Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2008.06a
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Pages.607-608
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2008
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Prediction of Demolding-defects in Nanoimprint Lithography Using FEM Simulation

FEM 을 이용한 나노임프린트 공정의 디몰딩 결함 연구

손지원 (서울대학교 기계항공공학부) ;
송남호 (서울대학교 기계항공공학부) ;
오수익 (서울대학교 기계항공공학부)

Published : 2008.06.11

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Abstract

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