• 제목/요약/키워드: friction properties

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구리 CMP 후 버핑 공정을 이용한 연마 입자 제거 (Particle Removal on Buffing Process After Copper CMP)

  • 신운기;박선준;이현섭;정문기;이영균;이호준;김영민;조한철;주석배;정해도
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제24권1호
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    • pp.17-21
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    • 2011
  • Copper (Cu) had been attractive material due to its superior properties comparing to other metals such as aluminum or tungsten and considered as the best metal which can replace them as an interconnect metal in integrated circuits. CMP (Chemical Mechanical Polishing) technology enabled the production of excellent local and global planarization of microelectronic materials, which allow high resolution of photolithography process. Cu CMP is a complex removal process performed by chemical reaction and mechanical abrasion, which can make defects of its own such as a scratch, particle and dishing. The abrasive particles remain on the Cu surface, and become contaminations to make device yield and performance deteriorate. To remove the particle, buffing cleaning method used in post-CMP cleaning and buffing is the one of the most effective physical cleaning process. AE(Acoustic Emission) sensor was used to detect dynamic friction during the buffing process. When polishing is started, the sensor starts to be loaded and produces an electrical charge that is directly proportional to the applied force. Cleaning efficiency of Cu surface were measured by FE-SEM and AFM during the buffing process. The experimental result showed that particles removed with buffing process, it is possible to detect the particle removal efficiency through obtained signal by the AE sensor.

퍼지신뢰도(fuzzy reliability) 해석기법을 이용한 암반사면의 파괴확률 산정 (Evaluation of the Probability of Failure in Rock Slope Using Fuzzy Reliability Analysis)

  • 박혁진
    • 자원환경지질
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    • 제41권6호
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    • pp.763-771
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    • 2008
  • 불확실성은 사면의 안정성을 해석하는 과정에서 특성자료의 부족이나 지질공학적 특성의 공간적 변동성 등의 원인으로 포함되며 따라서 불확실성으로 인해 변수들의 정확한 값을 획득하기 힘들게 된다 이러한 문제점을 해결하기 위하여 확률론적 해석기법이 활용되어 왔으며 최근에는 퍼지집합이론(fuzzy set theory)을 이용한 해석기법이 활용되고 있다. 특히 확률변수들의 자료 양이 제한적인 경우 변수의 확률특성을 정확하게 파악하기 힘들어 확률론적 해석기법의 활용이 제한적일 수 있으며 이러한 경우 퍼지집합이론은 확률변수의 특성을 효과적으로 표현할 수 있다. 본 연구에서는 암반사면의 안정성 해석과정에서 포함되는 불확실성을 정량화하기 위해 퍼지신뢰도척도(fuzzy reliability measure)를 활용하여 분석을 수행하였으며 특히 암반사면의 안정성에 영향을 미치는 여러 지질공학적 특성중 불연속면의 경사와 내부마찰각을 삼각형 퍼지숫자(fuzzy number)로 해석하였다 이를 위하여 연구대상사면을 선정하여 암반사면에서 발생하는 평면파괴를 대상으로 분석을 수행하였다. 퍼지신뢰도(fuzzy reliability) 해석에서는 퍼지숫자에 대한 퍼지 연산을 통해 퍼지신뢰도 지수(fuzzy reliability index)를 획득하였으며 이러한 결과를 확률론적 해석 결과와 비교하기 위하여 몬테카를로모사기법(Monte Carlo simulation)과 점추정법(point estimate method)을 이용한 확률론적 해석을 수행하였다. 해석결과 불충분한 자료 등으로 인해 불확실성의 정량화가 어려운 경우 퍼지신뢰도 해석을 통해 적절한 퍼지신뢰도 지수와 파괴확률을 획득할 수 있을 것으로 판단된다.

