Ar/$CHF_3$ 플라즈마를 이용한 SBT 박막에 대한 식각특성 연구
(Etching characteristic of SBT thin film by using Ar/$CHF_3$ Plasma)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 1999년도 추계학술대회 논문집
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- pp.41-43
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- 1999