A Study on Pad Profile Variation Using Kinematical Analysis on Swing Ann Conditioner (스윙 암 컨디셔너의 기구학적 해석을 통한 CMP 패드 프로파일 변화에 관한 연구)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 2007.11a
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- pp.47-48
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- 2007