열차 진동 저감을 위한 마찰쐐기형 방진장치의 거동 시험 (A Behavior Test on a Frictional-Wedge-Type Vibration Isolation Device for Vibration Reduction of a Railway Track)

  • Lee, Chanyoung;Choi, Sanghyun;Lee, Yooin;Kwon, Segon;Koh, Yongsung;Ji, Yongsoo
    • 한국재난정보학회 논문집
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    • 제11권1호
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    • pp.45-54
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    • 2015
  • 도심지에 건설되는 철도역사, 선로구조물 등 철도시설물의 경우 소음 및 진동 저감 설계의 중요성이 더욱 커지고 있다. 특히 선하역사는 구조물 위에 선로가 놓이게 되므로 철도 진동과 이로 인한 2차 소음을 효과적으로 차단할 수 있는 진동 제어 대책이 더욱 필요한 상황이다. 수직형 방진장치는 열차 운행으로 인한 진동이 직접적으로 전달되는 선하역사 등 철도시설물의 진동 저감에 효과적으로 적용될 수 있으나, 수평형 장치에 비하여 개발이 미진한 상황이다. 이 논문에서는 열차에 의한 진동을 효과적으로 저감하기 위해 개발 중인 마찰쐐기형 방진장치를 소개하고, 동적성능 검증을 위한 시험 결과를 제시하였다. 개발된 방진장치의 성능 검증을 위하여 시제품을 적용한 콘크리트구조물에 대한 강제 가진시험을 수행하였으며, 시험결과를 통해 방진장치의 방진성능 및 동특성을 검증하고 방진장치 개선사항을 검토하였다.

사면 및 터널에서의 암반 파쇄대 보강을 위한 개량형 록볼트 개발 (Development of Improved Rock Bolt for Reinforcement of Fracture Zone in Slope and Tunnel)

  • 김수로;김종태;박성철;김태혁;권현호;정교철
    • 지질공학
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    • 제20권1호
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    • pp.101-109
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    • 2010
  • 대규모 도로사면의 경우 대부분 소단 형식의 계단식 절개사면인 경우가 많다. 특히 단층파쇄대와 동반된 절개사면은 안정성 확보를 위해 특별한 보강공법이 요구된다. 이러한 특이 사면에서의 경우는 지질적 특성 때문에 기존 사면 보강공법으로는 어려운 경우가 많다. 특히 파쇄대 발달 구간에서는 굴착과 발파로 인해 암반 내 블록의 움직임 및 불연속면의 간극이 확대되어 사면의 안전율이 크게 낮아진다. 이로 인해 파쇄대의 지질적 특성에 따른 효율적인 보강대책공법 개발이 필요하나 현재까지의 지보재로는 그 적용성에 한계가 있다. 따라서 사면 및 터널 내 특이 파쇄대 구간의 효율적인 안정성 확보를 위해 특화된 록볼트 공법 개발이 필요하다. 본 연구에서는 이를 위해 최근 특이 암반파쇄대 구간에서 전면 마찰형으로 사용되는 스웰렉스 볼트 공법의 지보효과를 증대시키는 새로운 개량형 록볼트를 개발하는데 목적을 두고 있다.

식물유래 섬유자원의 재활용: 탈묵 수율 개선을 위한 신문 지료의 수화 촉진 방안 (Recycling of Plant Fiber Resources: Enhanced Hydration of Newspaper Stock for Decrease of Deinking Reject)

