• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제21권3호
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• pp.74-79
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• 2022

In this study, the plasma corrosion resistance and the change in the number of contamination particles generated using the plasma etching process and cleaning process of coating parts for semiconductor plasma etching equipment were investigated. As the coating method, atmospheric plasma spray (APS) was used, and the powder materials were Y₂O₃ and Y₃Al₅O₁₂ (YAG). There was a clear difference in the densities of the coatings due to the difference in solubility due to the melting point of the powdered material. As a plasma environment, a mixed gas of CF₄, O₂, and Ar was used, and the etching process was performed at 200 W for 60 min. After the plasma etching process, a fluorinated film was formed on the surface, and it was confirmed that the plasma resistance was lowered and contaminant particles were generated. We performed a surface cleaning process using piranha solution(H₂SO₄(3):H₂O₂(1)) to remove the defect-causing surface fluorinated film. APS-Y₂O₃ and APS-YAG coatings commonly increased the number of defects (pores, cracks) on the coating surface by plasma etching and cleaning processes. As a result, it was confirmed that the generation of contamination particles increased and the breakdown voltage decreased. In particular, in the case of APS-YAG under the same cleaning process conditions, some of the fluorinated film remained and surface defects increased, which accelerated the increase in the number of contamination particles after cleaning. These results suggest that contaminating particles and the breakdown voltage that causes defects in semiconductor devices can be controlled through the optimization of the APS coating process and cleaning process.

• 소성∙가공
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• 제17권2호
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• pp.91-96
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• 2008

The governing parameters affecting the fatigue properties have been investigated experimentally in the high carbon steel wires with 0.94 wt.%C. In order to find the crucial factors, the advanced analysis techniques such as optical 3-D profiler, focused ion beam(FIB) and transmission electron microscope(TEM) were used. The two-type steel wires with different drawing strain were fabricated. The fatigue properties were measured by hunter rotating beam tester, specially designed for thin-sized steel wires. It was found that the fatigue properties of the steel wires with high drawing strain was higher than that with other wires because of low residual stress and high adhesion condition of brass coating layer.

• 한국철도학회:학술대회논문집
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• 한국철도학회 2002년도 추계학술대회 논문집(II)
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• pp.981-986
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• 2002

ACSR of the catenary wires is corrosion degradation progressed by the effect of atmospheric pollution. ACSR which consists of galvanized steel stranded aluminum. The inside of Steel Reinforced is hot-dipped zinc coating steel wire and it takes charge of tension. If ACSR is exposed in atmosphere, the galvanic corrosion is occurred because it is contacted with aluminum. It is occurred the chemical reaction rapidly so that the local a defect is also occurred. If the catenary wires are exposed in atmosphere of pollution conditions, it may cause to reduce the mechanical strength by corrosion degradation and may cause to damage the wires by micro cracks. Accordingly, this study presents the effects of mechanical properties through the corrosion of ACSR.

• 한국디지털건축인테리어학회논문집
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• 제8권1호
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• pp.57-64
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• 2008

There are many problems in present truss-deck slab system for example welding defect, segregation, water leakage, rust and tarnish etc. These problems may be caused by spot welding thin galvanized steel plate and lattice bar. The TOX Joining Systems is to join metal sheets of different material and thickness with and without coating or painting without adding heat or a joining part. Newly developed TOX-deck slab system using non-welding joint is free from above mentioned problems. The objects of this study are suggestion of design strength of TOX joint by experimental and statistical analyses and development of window based program to design the TOX-deck slab system.

• 한국가구학회지
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• 제17권1호
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• pp.83-89
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• 2006

Because the surface of pine wood is very soft, there have been many attempts, like as surface coating, resin impregnation, and densificationt, to harden the surface of wood for its interior use. This study was carried out for surface hardening of pine wood by laminating of melamine resin sheet. The effect of laminating method on the characteristics of melamine resin sheet-laminated wood(MLW) was investigated. Flat-sawn softwoods were suitable for MLW making. And the pre-drying of wood at $105^{\circ}C$ for 30min, before laminating, was effective for preparing of defect-free MLW. The abrasion resistance of pine wood was greatly improved by laminating of melamine resin sheet on its surface. Consequently, the laminating of melamine resin sheet was proved to be a favorable method for improvement of surface abrasiveness of pine wood.

• E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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• 제8권5호
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• pp.633-639
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• 1995

Dropouts in magnetic media are a primary quality deficiency which is detrimental to magnetic signal quality and thus the major impediment to error-free recording, especially in high density digital recorders. The specific form of defects and causes found to be responsible for signal dropouts occurring in magnetic tape were studied. Dropout occurred when the RF signal falls to low level due to the various types of surface defects. However, the fall in the level of the RF signal in gravure roll coated tapes was most often caused by foreign particles adhering to the magnetic tape. It was also shown from the present study that scattered particles trapped under the tape surface or put on the top can lift it as it crosses the head, creating a spherical tent shaped defect and causing a temporary signal drop. Dropout producing substances were identified through optical and microchemical analyses. The results were correlated with measured electrical signal losses combined with analytical microscopy to clarify source identification of defects.

