Magnetic Nanostructures Fabricated by Thermal Nanoimprint Lithography

• Luong, Chi-Hieu;Jeong, Jong-Ryul
• • 한국자기학회:학술대회 개요집
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  • 한국자기학회 2015년도 임시총회 및 하계학술연구발표회
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  • pp.137-137
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  • 2015
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UV 임프린트 리소그래피를 이용한 노트북용 초슬림 LGP 제작에 관한 연구 (A Study on the Process of using UV Imprint Lithography Ultra Slim LGP for Note PC)

• 김주현;김세덕;김광
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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  • pp.359-360
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  • 2009
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전자빔의 파라미터에 따른 노광특성 분석 (The Analysis of Exposure Characteristics according to the Parameters of E-Beam Lithography)

• 오승훈;김재구;최두선;조성학;정명영
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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  • pp.909-910
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  • 2009
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준 3 차원 나노급 형상가공을 위한 전자빔의 전압별 노광 특성 (E-beam Lithography Characteristics with Acceleration Voltage for Quasi-3D Nano-machining)

• 김재구;오승훈;조성학;정명영;최두선
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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  • pp.941-942
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  • 2008
• PDF

고분자스탬프를 이용한 전도성나노잉크 패터닝 (Conductive Nanoink patterning by Nanoimprint Lithography using polymer stamp)

• 김영자;장환수;배미숙;이재종
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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  • pp.577-578
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  • 2008
• PDF

FEM 을 이용한 나노임프린트 공정의 디몰딩 결함 연구 (Prediction of Demolding-defects in Nanoimprint Lithography Using FEM Simulation)

• 손지원;송남호;오수익
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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  • pp.607-608
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  • 2008
• PDF

Atomic Force Microscope Lithography를 이용한 선타입 옥사이드 구조물 패터닝 (Patterning Line Type Oxide Nanostructures using Atomic Force Microscope(AFM) Lithography)

• 김철웅;김태영
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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  • pp.33-34
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  • 2009
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전자빔의 독립 노광 방식을 이용한 마이크로 멀티레벨 렌즈 제작 (Fabrication of a Micro Multi-Level Lens Using the Independent-Exposure in Electron beam Lithography)

• 우도균;하네카즈히로;이선규
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집
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  • pp.185-186
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  • 2007
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FEM 기반 결함 분석을 이용한 나노임프린트 공정 연구 (Prediction of Defects in Nanoimpring Lithography Using FEM Simulation)

• 송남호;손지원;임성한;오수익
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집
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  • pp.673-674
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  • 2007
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Soft Lithography법을 이용한 고온 반응기용 3차원 구조의 다공성 SiC와 SiCN의 제조 (Fabrication of 3-dimensionally Interconnected Porous SiC and SiCN for High Temperature Micro-reactor via Soft Lithography)

• 성인경;;김동표
• • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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  • 한국세라믹학회 2003년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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  • pp.155.1-155
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  • 2003
• PDF

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