Fabrication of 3-dimensionally Interconnected Porous SiC and SiCN for High Temperature Micro-reactor via Soft Lithography

Soft Lithography법을 이용한 고온 반응기용 3차원 구조의 다공성 SiC와 SiCN의 제조

  • 성인경 (충남대학교 정밀공업화학과) ;
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  • 김동표 (충남대학교 정밀공업화학과)
  • Published : 2003.10.17