  • 정성현;김중호;주종훈;방재욱
    • 한국펄프종이공학회:학술대회논문집
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    • 한국펄프종이공학회 2011년도 추계학술발표회 논문집
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    • pp.39-41
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    • 2011
  • The recycling rate of recovered paper in Korea is the highest in the world, 92%, but remanufacturing yield is low due to the extremely poor quality of the paper. The poor quality, in turn, influences to the reject amount in deinking process. To increase the yield of old newspaper recycling process, hydrophobic degree of inorganic pigments of deinking stock must be reduced. To determine the hydrophobicity, Pitch Potential Deposit Tester (PDT) was newly designed and applied with respect to the SB latex property of various quality used in Korea; its hydrophobic degree according to Tg, gel content, charge and particle size of latex and optimum designing condition of SB latex. And below are the conclusions: 1. The reason of excessive reject from old newspaper deinking process for total amount of printed ink is loss of inorganic pigments. When lipase, a biochemical catalyst, was applied with the purpose of preventing inorganic pigments loss about more than 70% of total reject weight and promoting hydration of pulp for deinking, deinking process yield of pre flotation secondary stage increased remarkably without any changes of deinking efficiency. 2. Lipase improved deinking stock by cutting ester linkage on surface of hydrophobic materials to promote its hydration. From this, it reached the conclusion that hydration degree of stock exercises significant effect on flotation deinking process yield. 3. Inorganic alkali promotes hydration of deinking stock. But there have been needs for more fundamental measures other than inorganic alkali of promoting hydration for yield improvement. For this, this study intended to find out reasons of chemical properties change on surface of hydrophobic material by change of pH. 4. Pitch Deposit Test (PDT) was performed for understanding principle of why surface of coating flake from OMG is hydrophobic and why it becomes hydrophilic when pH of stock is alkaline. As a result of this test, it is determined that swelling property by change of pH of latex film, which were used as coating adhesive is the reason for hydrophobic change. 5. Hydrophilicity of coating flake increased with hydrophilic pigments. And as more of SB Latex adhesive was used and higher of calcium hardness of stock became, its hydrophilicity decreased. SB Latex adhesive film is reformed by mechanical friction. For having hydrophilicity under neutral pH, strong bruising action such as kneading is required. 6. Because swelling of adhesive film decreases as Tg of SB latex gets lower and mean diameter gets smaller, it shows hydrophobicity under neutral pH. This lowers hydrophilicity of coating flake, which leads to easy elimination with flotation reject on DIP process. Therefore, for improving future flotation yield, it is necessary to develop to use eco-friendly clean SB latex by raising Tg and increasing mean diameter for recycling, and as a result, to reduce excessive loss of coating flake as a reject from deinking process.

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고온차단 기밀용 그라파이트의 고온 미끄럼마모 특성 평가 (Sliding Wear Properties of Graphite as Sealing Materials for Cut off Hot Gas)

  • 김연욱;김재훈;양호영;박성한;이환규;김범근;이성범;곽재수
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제37권11호
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    • pp.1349-1354
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    • 2013
  • 고온의 가스유로를 조절하는 개폐식(On-Off)밸브의 구동축과 라이너 사이에 위치하여 구동장치로의 고온 가스유입을 방지하는 기밀 소재에 대하여 연구하였다. 기밀 소재로 사용된 그라파이트(Graphite)는 구동장치에 의한 구동축의 지속적인 움직임으로 인해 마모가 발생한다. 본 논문은 고온가스 조절 밸브 내의 기밀 소재로 사용된 그라파이트(Graphite, HK-6)에 대한 상 고온 마모 특성을 평가하였다. 구동축의 소재인 레늄합금(W-25Re)에 대하여 그라파이트의 마모 시험을 수행하고 마찰계수와 비마모율을 비교하였다. 상온과 실제 작동 환경인 고온 $485^{\circ}C$에서 미끄럼속도와 접촉하중의 변화에 따른 마찰계수와 비마모율을 평가하였다. 마모표면의 SEM 분석을 통하여 상 고온 마모표면에 관찰되는 third body 를 확인하고 이로 인한 윤활효과를 고찰하였다.

