Temperature is a critical parameter in yield improvement for wafer manufacturing. In chemical vapor deposition (CVD) equipment, crack defect in ceramic heater leads to yield reduction, however, there is no suitable ceramic heater fault detection system for conventional CVD equipment. This paper proposes a short-time zero-crossing rate based fault detection method for the ceramic heater in CVD equipment. The proposed method measures the output signal ($V_{pp}$) of RF filter and extracts the zero-crossing rate (ZCR) as feature vector. The extracted feature vectors have a discriminant power and Gaussian mixture model (GMM) based fault detection method can detect fault in ceramic heater. Experimental results, carried out by measured signals provided by a CVD equipment manufacturer, indicate that the proposed method detects effectively faults in various process conditions.
Zixu Su;Wei Chen;Changzhen Li;Junyi Yu;Guojiao Gong;Zixin Wang
ETRI Journal
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제45권5호
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pp.768-780
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2023
The application of unmanned aerial vehicles (UAVs) has recently attracted considerable interest in various areas. A three-dimensional multiple-input multiple-output concentric two-hemisphere model is proposed to characterize the scattering environment around a vehicle in an urban UAV-to-vehicle communication scenario. Multipath components of the model consisted of lineof-sight and single-bounced components. This study focused on the key parameters that determine the scatterer distribution. A time-variant process was used to analyze the nonstationarity of the proposed model. Vital statistical properties, such as the space-time-frequency correlation function, Doppler power spectral density, level-crossing rate, average fade duration, and channel capacity, were derived and analyzed. The results indicated that with an increase in the maximum scatter radius, the time correlation and level-crossing rate decreased, the frequency correlation function had a faster downward trend, and average fade duration increased. In addition, with the increase of concentration parameter, the time correlation, space correlation, and level-crossing rate increased, average fade duration decreased, and Doppler power spectral density became flatter. The proposed model was compared with current geometry-based stochastic models (GBSMs) and showed good consistency. In addition, we verified the nonstationarity in the temporal and spatial domains of the proposed model. These conclusions can be used as references in the design of more reasonable communication systems.
The YORP effect is non-gravitational force that changes the spin-status of asteroid. So far this effect has been directly detected only from the Near-Earth asteroids (Taylor et al. 2007; Lowry et al. 2007, 2014; Breiter et al. 2011; Durech et al. 2008, 2012). Pravec at el. 2008 found the evidences for changing spin rate of small asteroids (3 - 15 km) by the YORP effect in the Main-Belt and Mars-crossing asteroids. The Mars-crossing asteroids (1.3 < q < 1.66 AU) are objects that cross orbit of the Mars. The Mars-crossing asteroids are regarded as one of the main sources for the Near-Earth asteroids. We expect that rotation of Mars-crossing asteroids would be influenced by the YORP effect. We try to search observational evidence of the YORP effect for the Mars-crossing asteroid. Our target 2078 Nanking is a population of the Mars-crossing asteroid. First light-curve of 2078 Nanking was obtained from Mohamed et al. 1994, and Warner et al. 2015 recently published new observational data. We observed this asteroid on 26th Nov. 2014 and 17th Jan. 2015 using SOAO (Sobaeksan Optical Astronomy Observatory) 0.61 m telescope with 4K CCD. Using light-curve inversion method (Kaasalainen & Torppa 2001; Kaasalainen et al. 2001), we try to determine the pole orientation and shape model of this asteroid based on the combination of our light-curve and literature photometric data. Knowing spin parameters, such as rotational period and spin axis, are essential for studying the YORP effect. In this presentation, we provide some preliminary results of our recent study: light-curve and processing of shape modeling of 2078 Nanking. We plan to find observational clue for the YORP effect on the Mars-crossing asteroids.
This study aimed to evaluate factors related to the ability of ambulatory patients with cerebral palsy (CP) to walk over vertical and horizontal obstacles. Twenty patients with spastic CP who were able to walk independently for at least 10 m with or without walking devices were recruited for the study. Participants were required to walk over small obstacles (1, 4, and 8 cm in height or width; total of 6 conditions). A 'fail' was recorded when either the lower limbs or the walking device contacted the obstacle. Linear regression analyses were used to determine the effects of age, sex, walking devices, eyeglasses, subtype (hemiplegia or diplegia), ankle foot orthoses, functional level, and score of body mass index on the ability of obstacle crossing. Fifteen participants (75%) failed to adequately clear the foot or walking device over obstacles in at least 1 condition. The chance of failure in crossing vertical obstacle was affected by the use of ankle foot orthoses, eyeglasses, gender, and CP subtype (p<.05). The failure rate crossing horizontal obstacle was affected by CP subtype. These findings suggest that rehabilitation procedures should (1) consider the clinical characteristics of patients in order to prepare them to be more independent while performing daily activities, and (2) incorporate environmental conditions that patients encounter at home and in the community.
1994년의 참나무류 교잡종자에 관하여 발아율 및 그후의 생육상황을 조사하였다. 저장화분의 교배에서 발아율이 zero인 조합이 많은 경향을 보였다. 2년 후의 생존율 및 묘목의 수고생장은 교배 조합에 따라서 차이가 있었다. 1991년과 1993년의 교배묘의 생육상황을 조사하였고, 5년생 묘목의 생존율은 71~100%, 3년생 묘목의 생존율은 33~100%였다. 교배 조합에 따라서 생존율에 차이가 보였으며, 생장(生長)이 저조한 왜성묘목(矮性苗木)이 많은 조합에서는 고사율(枯死率)이 많았다. Q. aliena를 교배모수(交配母樹)로 한 경우 5년생의 생장(生長)이 가장 우수하였다. 특히 Q. aliena ${\times}$ Q. serrata가 167.9cm(5년생)이고 Q. dentata ${\times}$ Q. aliena는 120.2cm(3년생)으로 생장(生長)이 양호(良好)하였다.
