The effect of deposition conditions on the adhesion strength of TiN multilayer by D. C. magnetron sputtering (D. C. 마그네트론 스퍼터링에 의한 증착조건이 TiN다층박막의 밀착력에 미치는 영향)
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- Journal of the Korean institute of surface engineering
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- v.29 no.4
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- pp.261-267
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- 1996