통합 검색 | Korea Science

염경훈;박상욱;서영진;이민호;김웅기;김상열
- 한국광학회지
- /
- 제23권6호
- /
- pp.274-280
- /
- 2012
기존의 반사형 타원계에 광분할기와 프리즘 등의 광학소자를 추가하여 $8.0{\mu}m$ 보다 작은 면적에서 시료의 광학이방성을 측정할 수 있는 수직반사형 타원계를 제작하였다. 수직반사 구조를 구현하기 위해 사용된 광학소자들의 편광작용을 보정하여 광학이방성 측정의 정확도를 향상시켰다. 비편광 광분할기를 사용하고 사분파장 위상지연자를 장착하며 광섬유를 제거하고 파장영역을 최적화하여 광학이방성인자 측정값의 표준편차를 0.00083 으로 줄이고 방위각 변화에 따른 rutile 시료의 광학이방성인자의 변동폭을 0.015 이하로 줄일 수 있었다.
https://doi.org/10.3807/KJOP.2012.23.6.274 인용 PDF KSCI

인선자;이민호;조성용;홍준선;백인호;권용현;윤희규;김상열
- 한국광학회지
- /
- 제33권5호
- /
- pp.201-209
- /
- 2022
기존 마이크로스폿 분광타원계의 집속광학계를 개선하여 원자힘 현미경(atomic force microscope, AFM) 헤드를 장착할 수 있도록 한 AFM 융합형 마이크로스폿 분광타원계를 개발하였다. 빔의 워블에 의한 영향을 최소화하기 위해 편광자-시료-보정기-검광자 배치에서 회전보정기 구동방식을 채택하고 이상적인 4분파장 위상지연 특성으로부터 벗어나는 비색성 위상지연자를 사용할 수 있도록 측정이론을 제시하였다. 개발된 마이크로스폿 분광타원계는 AFM 헤드를 장착한 상태에서도 20 ㎛ 이하의 스폿 사이즈를 가지며 190-850 nm의 파장대역에 걸쳐 구동하고 δΔ ≤ 0.05°와 δΨ ≤ 0.02°의 측정정밀도를 가지는 것을 확인하였다. 연속회전하는 스테핑 모터의 속도와 분광계를 정밀하게 동기화시켜 ≤3 s/sp의 빠른 측정속도를 구현하였다. AFM과 융합된 마이크로스폿 분광타원계는 초미세 패턴시료의 구조 및 광학물성 분석에 유용하게 사용될 수 있을 것으로 기대한다.
https://doi.org/10.3807/KJOP.2022.33.5.201 인용 PDF KSCI

Yoon, Hyung-Seok;Kang, Chang-Ho;Yoon, Hyung-Seok
- 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
- /
- 한국정보디스플레이학회 2008년도 International Meeting on Information Display
- /
- pp.1168-1170
- /
- 2008
For OLED to be a key role in the television market, a manufacturing evaporation system with robustness and high throughput is indispensable. ANS is currently developing manufacturing equipments for OLED TVs. ANS's latest progress of a vertical high throughput in-line evaporation system for large substrate will be presented.
PDF

An, Ilsin
- 한국광학회:학술대회논문집
- /
- 한국광학회 2001년도 제12회 정기총회 및 01년도 동계학술발표회
- /
- pp.256-259
- /
- 2001
Rotating-compensator type ellipsometer was developed for spectroscopic measurements. For accurate data reduction, the azimuths of transmission axises of polarizer and analyzer, and the angular position of the fast axis of compensator should be determined through calibration process. In this paper, we present various calibration methods.
PDF