• 제목/요약/키워드: laser pulse shapes

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펨토초 레이저 어블레이션을 이용한 Si 웨이퍼의 미세 관통 홀 가공 (Femto-second Laser Ablation Process for Si Wafer Through-hole)

  • 김주석;심형섭;이성혁;신영의
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제14권3호
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    • pp.29-36
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    • 2007
  • 본 논문에서는 펨토초 레이저를 사용하여 정밀하고 효과적인 레이저 어블레이션 작업이 가능한지를 확인하기위한 수치 해석 및 가공 작업을 수행하였다. 이를 위하여 Si 재료 내부의 에너지 전달 메커니즘에 대한 수치해석을 실시하였으며, Si 웨이퍼에 각각 다른 조건으로 적용된 레이저 플루언스 값으로 $100\;{\mu}m$ 직경의 미세 관통 홀을 형성한 후, 광학현미경과 3차원 표면 형상 측정 장비를 사용하여 형성된 미세 관통 홀의 가공성과 열영향부의 발생 정도를 관찰하고 분석하였다. 실험 결과를 통해 레이저 플루언스 조건에 따른 열영향부의 발생 정도를 분석하였으며, 또한 최소한의 열영향부를 가지며 우수한 홀 가공성을 보이는 최적의 미세 관통 홀 가공 조건을 도출하였다.

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홀로그래피를 이용한 정전집진기 집진판의 진동 특성 연구 (A Study on the Vibration Characteristics of Collecting Plate in the Electrostatic Precipitator Using Holograpy)

  • 나종문;이기백;양장식
    • Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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    • 제20권1호
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    • pp.56-66
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    • 1996
  • In this study, the characteristics of generation and propagarion of transient wave induced in the assembly of four collecting plate upon the propagation of waves are analyzed. Also double exposure holographic inteferometry using ruby pulse laser is built in order to investigate the propagation of transient waves generated by impact load. When impact load was applied at edge of connecting band, the vibration of collecting plates was generated from the contact points between collecting plate and band which connects four collecting plates. Waves generated from the lower part and those reflected from the upper part were mixed as time went on and then formed very complex shapes. Also, when impact load was aplied at center of collecting plate, the waves propagating across the convexo-concave plane were reflected partly at curved section. Therefore the vibration amplitude was decreased as the transiet waves were propagated through the convexo-concave plane.

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Te계 합금 박막의 Antireflection 구조와 광기록 특성 (Antireflection Structures and Optical Recording Properties of Te-based Alloy Thin Films)

  • 이현용;최대영;이영종;정홍배
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 1988년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.74-77
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    • 1988
  • This paper reports the properties of antireflection structure and hole formation of Te-based systems. The optical-recording characteristics of metallic recording media are enhanced significantly by incorporating the metal(Al) layer into an antreflection trilayer structure. Due to the interface condition inherent in the design of the trilayer structure, reflectivity from holes is ranked low fraction (<10%). The hole formation is carried by $Ar^+$ Laser(488nm). For 20nsec pulse duration, hole opening power(threschold) of $(Te_{86}Se_{14})_{50}Bi_{50}$ trilayer is lower than that of monolayer that used in this experiment. Hole shapes of the whole sample were clean.

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교류형 플라즈마 평판 표시장치(AC-PDP)에서 ITO 전극 구조에 따른 Xe 여기종의 시공간 밀도 분포 연구 (Measurement of Spatiotemporal Distribution for the Density of Excited Xe Atoms in the 1s5 in Accordance with Various ITO-shapes in Ac-PDP)

  • 조석호;홍영준;손창길;한용규;정용환;권기청;홍병희;조광섭;최은하
    • 한국진공학회지
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    • 제18권1호
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    • pp.54-59
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    • 2009
  • 3전극 면방전형 AC-PDP에서 발광효율을 높이기 위한 방법으로 새로운 구조의 ITO전극을 제안하였다. 기존에 사용하고 있는 사각형(square), T 형태의 ITO 전극구조와 새롭게 설계한 물고기뼈 형태(fish-boned type) ITO 전극 구조의 시험패널을 제작하였다. 레이저 흡수 분광법(Laser absorption spectroscopy)을 이용하여 각 ITO 전극 구조에 따라 Xe 여기종의 밀도분포를 측정하고, 고속 ICCD(Image Intensified Charge-Coupled Diode) 카메라를 이용하여 각각의 전극에 따른 $750\;nm\;{\sim}\;900\;nm$ 파장의 방전모습을 확인하였다. 시험패널 상판의 x, f 전극에 220V의 사각펄스(square pulse)를 교대로 인가하여 방전시켰다. 사각형, T 그리고 물고기뼈 형태의 ITO 전극 구조에서 $X_e$ 여기종 밀도는 각각 $2.06{\times}10^{13}\;cm^{-3}$, $2.66{\times}10^{-3}\;cm^{-3}$$3.01{\times}10^{13}\;cm^{-3}$으로 물고기뼈 형태에서 가장 높게 측정되었다.

레이저 유도 충격파를 이용한 첨단 약물전달시스템 개발 (New Drug Delivery System Based on a Laser-Induced Shockwave)

  • 한태희;이현희;;여재익
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제34권1호
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    • pp.67-71
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    • 2010
  • 1 GW/$cm^2$ 이상의 고강도의 레이저 빔을 얇은 금속 호일의 한 점에 집중시키면, 레이저 삭마현상에 의해 발생된 충격파가 금속 호일 안으로 전파하게 된다. 이 충격파는 금속 호일의 반대 면에서 팽창파로 반사되고, 그 과정에서 금속 호일에 급격한 변형이 일어난다. 이 때, 금속 호일의 반대 면에 미세한 마이크로 단위 크기의 입자들을 코팅하면, 금속의 순간적인 변형으로 인해 입자들이 큰 운동량을 얻으며 가속되어 빠른 속도로 튕겨져 나가게 되는데 이것이 바이오리스틱 약물 전달의 원리이다. 이번 연구에서는 바이오리스틱 시스템의 제어성, 안정성, 효율을 향상시키고자 컨파인 조건을 변화시키며, 인체의 연한 조직을 모사하는 3% 젤라틴 용액으로의 침투 모습을 파악하였다. 사용한 컨파인 매질은 BK7 유리, 물, 그리고 초음파젤(RHAPAPHRM Co. Ltd)이다. 실험결과, 컨파인 매질과 그 두께를 조절함으로써 마이크로 입자들의 침투 양상을 제어할 수 있음을 확인하였다.