$SiO_2/Si_3N_4$ 2중층 박막의 유전특성
(Dielectric Characteristics of $SiO_2/Si_3N_4$ Double Layer)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2003년도 하계학술대회 논문집 C
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- pp.1526-1528
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- 2003