대전지역 중생대 화강암 암반 내 취성파괴 예측연구 (Prediction of Brittle Failure within Mesozoic Granite of the Daejeon Region)

  • 장현식;최미미;배대석;김건영;장보안
    • 지질공학
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    • 제25권3호
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    • pp.357-368
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    • 2015
  • 대전지역 중생대 화강암 암반을 대상으로 경험적 해석과 수치해석 모델링을 사용하여 심도에 따른 취성파괴 예측 연구를 수행하였다. 먼저 손상제어시험 등의 실내시험으로 경험적 해석과 수치해석 모델링에 필요한 입력 변수를 측정하였고, 측정결과를 바탕으로 연구지역의 암반을 경암에 속하는 그룹 A와 극경암에 속하는 그룹 B로 구분하여 각 그룹별 대표 물성치를 사용하였다. 취성파괴의 해석에는 해석구간의 심도와 측압계수(k)로 결정되는 원위치응력 값이 필요하나 연구지역의 원위치응력 값은 측정되지 않았다. 그러므로 다양한 원위치응력 상태를 고려하기 위하여 3가지의 측압계수 (k=1,2,3)를 분석에 적용하였다. 경험적 해석과 수치해석 모델링에서 측압계수가 1일 경우, 연구지역의 암반에서는 1000 m의 심도까지도 취성파괴가 발생할 가능성이 매우 낮은 것으로 분석되었다. 그러나 측압계수가 2일 경우에는 심도 800 m 구간에서부터, 측압계수가 3일 경우에는 심도 600 m 구간에서부터 취성파괴가 발생될 가능성이 높을 것으로 판단된다. 이 연구에서는 점착력약화-마찰각강화(CWFS) 모델과 Mohr-Coulomb 모델이 사용되었으며, CWFS 모델은 암반의 취성 파괴영역의 범위와 깊이를 잘 모사하였으나 모아-쿨롱 모델은 이러한 변화를 구현하지 못하였다.

대수누선파양에 대한 확률론적 3차원 사면안정해석 (Probabilistic Three-Dimensional Slope Stability Analysis on Logarithmic Spiral Failure)

  • 서인석;김영수
    • 한국지반공학회지:지반
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    • 제10권2호
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    • pp.121-140
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    • 1994
  • 본 연구에서 경계가 불규칙하고 여러 토층으로 이루어진 자연과 인공 사면에 대한, 토층의 경계에서 굴절하는 대수나선곡선을 파괴면으로 가정한 신뢰도해석 모델을 개발하였다. 이 모델에서, 사면파괴토괴는 양 끝단이 수직평면으로 된 일정한 폭을 가진 Cylindroid로 가정하여 절편법을 적용하였고, 강도정수의 공간적인 변화, 불충분한 시료의 수에 의한 오차 그리고 실험실과 현장조건의 차이에서 오는 모델오차를 고려하여, FOSM 그리고 SOSM의 방법으로 신뢰도 지수를 구하여 파괴확률을 구하는 프로그램을 개발하였다. 이러한 연구를 기초로 다음의 결과를 얻었다: (1) 내부마찰각의 변동계수가 점착력의 변동계 수보다 민감하게 영향을 미침을 보여주었다. 따라서 대수나선파괴면의 사면안정해석에서 내부마 찰각의 불확실성이 사면안정에 더 큰 영향을 주므로 내부마찰각의 추정에 더 큰 주의를 기울여야할 것으로 사료된다. (2) 지진이 없을 경우에는, 사면폭이 증가함에 따라 전체 3차원파괴확률과 한계파괴폭은 증가하였으며, 지진이 있을 경우에는 전체 3차원파괴확률은 증가하였으나 한계 파괴폭은 전체 사면폭이 비교적 클 때, 진도가 커짐에 따라 급격히 감소하였다. (3) 지하수위는 높을수록, 전단강도와 수정계수는 작을수록 사면의 한계폭을 감소시키는 효과가 있다.