중앙버스전용차로도 도입으로 인해 무단횡단이 증가하였고 보행 교통 사망자 수 증가의 문제가 지속적으로 제기되고 있다. 이러한 중앙버스전용차로 횡단보도부 교통안전 수준 증진을 위해서는 공학적이고 분석적인 노력이 필요하다. 본 연구에서는 향후 보행안전시설 연구의 기반자료를 마련하기 위해 중앙버스전용차로 정류소 횡단보도부 보행자의 보행행태 자료를 분석한다. 중앙버스전용차로 형태 중 무단횡단이 가장 많이 관측되는 '분리형 횡단보도' 형태인 서울시 '고속버스터미널역'을 조사지점으로 선정하여 영상자료를 수집하였다. 수집된 보행자 자료를 공간적 측면과 시간적 측면에서 위반행태를 분석하였다. 분석 결과 공간적 위반 보행자는 37.8%로 시간적 위반 보행자 3.4%에 비해 11.1배 높게 분석되었다. 본 연구를 통해 시간적 위반 보행자에 편중된 안전시설이 아닌 무단횡단 보행자의 절대 다수에 해당하는 공간적 위반 보행자에 안전대책도 필요하며 향후 시 공간적 위반 보행자의 무단횡단을 함께 억제하는 안전시설이 필요함을 제언한다.
본 논문에서는 한자를 포함하는 한글 문서 인식을 위한 인쇄체 한글, 한자의 구분과 인식 방법에 대하여 연구하였다. 제안된 한글, 한자 구분 방법은 한글의 수직모음과 수평모음의 구조적 특징을 이용하였다. 한글은 6가지 형태로 분류하고 분류된 각 형태에 대하여 세선화 과정을 거치지 않고 모음 우선추출에 의한 자모분리를 행하고 분리된 자음에 대하여 변형된 교차거리 특징을 이용하여 인식하였다. 한자에 대해서는 획교차수의 평균치를 이용하여 전체 한자 대상문자에 대해 분류를 하였으며, 문자의 획교차수와 흑점비율 특징을 이용하여 인식하였다. 한글과 한자의 구분에서는 90.5%의 분류율을 얻었다. 한글인식에 있어서는 대상문자 명조체 2512자에 대하여 90.0%의 형태 분류율을 얻었다. 인식 결과 실험 데이타 1278자에 대하여 92.2%의 인식율을 얻었다. 한자인식에 있어서는 대상문자 4585자에 대하여 분류한 결과 최대밀집 구간은 124자로서 약 1/40 정도로 분류되었음을 알 수 있었고, 인식실험 결과 89.2%의 인식율을 얻었다.
In many applications such as speech analysis, speech coding, speech recognition, etc., the voiced-unvoiced decision should be performed correctly for efficient processing. One of the parameters which are used for voice-unvoiced decision is zero-crossing. But the information of higher formants have not represented as the zero-crossing rate for higher formants of speech signals.
본 논문에서는 화소에서의 방향성을 이용하여 필기체 한글 인식에 유용한 세선화 알고리듬을 제안하였다. 세선화하기 전에 방향성 검출을 시행한다. 검출된 방향성에 의해서 직선과 사선으로 분류한다. 직선성분에는 Rutovitz crossing number를 이용한 알고리듬을 적용한다. 사선성분에는 Hilditch crossing number를 이용한 알고리듬을 적용한다. 제안한 알고리듬을 이미 제안된 다른 6가지의 세선화 알고리듬을 적용한 세선화 영상들과 성능을 비교하였다. 비교 항목으로는 기준 골격선과의 유사도, 잔가지 수, 그리고 자소 분리율 등이 사용되었다. 실험은 570개 문자에 대해서 수행하였다. 실험 결과 제안한 알고리듬은 유사도와 필기체 한글 인식에 많이 사용되는 자소 분리율에서 6개 비교 대상 중에서 가장 우수한 결과를 보였다.
보다 안전하고 효율적인 교차로 신호운영을 위해서는 보행자의 횡단시간뿐만 아니라 자전거 이용자 특성에 따른 횡단시간을 고려한 신호운영이 필요하며. 특히 보행자와 물리적으로 분리 운영되는 교차로의 경우에는 자전거 횡단시간을 고려한 최소녹색시간 및 소거손실시간 계획이 이루어져야 할 것이다. 본 연구에서는 보행자와 마찬가지로 자전거 이용자가 교차로를 안전하게 횡단할 수 있는 시간(최소녹색시간. 소거손실시간 등)을 자전거 이용수요가 많은 현장에서 자전거 이용자의 횡단특성에 따라 조사 분석하였으며, 횡단유형은 크게 3가지로 정지한 상태에서 출발하는 형태(Stopping), 주행중인 속도로 횡단하는 형태(Riding), 자전거를 끌고 가는 형태(Pulling) 등으로 구분하였다. 조사 분석결과, 최소 녹색시간 산정시 고려 될 수 있는 횡단유형별 속도는 Stopping의 경우 1.36($15^{th}$ percentile), 1.60m/sec($25^{th}$ percentile), Pulling의 경우에는 0.75($15^{th}$ percentile), 0.87m/sec($25^{th}$ percentile) 라 할 수 있겠으며, 소거손실시간의 경우에는 자전거 이용자 형태 중 Riding의 경우로 2.51($15^{th}$ percentile), 2.79m/sec($25^{th}$ percentile)를 적용할 수 있을 것으로 판단된다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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