한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

전자빔의 파라미터에 따른 노광특성 분석

The Analysis of Exposure Characteristics according to the Parameters of E-Beam Lithography

  • 오승훈 (부산대학교 나노융합기술학과) ;
  • 김재구 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
  • 최두선 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
  • 조성학 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
  • 정명영 (부산대학교 나노융합기술학과)
  • 발행 : 2009.06.03
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