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모발 내부 지질 함량이 모발 부피 변화 및 잔머리 프리즈에 미치는 영향 (Influence of Lipid Contents in Human Hair on the Hair Volume and Hair Frizzing Phenomena)

  • 송상훈;임병택;황병우;주장호;손성길;강내규
    • 대한화장품학회지
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    • 제46권2호
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    • pp.89-103
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    • 2020
  • 모발이 부스스하게 떠서 부피가 커졌거나 정발된 모발에서 이탈한 잔머리를 프리즈 모발이라고 하는데 어떤 요인이 프리즈 현상을 일으키는지에 대해서는 알려져 있지 않다. 모발 내부 지질은 탄력, 인장강도 등 물성과 관계되는데, 프리즈에 관해서는 인종 간 연구에서 프리즈 모발이 많은 아프리칸 모발과 지질량과의 관계가 보고되어 있다. 모발 외부에 손상을 입히지 않고 모발의 내부 지질량을 조절하는 방법은 세정에 의한 소실이 유일하지만 세정횟수와 지질 소실량은 비례하지 않는다. 본 연구에서는, 다양한 컨디셔닝 폴리머와 극성이 서로 다른 오일을 사용한 샴푸 처방으로 모발을 세정하여 모발 내부 지질량을 분석하였다. 그 결과 오일의 극성도가 높을수록 지질량이 많이 보존되는 것을 확인하였다. 이 방법을 인디언 프리즈 모발에 적용하여 프리즈 정도를 평가한 결과 지질량이 적은 모발일수록 부피가 커지는 볼륨 프리즈 정도가 심하다는 것을 발견하였다. 반면에 잔머리 프리즈 모발 부피는 지질량이 많은 모발에서 더 넓게 관찰되었다. 아울러 모발 표면 마찰력은 처리한 오일에 따른 차이가 없었기 때문에 모발 프리징은 오일간 점착력에 영향을 받지 않고 모발 내 지질량의 영향을 받고 있음을 알 수 있었다. 따라서 본 연구는 안티 프리즈 기술을 구현하는데 모발 내부 지질 조절이 중요한 해법이 될 수 있음을 제시한다.

남해읍성의 공간구성과 축조기법에 관한 연구 (A Study on Techniques of the construction and Space Structure of Nam-hea city walls)

  • 권순강;이호열
    • 건축역사연구
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    • 제18권5호
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    • pp.59-80
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    • 2009
  • The purpose of this study is to investigate the history, space structures, blueprint, and techniques of the construction of Nam-hea city walls. Nam-hea city walls were relocated in 1439 from Whagumhun-Sansung(火金峴山城) to the present site, nearby Nam-hea Um.(南海邑) The city walls were rebuilt after they were demolished during Japanese invasion on Korea in 1592 and their reconstruction was also done in 1757. At present, the city walls only partially remained due to the urbanization of the areas around them. A plane form of the City wall is a square, and the circumference os approximately 1.3km. According to the literature, the circumference of the castle walls is 2,876尺, the height is 13尺, and the width is 13尺 4寸. Hang-Kyo(鄕校). SaGikDan(社稷壇), YoeDan(厲壇), SunSo(船所) which is a harbor, as well as government and public offices such as Kaek-Sa(客舍) and Dong-Hun(東軒) existed inside the castle walls. Inside the castle walls were one well, five springs, one ditch, and one pond, and in the castle walls, four castle gates, three curved castle walls, and 590 battlements existed. The main government offices inside castle walls were composed of Kaek-Sa, Dong-Hun, and Han-Chung(鄕廳) their arrangements were as follows. Kaek-Sa was situated toward North. Dong-Hun was situated in the center of the west castle walls. The main roads were constructed to connect the North and South castle gate, and subsidiary roads were constructed to connect the East and West castle gate. The measurement used in the blueprint for castle wall was Pobaek-scale(布帛尺:1尺=46.66cm), and one side of it was 700尺. South and North gate were constructed in the center of South and North castle wall, and curved castle walls was situated there. One bastion was in the west of curved castle walls and two bastions were in the east of curved castle walls. The east gate was located in the five eighths of in the east castle wall. Two bastions were situated in the north, on bastion in the south, one bastion in the south, and four bastions in the west castle wall. The castle walls were constructed in the following order: construction of castle field, construction of castle foundation, construction of castle wall, and cover the castle foundation. The techniques used in the construction of the castle walls include timber pile(friction pile), replacement method by excavation.

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