• 제목/요약/키워드: implantation damage

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나노 패터닝을 위한 이온빔-고체 상호작용 분석 (Analysis of Ion Beam-Solid Interactions for Nano Fabrication)

  • 김흥배
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.581-584
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    • 2005
  • Ion beam processing is one of the key technologies to realize mastless and resistless sub 50nm nano fabrication. Unwanted effects, however, may occur since an energetic ion can interact with a target surface in various ways. Depending on the ion energy, the interaction can be swelling, deposition, sputtering, re-deposition, implantation, damage, backscattering and nuclear reaction. Sputtering is the fundamental mechanisms in ion beam induced direct patterning. Re-deposition and backscattering are unwanted mechanisms to avoid. Therefore understanding of ion beam-solid interaction should be advanced for further ion beam related research. In this paper we simulate some important interaction mechanisms between energetic incident ions and solid surfaces and the results are compared with experimental data. The simulation results are agreed well with experimental data.

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Boron 확산공정을 이용한 5,000V, 4인치 광 사이리스터의 제작 및 특성 평가 (Fabrication of 5,000V, 4-Inch Light Triggered Thyristor using Boron Diffusion Process and its Characterization)

  • 박건식;조두형;원종일;이병하;배영석;구인수
    • 전력전자학회논문지
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    • 제24권6호
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    • pp.411-418
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    • 2019
  • Light-triggered thyristors (LTTs) are essential components in high-power applications, such as HVDC transmission and several pulsed-power applications. Generally, LTT fabrication includes a deep diffusion of aluminum as a p-type dopant to form a uniform p-base region, which needs careful concern for contamination and additional facilities in silicon semiconductor manufacturing factories. We fabricated 4-inch 5,000 V LTTs with boron implantation and diffusion process as a p-type dopant. The LTT contains a main cathode region, edge termination designed with a variation of lateral doping, breakover diode, integrated resistor, photosensitive area, and dV/dt protection region. The doping concentration of each region was adjusted with different doses of boron ion implantation. The fabricated LTTs showed good light triggering characteristics for a light pulse of 905 nm and a blocking voltage (VDRM) of 6,500 V. They drove an average on-state current (ITAVM) of 2,270 A, peak nonrepetitive surge current (ITSM) of 61 kA, critical rate of rise of on-state current (di/dt) of 1,010 A/㎲, and limiting load integral (I2T) of 17 MA2s without damage to the device.

생쥐배의 발생단계별 미세분할, 배양 및 이식 관한 연구 (Studies on Culture and Transfer of Mouse Embryos Biseeted at Various Cell Stages)

  • 강대진;박희성;이효종;박충생
    • 한국수정란이식학회지
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    • 제4권1호
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    • pp.28-34
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    • 1989
  • These experiments were carried out to determine the effect of cell stage in embryo bisection on the sub-Sequent in vitro and in vivo development in mouse. The embryos of ICR mouse were microsurgicaily bisected at 2-cell, 4-cell, 8-cell, morula and blastocyst stage using a microsurgical blade attached a micromanipulator. These demi-embryos without zona pellucida were cultured up to blastocyst stage and transferred to pseudopregnant mice, and the development of these demi-embryos was compared with the results of intact embryos of the corresponding cell stage. The successful rate of mouse embryo bisection at 4-cell stage (59.0%) was significantly (p <0.05) lower than those at 8-cell (75.6%), 2ce11 (80.7%) or morula stage (84.8%), and highest at blastocyst stage (95.7%). When the bisected embryos without any damage from microsurgery were cultured in vitro up to blastocyst,the in vitro de'velopment of demi-embroys bisected at morula to blastocyst was 91.6 to 95.3%, which was similar to the culture result of intact embryos of corresponding stage. However, the in vitro development of demi-em-bryos bisected at 2- to 8-cell stage was signiflcantiy (p <0.05) lower.The post-transfer implantation rate of demi-embryos developed in vitro to eu-blastocyst were 19.6 and 25.4% in demi-embryos bisected at morula and blastocyst stage,respectively and not significantly (P <0.05)different from the result of intact embryos of the same stage. However, the implantation rates of demi-embryos bisected at 2- or 8-cell stage were significantly (P <0.05) lower than the result from the intact embryos of the corresponding stage.