• 한국고분자학회지:고분자과학과기술
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• 제20권5호
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• pp.472-480
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• 2009

반도체 미세화가 진행되면서, 이를 성공하기 위해 많은 재료물질이 요구되어진다. 이 중 미세 패턴의 붕괴를 막고 깊은 패턴을 새기기 위해서 필요한 hardmask 재료가 있다. Hardmask는 유기실리콘 재료와 탄소 함량이 높은 재료로 주로 구성되고, 이들은 193 nm 빛과 관련된 광학적 특성을 가지면서 특정 플라즈마에 대한 에치 저항성을 가지는 물성을 가지도록 디자인/합성/배합되어져 있다. 또한, 접합되는 다른 박막과의 compatibility및 용매에 대한 solubility 등이 적절해야만 나노미터 수준의 defect 없는 패턴을 구현할 수 있다.

• 한국강구조학회 논문집
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• 제28권5호
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• pp.373-382
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• 2016

도장 또는 금속용사는 강구조물의 방식에 널리 사용되고 있으며, 금속용사와 도장의 복합방식법은 혹독한 부식환경하에 놓인 강구조물에 고내후성 피복방식법으로 적용되고 있다. 본 연구에서는 아연(Zn), 아연-알루미늄(ZnAl)합금, 알루미늄(Al), 알루미늄-마그네슘(AlMg)합금의 4종류 금속용사 후 실링 처리한 시편, 4종류 금속용사 후 중방식 도장한 시편과 도장만 실시한 시편을 대상으로 175일간의 ISO 20340 부식촉진실험을 실시하여, 각 방식법의 상대적인 내후성능을 비교, 검토하였다. 강재표면까지 도달하는 원형 및 선형 초기결함으로부터의 표면상태 변화 및 도막의 노화면적에 근거한 내후성능의 평가 결과, 금속용사 후 실링 처리한 시편의 경우에는 알루미늄(Al) 및 알루미늄-마그네슘(AlMg)금속용사 후 실링 처리한 시편이 가장 우수한 내후성능을 보였으며, 금속용사 후 도장을 실시한 금속용사와 도장의 복합방식법의 경우에는 아연(Zn)용사에 도장을 실시한 복합방식 시편이 가장 우수한 내후성능을 나타내었다.

• 정보처리학회논문지:컴퓨터 및 통신 시스템
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• 제3권10호
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• pp.383-392
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• 2014

코팅제에 대한 연구는 고분자 산업에서 가장 보편화되고 활발하게 연구되고 있는 내용의 하나이다. 코팅제는 전자산업, 의료, 광학 분야 등에서 중요성이 더욱 커지고 있으며, 특히 자동차 및 전자부품의 첨단화에 힘입어 코팅제에 대한 성능과 정밀도 등 기술적인 요구사항이 증가하고 있는 추세이다. 또한 방대한 환경 정보와 상황 정보를 기반으로 한 사물 인터넷과 빅데이터 분석 기술의 도입을 통해 산업 현장에서는 더욱 지능화되고 자동화된 시스템과 처리 기술의 필요성이 높아지고 있다. 이에 본 논문에서는 사물 인터넷 기술과 빅데이터 분석을 활용한 실험계획법 기반의 코팅제 배합 데이터에 대한 최적화 모형을 제안한다. 본 논문에서는 실제 생산현장에서 사용하는 코팅제 배합 기준 데이터와 발생한 오차에 대하여 작업자가 수정한 보정 결과 데이터를 실험계획법을 기반으로 분석하여 최적의 코팅제 배합 기준 데이터를 계산하였다. 또한 빅데이터 분석 기술과 사물 인터넷 기술을 활용하여 기존의 코팅제 배합 기준 데이터만을 적용한 공정이 아니라 제조 환경 정보와 상황 정보를 이용하여 색상과 품질 유지에 가장 중요한 인자를 검색하고 기준값을 보정하는 최적화 모형을 도출하였다. 실험 및 분석을 통해 확보된 기준 데이터는 제조 공정에 적용할 경우 배합의 정확도 향상과 LOT별 작업시간 단축을 가능하게 해주고, 건당 처리시간의 감소로 인한 생산 납품시간 단축, 불량률 감소 등에 따른 원가 절감에 기여할 수 있다. 또한, 다양한 모델링에 대한 제조 공정에서의 표준 데이터를 획득할 수 있다.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제22권1호
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• pp.461-467
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• 2021

열경화성 소재를 이용하여 열경화방식의 웨이퍼 레벨 렌즈를 성형할 때 발생될 수 있는 불량요인 중 이형과정에서 성형 렌즈의 금형 고착문제는 웨이퍼 레벨에서 성형된 기판의 파손 및 기판의 변형으로 성형된 웨이퍼 기판의 적층시 웨이퍼 양면의 렌즈 형상 및 센터 정렬 오차에 영향을 미친다. 본 연구에서는 웨이퍼 레벨 렌즈 성형 공정에서 이형력에 영향을 미치는 인자를 검토하기 위한 실험을 수행하였다. 먼저 상·하 금형의 코팅 재질에 따른 이형력을 검토하기 위하여 금형 표면을 ITO 및 Ti로 표면처리 후 O2분위기에서 플라즈마 처리하였고, 또한 DLC 코팅도 진행하였으며 경화 및 이형성을 검토하였다. 그 결과를 바탕으로 pull-off 실험을 위한 코팅방법을 선정하였다. 또한 경화공정조건에 따른 이형력을 측정하기 위하여 압력을 유지하면서 경화시키는 방법과 일정한 간격을 유지하면서 경화시키는 방법을 실험적으로 적용하였다. 그 결과 Ti 코팅 후 O2 플라즈마 표면처리 방법이 이형력을 감소시키고 위치를 제어하면서 경화시킬 경우 경화수축에 의해 경화 중 계면의 접착에너지를 감소시켜 보다 나은 이형이 될 수 있음을 확인하였다.