Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Development of dual wavelength ellipsometer and accurate determination of thin film thickness

2파장 타원계의 개발 및 박막 두계 정밀 측정

  • 신상균 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
  • 김상준 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
  • 김상열 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
  • 박병용 ((주)엘립소테크놀러지) ;
  • 김영근 ((주)엘립소테크놀러지)
  • Published : 2004.02.12
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords