions on the chemical and structural properties of Ru thin films as well as its growth behavior using new Ru precursor will be also presented.

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S-Duct 입구 형상에 따른 유동 특성에 관한 연구 (A Study on Flow Characteristics of the Inlet Shape for the S-Duct)

  • 이지형;최현민;류민형;조진수
    • 한국항공우주학회지
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    • 제43권2호
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    • pp.109-117
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    • 2015
  • 덕트는 항공기의 내부엔진에 외부 공기를 흡입하기 위한 장치이다. 엔진 입구면의 레이더 반사량을 줄여 피탐지성을 감소시키기 위하여 S형태의 덕트를 가지게 되었다. S-Duct는 중심선의 곡률, 입구형상 등의 형상변수에 따라 엔진의 성능에 영향을 미친다. 본 연구에서는 RAE M 2129 S-Duct의 입구형상에 대하여 가로세로비의 변경에 따른 덕트 내부 유동에 대한 유동 특성을 알아보기 위해 전산해석을 수행하였다. S-Duct의 성능 평가 기준으로는 유동 왜곡계수를 사용하였다. 공력해석을 위해 상용해석 소프트웨어를 사용하였으며, 벽면에서의 역압력 구배의 영향으로 발생하는 유동박리와 2차 유동을 예측하기 위하여 $k-{\omega}SST$ 난류모델을 사용하였다. S-Duct의 Port side와 Starboard side 각각의 압력분포 값에 대하여 ARA의 실험값과 비교하여 본 연구에서 사용된 전산해석 기법의 타당성을 검증하였다. 해석 결과 모든 형상에 대하여 유동박리와 2차 유동이 발생하는 것을 확인하였다. 반원형 형태의 입구형상을 가지는 S-Duct가 뛰어난 성능을 보임을 확인하였다.