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줄기 세포 이식 치료를 통한 의료 산업적 융합효과 (The convergence effect of medical industry through stem cell implant treatment)

  • 이태훈
    • 융합정보논문지
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    • 제8권2호
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    • pp.61-65
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    • 2018
  • 본 연구는 이식된 줄기세포들이 혈관용 클립압박으로 유도된 척수경색 동물들에서 행동학적 결핍을 감소시키는 연구를 진행하였다. 흉수신경 9번과 10번에 척수 손상후 5일후에 배아줄기세포 이식을 통해서 배아줄기세포가 경색부위를 채워지게 되므로 이식후 손상부위의 조직학적 감소와 신경세포군의 조직학적 재생을 증명하는데 중점을 두었다. 본 연구를 통해 마우스 배아줄기세포의 이식이 중증 척수 손상후 행동학적 발달을 보여주는 명백한 결과들을 도출하였음을 보여주고 있다. 이러한 마우스 배아줄기세포는 신경학적 손상에 대한 치료로서 사용될 수 있는 처치법이다. 결론적으로, 줄기세포 적용은 손상조직을 재생시켜서 기능적, 행동적 향상에 기여할 수 있기에 다양한 줄기세포 치료법을 통해 임상적 적용을 위한 중요한 치료법이 될 수 있다.

$OH^-$ 흡수밴드에 의한 $LiNbO_3$ 단결정의 격자결함에 관한 연구 (A study on the lattice defects in $LiNbO_3$ single crystal by crystal by $OH^-$ absorption band)

  • 조용석;강길영;윤종규
    • 한국결정성장학회지
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    • 제8권3호
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    • pp.401-406
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    • 1998
  • LiNbO_3$ 단결정의 광학소자 광도파관 등의 응용을 위하여는 빛의 조사에 따라 굴절률이 변하는 광손상을 극복하여야 한다. 이러한 광손상 극복은 LiNbO_3$ 에 MgO를 첨가한 단결정의 성장과 산처리를 통하여 가능하다. 본 연구에서는 LiNbO_3$ 의 광손상 극복 기구를 이해하기 위하여, FT-IR을 이용하여 LiNbO_3$ 단결정에 MgO 첨가와 산처리가 발생시키는 격자결함의 변화를 OH- 흡수밴드를 통하여 간접적으로 관찰하였다. 또한 액체 헬륨을 이용한 온도강하시 생기는 격자결함의 관찰과 산처리한 시편의 광택연마와 열처리에 따른 격자결함으 조사하였다. MgO 첨가는 LiNbO_3$ 격자내 $Mg_{Nb}^{2+}$ 결함을 발생시켜 광손상 저항을 증가시키며, 산처리는 결정표면의 산소층에 $H^+$이온이 침입하여 격자결함을 발생시키며, 이 격자결함은 $400^{\circ}C$이상에서 열처리하면 $H^+$가 결정내부로 확산하여 들어감을 확인하였다.

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MeV Si 자기 이온주입된 단결정 Silicon내의 결함 거동 (Defect Formatìon and Annealìng Behavìor in MeV Si Self-Implanted Silicon)

