Design and Control of Ultra-precision Dual Stage with Air bearings and Voice coil motor for nm scanning system (나노 정밀도 스캐닝 용 공기베어링과 보이스 코일 모터의 초정밀 이중 스테이지 설계 및 제어)
-
- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
- /
- 2005.06a
- /
- pp.1883-1886
- /
- 2005