  • 조남훈;장기완;서경수;이정용;노재상
    • 한국재료학회지
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    • 제6권7호
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    • pp.733-741
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    • 1996
  • 본 연구에서는 MeV Si 자기 이온주업을 실시하여 주업원자와 모재 원자와의 화학적 영향이 배제된 결함 형성 거동을 관찰하였다. 자기 이온주업을 위하여 Tandem Accelerator가 사용되었고 1~3 MeV의 에너지 범위의 이온주입이 실시되었다. MeV 이온주입된 시편의 격자결함은 표면으로부터 고립된 $R_p$ 근처에 집중된 것이 관찰되었다. 주입에너지 변화에 따른 격자결함 생성 거동을 관찰하기 위하여 조사량을 $1{\times}10^{15}/cm^2$으로 고정하고 주입에너지를 1~3 MeV로 증가하였다. RBS 분석 결과 격자결함의 형성층 깊이는 에너지 증가에 따라 증가하였고 표면층에는 에너지 증가시 더욱 좋은 결정성을 유지하였다. 또한 주입에너지가 일정한 경우 조사량 증가시 $R_p$ 부근에 집중된 결함층의 농도는 증가하였으나 표면부근의 결함농도는 임계조사량 이상에서 포화되는 것이 관찰되었다. XTEM 분석 결과는 RBS의 결과와 잘 일치하였다. XTEM 관찰 결과 이온주업 상태의 결함층은 dark band의 형태로 관찰되었고 열처리시 이차결함은 이곳으로부터 생성되었다. 2MeV $Si^+$ 자기 이온주입시 이차결함이 형성되는 임계조사량은 $3{\times}10^{14}{\sim}5{\times}10^{14}/cm^2$ 사이로 관찰되었다. 열처리시 dark band의 하단부의 위치는 변화하지 않고 상단부만이 제거되었다. 실험을 통하여 얻은 결과들은 Monte-Carlo technique을 이용한 TRIM-code를 사용하여 해석하였다. SIMS 분석을 통하여 이차결함은 모재내에 존재하는 oxygen 불순물을 gettering함을 관찰하였다.

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Si(100)에 이온 주입 시 에너지, 조사량과 빔 전류에 따른 면저항의 변화 (Sheet Resistance of Ion Implanted Si(100) at Various Doses, Energies and Beam Currents)

  • 김형인;정영완;이명희;강석태
    • 한국진공학회지
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    • 제20권2호
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    • pp.100-105
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    • 2011
  • 이온을 Si(100) 기판에 주입할 때 조사량과 에너지, 빔 전류가 면저항에 영향을 미치는 원인을 규명하기 위해 여러 연구자가 행하였던 실험과 동일한 조건으로 Crystal TRIM 프로그램을 이용하여 컴퓨터 시뮬레이션을 실행하였다. 주입한 $As^+$이온의 조사량을 $1{\times}10^{15}/cm^2$로 일정하게 하고 에너지를 5, 10, 15 keV로 변화시켜 계산한 결과 에너지가 커질수록 Rp값은 표면에서 깊어지는 반면에, 표면근방에 축적되는 격자손상은 증가하였다. 20keV의 B+이온을 $5{\times}10^{15}/cm^2$의 동일한 조사량으로 1mA와 7 mA의 빔 전류에 해당하는 값을 이용하여 계산한 결과 빔 전류가 커질수록 표면근방 100 nm 이내에서 격자손상이 증가하였다. 20 keV의 일정한 에너지로 B+이온을 $1{\times}10^{15}$, $3{\times}10^{15}/cm^2$ 조사량과 0.8 mA와 8 mA의 빔 전류로 각각 계산한 결과 조사량이 많아질수록, 빔 전류가 커질수록 표면 근방에 축적되는 격자손상의 양이 증가하였다. 이러한 에너지, 조사량과 빔 전류증가에 의한 시료표면의 격자손상 증가는 시료표면의 면저항을 감소시킨다.

골관절염에서 줄기세포를 이용한 연골 재생의 최신 지견 (Current Update of Cartilage Regeneration Using Stem Cells in Osteoarthritis)

  • 선종근;최익선;고지욱
    • 대한정형외과학회지
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    • 제54권6호
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    • pp.478-489
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    • 2019
  • 골관절염은 관절연골 침식의 진행을 특징적으로 보이는 질환으로 관절운동 중에 통증을 증가시키고 기계적 스트레스를 견디는 능력을 감소시켜 결과적으로 관절의 가동성과 기능을 저하시킨다. 외상 또는 퇴행성으로 인한 관절연골의 손상이 일반적 관절염의 주요 원인으로 생각되며 이러한 관절연골 손상의 재생에 관한 수많은 연구와 시도들이 현재까지 진행되어 오고 있다. 현재까지 연골 손상의 경우 미세골절술과 자가연골세포 이식술이 일반적인 수술적 치료방법으로 제시되어 왔으나 비교적 양호한 임상 결과에도 불구하고 정상 유리연골의 생성이 미흡하여 시간이 경과하면서 결과가 악화되는 등 단점이 있다. 이를 보완하기 위하여 줄기세포 기반 치료법이 개발되었다. 이 종설에서는 현재 사용되는 다양한 연골 재생 방법들의 장단점 및 결과에 대해 요약하고 특히 중간엽 줄기세포(mesenchymal stem cells) 기반 연골 재생 치료법을 논하고 나아가 이상적인 미래 연골 재생 치료법에 대해서도 고민해보고자 한다.

MUSIC을 이용한 기계식 심장 판막의 음향 신호 특성 연구 (A Study of the Acoustical Properties of the Mechanical Heart Valve Using MUSIC)

  • 이서우;최민주;민병구
    • 한국음향학회:학술대회논문집
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    • 한국음향학회 1999년도 학술발표대회 논문집 제18권 2호
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    • pp.131-134
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    • 1999
  • This paper considers the acoustical characteristics of the mechanical valve employed in the Korean type Artificial Heart. $Bj\"{o}rk-Shiley$ tilting disc valve was chosen for the study and acoustic measurements were performed for the artificial heart operated in a mock circulation system as well as implanted to an animal as a Bi Ventricular Assist Device (BVAD). In the mock system, three different conditions of the valve were examined which were normal, damaged (torn off), pseudothrombus attached. Microphone measurements for the BVAD were carried out at a regular time interval for 5 days after the implantation operation. Of the recorded acoustic emissions from the artificial heart, click sounds mainly originated from the valves were further analyzed using Multiple Signal Classification (MUSIC) for estimating their spectral properties. It was shown that the spectral peaks below 4 kHz and the optimal order number for MUSIC, equivalent to the number of the spectral component, might be the key parameters which were highly correlated to the physiological states of the valve like the mechanical damage of the valve or the formation of thrombus on the valves.

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생쥐의 유선발달에 있어서 Elvax 40P Implant를 이용한 서방형 Adenosine의 역할 (Effect of Sustained-Release of Adenosine by Elvax 40P Implant on Mouse Mammary Development)

  • 여인서;박춘근;홍병주
    • 한국가축번식학회지
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    • 제16권4호
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    • pp.387-397
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    • 1993
  • To examine local response of adenosie(purine nucleoside) on the developing mammary gland, Elvax 40P implants containing adenosine were surgically implanted into mammary fat pad of the five week old female ICR mice. Inguinal(the 4th) mammary glands of anesthetized mice were exposed andplaced the implants for 12 days. One gland was treated with an adenosine implant, while the contralateral gland received a blank implant as control. For whole-mount preparations, glands were stained with alum carmine, and for histological observation, micro-selected mammary glands were stained with hematoxylin and eosin Y. Implantation with Elvax 40P did not affect on the damage of neighboring mammary tissue. Adenosie 25 or 250$\mu\textrm{g}$ per slow-release implant stimulated local mammary end bud formation of ovariectomized mice such as end bud size and numbers of end bud per gland in a dose dependent manner(P<0.05), and lower concentration of adenosie(2.5 or 25$\mu\textrm{g}$/implant) increased numbers of end bud(P<0.05) and end bud size(P<0.1) of intact mice. Adenosine treatment and intact ovarian function had moderate interation effects on the stimulation of end bud formation at 2.5$\mu\textrm{g}$ adenosine/implant(P<0.1). In histological observation, adenosine implants increased numbers of mammary epithelial type of cells at mammary duct in the presence or absece ofovary. These results indicate that adenosine should be one of regulators in mouse mammary ductal growth.

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